试样的制造方法及试样的观察方法与流程

本发明涉及试样的制造方法及试样的观察方法。

背景技术：

1、例如专利文献1记载了一种检测试剂盒，通过该检测试剂盒，用保护剂来包覆材料，其中该保护剂含有选自含表面活性剂的溶液、两亲性化合物、油脂类、离子液体及锇中的至少1种。

2、另外，专利文献2中记载了一种观察方法，其包括以下工序：将含有糖类及电解质的用于电子显微镜观察的保护剂涂布于含水状态的生物试样。

3、(现有技术文献)

4、专利文献1：日本特开2017-201289号公报

5、专利文献2：国际公布第2015/115502号

技术实现思路

1、(发明要解决的问题)

2、关于使用专利文献1所述检测试剂盒来进行观察的方法、以及专利文献2所述的观察方法，这些方法虽然有可能防止试样受到元素扩散以及材料变形的影响，但存在以下问题：保护剂中所含的有机化合物会因观察方法而分解并产生烃气体，而所产生的烃气体若附着于试样及观察装置，就会污染观察环境。因此，需要一种新型试样的制造方法，通过该新型试样，材料随时间经过而变形的情况、电子束照射所引起的材料元素扩散情况能得到抑制，而且能够防止由于试样的变化而产生的污染。

3、(用以解决问题的技术手段)

4、为了解决上述课题，本发明的一个方式的制造方法是被电子显微镜观察的试样的制造方法，该制造方法包括：第1处理工序，使气态的金属化合物附着于用于制造所述试样的材料的表面，从而形成所述金属化合物的层；以及第2处理工序，使所述金属化合物与气态的氧化剂反应，从而由所述金属化合物的层形成金属氧化物的层或金属的层，所述材料包含第1成分，该第1成分由于接受来自电子显微镜的电子束而会引起观察精度降低，或者该第1成分会随时间经过而变形。

5、(发明的效果)

6、根据本发明的一个方式，能够提供一种新型试样的制造方法及其相关技术，通过该新型试样，材料随时间经过而变形的情况、电子束照射所引起的材料元素扩散情况能得到抑制，而且能够防止由于试样的变化而产生的污染。

技术特征：

1.一种试样的制造方法，其中该试样是被电子显微镜观察的试样，

2.根据权利要求1所述的试样的制造方法，其中，

3.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

4.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

5.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

6.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

7.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

8.根据权利要求2所述的试样的制造方法，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的试样的制造方法，其还包括以下工序：

10.根据权利要求1～9中任一项所述的试样的制造方法，其中，

11.根据权利要求10所述的试样的制造方法，其中，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的试样的制造方法，其中，

13.根据权利要求1～12中任一项所述的试样的制造方法，其中，

14.根据权利要求1～13中任一项所述的试样的制造方法，其中，

15.根据权利要求14所述的试样的制造方法，其中，

16.一种试样的观察方法，其包括：

17.根据权利要求16所述的试样的观察方法，其中，

18.根据权利要求16或17所述的试样的观察方法，其中，

技术总结
提供一种新型试样的制造方法，通过该新型试样，材料随时间经过而变形的情况、电子束照射所引起的材料元素扩散情况能得到抑制，而且能够防止由于试样的变化而产生的污染。该制造方法包括：第1处理工序，使气态的金属化合物附着于材料的表面，从而形成所述金属化合物的层；以及第2处理工序，使所述金属化合物与气态的氧化剂反应，从而由所述金属化合物的层形成金属氧化物的层或金属的层，所述材料包含第1成分，该第1成分由于接受来自电子显微镜的电子束而会引起观察精度降低，或者该第1成分会随时间经过而变形。

技术研发人员：斋藤智浩,真家信,柏洋,守屋达
受保护的技术使用者：株式会社住化分析中心
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27