加速度传感器的制作方法

本公开涉及加速度传感器。

背景技术：

1、用于测量作用在物体上的加速度的加速度传感器，例如被广泛用于掌握物体的姿势、动作、振动状态等。并且，对于加速度传感器有很强的小型化要求。为了满足这样的要求，能够使用所谓的mems(micro electro mechanical system)技术来实现加速度传感器的小型化。例如，在专利文献1中公开了一种使用了mems技术的静电电容型的加速度传感器。

2、另外，对于加速度传感器，为了能够检测较高的加速度，还要求扩大可检测的加速度的范围，并且，为了即使在较高频率下产生加速变化时也能够将其检测出来，还要求实现宽频带化。为了提高这2个特性，需要提高加速度传感器的可动部分的振动的共振频率。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2019-49434号公报。

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、本公开的目的在于提供一种能够提高加速度传感器的可动部分的振动的共振频率的加速度传感器。

3、解决问题的技术手段

4、本公开的一个实施方式提供一种加速度传感器，其包括：内部形成有空腔的半导体基板；固定结构，其包括以相对于所述空腔悬浮的状态被支承于所述半导体基板的固定电极；和可动结构，其包括以相对于所述空腔悬浮的状态经由弹性结构被支承于所述半导体基板的可动电极，所述可动电极能够相对于所述固定电极发生位移，所述弹性结构包括：被支承于所述半导体基板的第一端部；与所述可动结构连接的第二端部；和连接所述第一端部与所述第二端部的中间部，在所述中间部的至少一部分具有直线状延伸的直线部分，所述直线部分具有在该直线部分的延伸方向上彼此平行地延伸的多个直线框架。

5、采用该结构，能够提高加速度传感器的可动部分的振动的共振频率。

6、本公开中的上述或其他目的、特征及效果，可参照附图通过下述实施方式的说明而明确。

技术特征：

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于：

6.根据权利要求1～5中任一项所述的加速度传感器，其特征在于：

7.根据权利要求1～6中任一项所述的加速度传感器，其特征在于：

8.根据权利要求1～6中任一项所述的加速度传感器，其特征在于：

9.根据权利要求7或8所述的加速度传感器，其特征在于：

10.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：

11.根据权利要求10所述的加速度传感器，其特征在于：

12.根据权利要求10或11所述的加速度传感器，其特征在于：

13.根据权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于：

14.根据权利要求13所述的加速度传感器，其特征在于：

技术总结
加速度传感器包括：内部形成有空腔的半导体基板；固定结构，其包括以相对于空腔悬浮的状态被支承于半导体基板的固定电极；和可动结构，其包括以相对于空腔悬浮的状态经由弹性结构被支承于半导体基板的可动电极，该可动电极能够相对于固定电极发生位移。弹性结构包括：被支承于半导体基板的第一端部；与可动结构连接的第二端部；和连接第一端部与第二端部的中间部，在中间部的至少一部分具有直线状延伸的直线部分，直线部分具有在该直线部分的延伸方向上彼此平行地延伸的多个直线框架。

技术研发人员：宫渊弘树
受保护的技术使用者：罗姆股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/6