一种对称式薄膜压力传感器的制作方法

本技术属于传感器，特别是涉及一种对称式薄膜压力传感器。

背景技术：

1、压力传感器是能够感受压力信号，并能够按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。薄膜压力传感器是薄状造型的压力传感器，根据薄膜压力传感器的技术指标，对于聚偏氟乙烯压电薄膜又称为pvdf，该薄膜用作压力传感器时，该具有如下优点：(1)压电常数大；(2)频响高、量程大；(3)声波阻抗低。与其他可用于冲击波压力测量的电气石、压电石英、压电陶瓷、锰铜等敏感元件相比，聚偏氟乙烯压电薄膜更适合于冲击波压力的有效测量。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种对称式薄膜压力传感器，解决了以上问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型的一种对称式薄膜压力传感器，包括位于中间的绝缘膜、对称设置于绝缘膜两侧的导电膜、设置于导电膜外表面的外绝缘层；

4、所述绝缘膜表面开设有圆孔，所述圆孔内安装有与至相配合的聚偏氟乙烯压电膜；

5、所述导电膜的外侧部设有与感应导线相连的接线端点；

6、所述绝缘膜、导电膜、外绝缘层相叠形成对称式结构，且聚偏氟乙烯压电膜的上下表面与分别与绝缘膜两侧的导电膜相贴合。

7、进一步地，所述绝缘膜采用pet膜，厚度为0.012mm-0.05mm。

8、进一步地，所述导电膜具体采用双面导电胶带，厚度为0.055-0.2mm。

9、进一步地，所述外绝缘层采用pi膜，厚度为0.005mm-0.25mm。

10、进一步地，所述聚偏氟乙烯压电膜为圆形且直径为5±0.1mm，厚度为0.053mm。

11、进一步地，所述聚偏氟乙烯压电膜的外轮廓与圆孔的内轮廓之间的间隙至多为0.2mm。

12、本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：

13、本实用新型的薄膜压力传感器采用对称式布置的由中间层带有圆孔的绝缘膜配合放置聚偏氟乙烯压电膜，并于聚偏氟乙烯压电膜两侧布置绝缘膜及外绝缘层，形成对称式的夹心式结构，通过这种结构设计，使聚偏氟乙烯压电膜与绝缘膜之间无直接压接且无胶粘作用，保证了压电膜在面外压力载荷下的自由变形，并且考虑到压力较大时压电薄膜可能产生比较明显的面内横向变形，圆孔与压电膜之间设置有一定间隙，具有压力检测灵敏度高，敏感范围广，响应时间短的优点。

14、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，包括位于中间的绝缘膜(1)、对称设置于绝缘膜(1)两侧的导电膜(2)、设置于导电膜(2)外表面的外绝缘层(3)；

2.根据权利要求1所述的一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，所述绝缘膜(1)采用pet膜，厚度为0.012mm-0.05mm。

3.根据权利要求1所述的一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，所述导电膜(2)具体采用双面导电胶带，厚度为0.055-0.2mm。

4.根据权利要求1所述的一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，所述外绝缘层(3)采用pi膜，厚度为0.005mm-0.25mm。

5.根据权利要求1所述的一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，所述聚偏氟乙烯压电膜(4)为圆形且直径为5±0.1mm，厚度为0.053mm。

6.根据权利要求5所述的一种对称式薄膜压力传感器，其特征在于，所述聚偏氟乙烯压电膜(4)的外轮廓与圆孔(101)的内轮廓之间的间隙至多为0.2mm。

技术总结
本技术公开了一种对称式薄膜压力传感器，涉及传感器技术领域。本技术包括位于中间的绝缘膜、对称设置于绝缘膜两侧的导电膜、设置于导电膜外表面的外绝缘层；绝缘膜表面开设有圆孔，圆孔内安装有与至相配合的聚偏氟乙烯压电膜；导电膜的外侧部设有与感应导线相连的接线端点；绝缘膜、导电膜、外绝缘层相叠形成对称式结构，且聚偏氟乙烯压电膜的上下表面与分别与绝缘膜两侧的导电膜相贴合。本技术保证了压电膜在面外压力载荷下的自由变形，并且考虑到压力较大时压电薄膜可能产生比较明显的面内横向变形，圆孔与压电膜之间设置有一定间隙，具有压力检测灵敏度高，敏感范围广，响应时间短的优点。

技术研发人员：赵红宇,张永亮,马宏昊,姚象洋,郑航,陈叶青,李述涛,杨科,马上
受保护的技术使用者：中国人民解放军32213部队
技术研发日：20221210
技术公布日：2024/1/13