集成FESEM和LDI-TOF-MS分析系统的制作方法

本申请要求基于2022年5月3日提交的韩国专利申请号10-2022-0054691的优先权权益，其全部公开内容以引用方式并入本文。本公开涉及fesem和ldi-tof-ms集成分析系统，并且涉及如下一种fesem和ldi-tof-ms集成分析系统，其能够进行fesem分析和ldi-tof-ms分析，同时将用于分析的单个样品保持在不暴露于大气的状态。

背景技术：

1、用于分析样品表面的设备包括fesem和ldi-tof-ms。

2、与一般扫描电子显微镜不同，场发射扫描电子显微镜(fesem)是从场发射(fe)电子枪而不是热电子枪注入加速电子束并且检测诸如二次电子、反射电子和在样品表面上产生的x射线的信号以在阴极射线管屏幕上显示或记录放大图像的设备。通过在高真空度下在二维x-y方向上利用精细电子束扫描样品的表面，可以观察样品的形态和微结构，尤其是可获得的图像的聚焦深度大于光学显微镜的聚焦深度的两倍，还有大两倍的高分辨率。此外，可以执行对样品的表面形态的分析、微结构观察、定性和定量分析、构成元素的分布以及使用ebsd(背向散射电子衍射)、晶界和对晶体取向的分析对样品的微晶结构的识别，同时可观察表面而不用低真空检测器或低电压涂覆非导电样品。

3、激光解吸/离子化-飞行时间-质谱(ldi-tof-ms)利用激光照射样品，使样品离子化，然后将离子化样品转移到飞行管中。此时，离子化样品材料根据质量被飞行时间分隔开，到达检测器的时间变化。

4、由于fesem被设计为正式识别样品表面的形态和元素分布，而ldi-tof-ms用于正式确定样品表面的分子内化合物的分布，因此由两个系统提供的分析数据不同。特别地，由于利用fesem在观察li元素时受到限制，因此在识别电极样品的表面上的li痕量的分布方面存在限制。

5、fesem和ldi-tof-ms是独立的分析系统，因此使用fesem和ldi-tof-ms的常规分析需要在两个系统之间转移样品。

6、当通过在两个系统之间转移来对同一样品进行分析时，必须在fesem分析之后将样品转移到ldi-tof-ms的样品板上，这导致对样品的损坏。例如，对于fesem分析，样品可以利用用于fesem的样品板上的粘合剂材料、诸如双面带进行固定。在这种情况下，为了利用ldi-tof-ms对同一样品进行进一步的分析，将由粘合剂材料固定的样品从用于fesem的样品板分离，然后再附着到用于ldi-tof-ms的单独样品板上。特别地，在需要保持在不暴露于大气的状态下的样品的情况下，在fesem分析之后，在将样品装载到ldi-tof-ms系统上的过程中，难以保持不暴露于大气的状态。

7、另外，由于样品分别通过fesem分析系统和ldi-tof-ms中的单独的测量装置来测量(电子、激光等)而在样品转移期间重新布置样品，因此需要用于测量样品上同一位置或区域的方法或设备来力图在两个分析系统中在相同条件下执行分析。

8、因此，需要一种系统，其能够在两个系统之间的转移期间防止对样品的损坏，并且在相同条件下(保持不暴露于大气的状态，分析区域的匹配等)执行分析。

技术实现思路

1、技术目标

2、本公开涉及一种fesem和ldi-tof-ms集成分析系统，并且本公开的目的是提供如下一种fesem和ldi-tof-ms集成分析系统，其能够进行fesem分析和ldi-tof-ms分析，同时将用于分析的单个样品保持在不暴露于大气的状态。

3、本公开要实现的技术目的不限于上述技术问题，本公开所属领域的普通技术人员将在下面的描述中清楚地理解未提及的其它技术目的。

4、技术解决方案

5、本公开的集成分析系统可以包括：

6、第一样品保持器，所述第一样品保持器具有形成在其中的第一封闭空间；

7、第二样品保持器，所述第二样品保持器具有形成在其中的第二封闭空间；

8、第一分析单元，第一样品保持器被安装在所述第一分析单元上，并且在所述第一分析单元中对用于分析的样品进行第一分析；

9、第二分析单元，第二样品保持器被安装在所述第二分析单元上，并且在所述第二分析单元中对用于分析的样品进行第二分析；

10、样品板，所述样品板安装在所述第一样品保持器中的所述第一封闭空间或所述第二样品保持器中的所述第二封闭空间中，其中用于分析的所述样品安装在所述样品板的上表面上；以及

11、手套箱单元，在所述手套箱单元中形成有用于分析的样品的转移空间，其中，所述样品板可以容纳在所述第一封闭空间、所述用于分析的样品的转移空间和所述第二封闭空间中的一个空间中，使得保持不暴露于大气的状态，并且在所述用于分析的样品的转移空间内从所述第一样品保持器和所述第二样品保持器中的一个样品保持器分离，以便安装在另一个样品保持器上。

12、有益效果

13、在本公开所述的fesem和ldi-tof-ms集成分析系统中，在对单个样品进行fesem和ldi-tof-ms分析时，可以保持样品上的分析位置，防止在转移期间对样品的损坏，并保持不暴露于大气的状态。

14、本公开所述的fesem和ldi-tof-ms集成分析系统能够通过定位标记在经由fesem分析的样品上的同一区域上进行ldi-tof-ms分析。

15、在本公开所述的fesem和ldi-tof-ms集成分析系统中，可以容易地维持样品的状态，诸如在两个系统之间的转移中维持不暴露于大气的状态。

技术特征：

1.一种集成分析系统，包括：

2.根据权利要求1所述的集成分析系统，其中，所述样品板被设置成圆盘的形状，

3.根据权利要求2所述的集成分析系统，其中，彼此垂直相交的多条网格线被形成在所述样品板的所述上表面上。

4.根据权利要求2所述的集成分析系统，其中，所述第一样品保持器包括：

5.根据权利要求4所述的集成分析系统，其中，固定槽被形成在所述本体的上表面上的、面对所述固定孔的位置处，所述紧固装置被插入到所述固定槽中，并且

6.根据权利要求5所述的集成分析系统，其中，所述紧固装置被设置为螺栓，

7.根据权利要求4所述的集成分析系统，其中，所述第二样品保持器包括：

8.根据权利要求7所述的集成分析系统，其中，样品安装区域被形成在所述安装板的上表面上，所述样品板被安装在所述样品安装区域上，

9.根据权利要求8所述的集成分析系统，其中，被插入到所述对准孔中的第二对准突起在面对所述对准孔的位置处形成在所述样品安装区域中。

10.根据权利要求8所述的集成分析系统，其中，所述样品板由铁磁材料形成，并且

11.根据权利要求8所述的集成分析系统，其中，密封构件插入槽被形成在所述止动件的外周表面上，由弹性材料形成的密封构件被插入到所述密封构件插入槽中，并且

12.根据权利要求11所述的集成分析系统，其中，在所述止动件的所述外周表面上，在所述密封构件插入槽上方形成有识别台阶。

13.根据权利要求7所述的集成分析系统，其中，用于与所述止动件联接的紧固螺栓被形成在所述旋钮的下端处，

14.根据权利要求7所述的集成分析系统，其中，真空通气孔被设置在所述止动件的上表面上，所述真空通气孔被配置成释放所述第二封闭空间中产生的真空。

技术总结
本发明涉及一种集成FESEM和LDI‑TOF‑MS分析系统，并且提供如下一种集成FESEM和LDI‑TOF‑MS分析系统：其能够对要被分析的单个样品进行FESEM分析和LDI‑TOF‑MS分析，而不将样品暴露于大气。

技术研发人员：金昭恩,尹汝荣,金珉冏,蔡秉俊
受保护的技术使用者：株式会社LG新能源
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16