一种原位拉曼测试辅助转移装置的制作方法

本技术涉及分析检测仪器，尤其涉及一种原位拉曼测试辅助转移装置。

背景技术：

1、石墨烯被成功分离后，激发了二维材料研究的热潮，基于其独特物理、化学和电子性质，二维材料在许多领域中显示出巨大的应用潜力。

2、层间相互作用显著影响二维材料的性质，所以其研究和应用都需要精确分析层数，而拉曼光谱及其衍生技术作为一种无损的光谱分析方法，能够无损快速对二维材料的层数、掺杂类型、应变和各向异性等进行表征，无论是对于石墨烯还是其他新型二维材料，拉曼光谱都是一种非常有效的研究手段，拉曼光谱与相关技术相结合的表征也是目前的研究趋势，拉曼技术的进步将推动对2d材料结构和性能更深入的理解，以促进二维材料的实际应用。

3、目前，对于独立的二维材料转移系统，如果只通过现有的显微成像系统看样品的形貌，很难判断样品的精确层数，凭借经验，只能判断堆叠的样品是少层或多层，进行异质结等样品的制备时，只能尽可能的选择想要层数的样品进行转移。

4、转移后的样品需要从原来的转移设备上挪到独立的拉曼光谱测试设备上进行测试分析，才能判断转移的样品是否为理想状态，如果不是，则需要再一轮的转移，或者也可以先在一堆待转移的样品中，利用拉曼光谱测试，挑选目标样品并进行拍照标记，再挪到转移设备上找到标记过的样品进行转移，不管是哪种方式进行，都需要进行大量的筛选工作，耗时耗力，并且在样品挪动过程中可能会对样品造成污染。

5、因此，有必要开发一种原位拉曼测试辅助转移装置以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种原位拉曼测试辅助转移装置，旨在解决现有技术中都需要进行大量的筛选工作，耗时耗力，并且在样品挪动过程中可能会对样品造成污染的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的一种原位拉曼测试辅助转移装置，包括高稳定性框架、二维材料转移平台、照明成像模块和拉曼光谱测试系统，所述二维材料转移平台包括衬底载物平台和目标样品载物平台，所述衬底载物平台和所述目标样品载物平台均设置在所述高稳定性框架上，所述照明成像模块包括显微镜调焦支架、物镜组件、照明组件、三档成像模块和高清相机，所述显微镜调焦支架设置在所述高稳定性框架和所述物镜组件之间，所述三档成像模块安装在所述高稳定性框架上，所述高清相机同样设置在所述高稳定性框架上，所述拉曼光谱测试系统包括激光器组件、自由空间入光模块和微型拉曼光谱仪模块，所述激光器组件设置在所述高稳定性框架上，所述自由空间入光模块设置在所述三档成像模块和所述微型拉曼光谱仪模块之间，所述物镜组件包括物镜转盘和专用物镜，所述物镜转盘安装在所述显微镜调焦支架上，所述专用物镜安装在所述物镜转盘上。

3、其中，所述照明组件包括控制器和照明器，所述控制器安装在所述高稳定性框架上，所述照明器同样安装在所述高稳定性框架上，所述控制器与所述照明器适配。

4、其中，所述衬底载物平台用于放待转移样品的衬底，利用滑台可实现衬底在xyr方向的移动，所述目标样品载物平台用于放待转移的样品，利用滑台可实现目标样品在xyzr方向的移动。

5、本实用新型的一种原位拉曼测试辅助转移装置，具体使用时，将衬底放在所述衬底载物平台上，打开所述照明组件和所述高清相机，此时所述照明组件为bf档，所述三档成像模块为camser档，之后先选择所述小倍所述专用物镜，调节所述显微镜调焦支架，使所述专用物镜聚焦在衬底表面，所述高清相机软件中实时成像，转动所述物镜转盘，选择光谱测试的所述专用物镜并聚焦，打开所述激光器组件，所述自由空间入光模块为laser档，加od3衰减，移动所述衬底载物平台上的滑台，将所述激光组件光斑位置挪到需要测试的样品上，关闭所述照明组件，所述照明组件为df档，所述三档成像模块为empty档，拔出所述自由空间入光模块的衰减片，所述微型拉曼光谱仪模块为spectra档，在光谱测试软件中设置参数后采集一条光谱，根据拉曼光谱的峰位信息，分析所测样品的层数等性能决定是否需要此样品，重复以上步骤，选择需要的样品，利用所述二维材料转移平台和所述高清相机实现样品的转移或堆叠，转移成功后可以再次采集异质结或多层样品上的拉曼光谱，进行原位分析，先关闭软件，再关闭所述激光器组件和所述照明组件，最后关闭电脑，以此方式解决了现有技术需要进行大量的筛选工作，耗时耗力，并且在样品挪动过程中可能会对样品造成污染的技术问题。

技术特征：

1.一种原位拉曼测试辅助转移装置，其特征在于，

2.如权利要求1所述的原位拉曼测试辅助转移装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的原位拉曼测试辅助转移装置，其特征在于，

技术总结
本技术涉及分析检测仪器技术领域，尤其涉及一种原位拉曼测试辅助转移装置，包括高稳定性框架、二维材料转移平台、照明成像模块和拉曼光谱测试系统，二维材料转移平台包括衬底载物平台和目标样品载物平台，照明成像模块包括显微镜调焦支架、物镜组件、照明组件、三档成像模块和高清相机，拉曼光谱测试系统包括激光器组件、自由空间入光模块和微型拉曼光谱仪模块，激光器组件设置在高稳定性框架上，物镜组件包括物镜转盘和专用物镜，物镜转盘安装在显微镜调焦支架上，专用物镜安装在物镜转盘上，以此方式解决了现有技术需要进行大量的筛选工作，耗时耗力，并且在样品挪动过程中可能会对样品造成污染的技术问题。

技术研发人员：姜海燕,王雨佳,雎长城,蒋尚池
受保护的技术使用者：南京迈塔光电科技有限公司
技术研发日：20221215
技术公布日：2024/1/15