一种芯片缺陷检测机的制作方法

本技术涉及芯片检测设备，特别涉及一种芯片缺陷检测机。

背景技术：

1、目前，芯片在出厂前，均需要对芯片进行检测，而目前用于芯片的检测设备在对相机定位时只通过三轴移动控制模组来调节位置，然而相机模组的检测高度影响对芯片的检测结果，现有的相机模组缺乏高度精定位的机构，单单采用z轴来调节升降不够精确，导致检测不准确。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本实用新型的目的在于提供一种芯片缺陷检测机。

2、本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种芯片缺陷检测机，包括机台，所述机台上设有能够调节宽度的输送机构，所述输送机构的上方设有ccd相机模组，所述ccd相机模组由z轴升降驱动控制升降，所述z轴升降驱动包括立板，所述立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，所述z轴升降驱动由x轴驱动控制移动，所述x轴驱动由y轴驱动控制移动。

3、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述z轴升降驱动根据所述光谱仪测量的高度控制所述ccd相机模组的高度位置。利用光谱仪辅助z轴升降驱动来定位ccd相机模组，位置更精确。

4、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述输送机构包括间隔设置的定导轨和动导轨，所述定导轨和所述动导轨的对应面均设有输送带，所述输送带通过输送带传动电机控制传动，所述动导轨由导轨驱动机构控制移动。输送机构能够调节宽度，适应不同宽度的料盘进入。

5、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述导轨驱动机构包括两根传动丝杆，两根所述传动丝杆均通过丝杆螺母连接在所述动导轨的底部，其中一根所述传动丝杆的一端通过第一同步轮和第一同步带连接轨道驱动电机，两根所述传动丝杆的同一端均设有第二同步轮，两个所述第二同步轮通过第二同步带连接。

6、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，还包括滚轮安装板，所述滚轮安装板上设有横向腰形孔和垂直腰形孔，所述横向腰形孔内设有底部滚轮，所述垂直腰形孔内设有上部滚轮，所述第二同步带位于所述底部滚轮和所述上部滚轮之间。

7、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述立板上设有升降电机、升降丝杆、升降滑轨和升降板，所述升降电机的输出轴通过联轴器连接所述升降丝杆，所述升降板通过滑块连接在所述升降滑轨上，所述升降板的一侧设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接在所述升降丝杆上，所述ccd相机模组设置在所述升降板上。

8、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述x轴驱动包括导轨横梁，所述导轨横梁的一侧设有x轴滑轨，所述导轨横梁的顶部设有x轴丝杆和x轴电机，所述x轴电机通过联轴器连接所述x轴丝杆，所述立板的背面设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述x轴丝杆，所述立板通过滑块连接所述x轴滑轨。

9、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述y轴驱动包括y轴滑轨、y轴丝杆和y轴电机，所述y轴电机通过联轴器连接所述y轴丝杆，所述y轴滑轨上设有滑块，所述滑块上设有滑板，所述滑板的一侧设有丝杆螺母，所述y轴丝杆连接在所述丝杆螺母上，所述导轨横梁连接在所述滑板上。

10、作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述机台的一侧设有进料孔、另一侧设有出料孔，所述进料孔对应所述输送机构的进料端设置，所述出料孔对应所述输送机构的出料端设置。料盘从进料孔进入输送机构，从出料孔送出。方便本实用新型的芯片缺陷检测机对接流水线。

11、本实用新型的有益效果在于：本实用新型利用光谱仪辅助z轴升降驱动来定位ccd相机模组，位置更精确。本实用新型还采用了能够调节宽度的输送机构，方便根据不同大小的料盘进行调节，适应范围更广。

技术特征：

1.一种芯片缺陷检测机，包括机台，其特征在于，所述机台上设有能够调节宽度的输送机构，所述输送机构的上方设有ccd相机模组，所述ccd相机模组由z轴升降驱动控制升降，所述z轴升降驱动包括立板，所述立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，所述z轴升降驱动由x轴驱动控制移动，所述x轴驱动由y轴驱动控制移动。

2.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述z轴升降驱动根据所述光谱仪测量的高度控制所述ccd相机模组的高度位置。

3.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述输送机构包括间隔设置的定导轨和动导轨，所述定导轨和所述动导轨的对应面均设有输送带，所述输送带通过输送带传动电机控制传动，所述动导轨由导轨驱动机构控制移动。

4.根据权利要求3所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述导轨驱动机构包括两根传动丝杆，两根所述传动丝杆均通过丝杆螺母连接在所述动导轨的底部，其中一根所述传动丝杆的一端通过第一同步轮和第一同步带连接轨道驱动电机，两根所述传动丝杆的同一端均设有第二同步轮，两个所述第二同步轮通过第二同步带连接。

5.根据权利要求4所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，还包括滚轮安装板，所述滚轮安装板上设有横向腰形孔和垂直腰形孔，所述横向腰形孔内设有底部滚轮，所述垂直腰形孔内设有上部滚轮，所述第二同步带位于所述底部滚轮和所述上部滚轮之间。

6.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述立板上设有升降电机、升降丝杆、升降滑轨和升降板，所述升降电机的输出轴通过联轴器连接所述升降丝杆，所述升降板通过滑块连接在所述升降滑轨上，所述升降板的一侧设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接在所述升降丝杆上，所述ccd相机模组设置在所述升降板上。

7.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述x轴驱动包括导轨横梁，所述导轨横梁的一侧设有x轴滑轨，所述导轨横梁的顶部设有x轴丝杆和x轴电机，所述x轴电机通过联轴器连接所述x轴丝杆，所述立板的背面设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述x轴丝杆，所述立板通过滑块连接所述x轴滑轨。

8.根据权利要求7所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述y轴驱动包括y轴滑轨、y轴丝杆和y轴电机，所述y轴电机通过联轴器连接所述y轴丝杆，所述y轴滑轨上设有滑块，所述滑块上设有滑板，所述滑板的一侧设有丝杆螺母，所述y轴丝杆连接在所述丝杆螺母上，所述导轨横梁连接在所述滑板上。

9.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述机台的一侧设有进料孔、另一侧设有出料孔，所述进料孔对应所述输送机构的进料端设置，所述出料孔对应所述输送机构的出料端设置。

技术总结
本技术公开了一种芯片缺陷检测机，包括机台，机台上设有能够调节宽度的输送机构，输送机构的上方设有CCD相机模组，CCD相机模组由Z轴升降驱动控制升降，Z轴升降驱动包括立板，立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，Z轴升降驱动由X轴驱动控制移动，X轴驱动由Y轴驱动控制移动。本技术利用光谱仪辅助Z轴升降驱动来定位CCD相机模组，位置更精确。本技术还采用了能够调节宽度的输送机构，方便根据不同大小的料盘进行调节，适应范围更广。

技术研发人员：赖理,黄采敏,朱伟东,刘金生
受保护的技术使用者：广东吉洋视觉技术有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12