通用型探针对位调整台的制作方法

本发明涉及一种对位调整台，特别是涉及通用型探针对位调整台，属于探针卡。

背景技术：

1、探针卡在测试应用中，与被测产品直接接触的是探针针尖部分，探针针尖的位置及状态关系着整个测试项目的良率与质量。因此，探针卡制作过程中，性能全面的“对位调整台”(下文统称为“调针机”)对于探针针尖的对位与调整工作至关重要。

2、夹持定位探针卡：

3、待调整的探针卡，其外围配件已经组装完毕，由于探针卡pcb的外形种类及尺寸规格不同，如圆形(6英寸、8英寸、12英寸、14英寸)、方形(4.5英寸、8英寸、12英寸)等，探针卡调整前需进行夹持和定位，方便后续工作。

4、纠正mask与探针针尖的相对位置及平行度：

5、探针卡夹持固定后，其探针针尖与mask的相对位置、平行度尚未处于理想状态，需要手动进行定位。因此，“调针机”需要具有六维调节能力，且使用过程中的稳定性、重复定位精度需要保持高度一致。

6、探针卡行业内，“调针机”的结构分为“垂直式”与“翻转式”两种。垂直式调针机受设备机构限制，仅有四维调节能力，无法满足不同种类的探针卡的装夹、调整要求，并且应用过程中需要配置专用真空负压系统、专用治具等，较为繁琐，通用性不强；而普通翻转式调针机，由于设备结构单一，精度限制机构跨度大，负载大，因此很难保证作业过程中的稳定性及重复定位精度满足要求。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是提供通用型探针对位调整台，该对位调整台能够具有五维调节能力，通用性较强有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度。

2、为解决上述问题，提供以下技术方案：

3、设计通用型探针对位调整台，包括基座，所述基座上设置有用于对探针卡进行夹持的夹持定位模块，夹持定位模块上方的中部设置有mask支架，所述mask支架与基座之间设置有用于对mask支架的位置进行调节的调节件，所述调节件包括第二移动台、第三移动台和固定座；所述第三移动台和固定座活络连接，所述固定座的一侧固定设置有转轴，转轴通过轴承转动连接有固定台，转轴的端部延伸出固定台并设置有调节座，所述固定座和固定台上均设置有第四微调分头用于对固定座的角度进行调节，所述第三移动台的另一侧设置有防护壳，防护壳内设置主动轴，主动轴的一端设置有手轮，主动轴的另一端设置有刚性联轴器，刚性联轴器的端部设置有从动轴，从动轴的端部与mask支架相连接，所述刚性联轴器上设置有角度限位环，所述第三移动台对称设置有两个用于限制角度限位环转动的第五微调分头。

4、进一步的，所述调节件还包括设置于基座上表面的安装台，所述安装台的上设置有沿x轴方向运动的第一移动台，所述第二移动台在第一移动台上沿y轴方向运动的，所述安装台的侧边设置有用于对第一移动台位置进行调节的第一微调分头，所述第一移动台的侧边设置有用于对第二移动台位置进行调节的第二微调分头，所述第三移动台在固定台上沿z轴方向运动，所述第三移动台上设置有第三微调分头用于驱动第三移动台进行移动。

5、进一步的，所述基座的上表面设置有移动机构，所述移动机构包括支架，所述支架上设置有沿第一方向运动的第一滑座，第一滑座上设置有沿第二方向运动的第二滑座，所述支架上设置有工具箱。

6、进一步的，所述第一滑座的两侧均固定设置有第一限制件，两个所述第一限制件分别用于防止第一滑座和第二滑座出现偏移。

7、进一步的，所述夹持定位模块包括与基座上表面活络连接的集成板，所述集成板的上表面通过滑轨对称滑动连接有两个夹具，所述集成板的底部设置有用于使两个夹具进行同步运动的传动件，所述夹具的顶部分别活动连接有夹板一和夹板二，所述夹具上设置有用于对夹板一或夹板二进行锁紧的锁紧件，所述夹具均设置有用于对夹具位移进行限制的第二限制件。

8、进一步的，所述基座的上表面设置有用于对集成板进行转动的第六微调分头，所述集成板上设置有氮气复位推杆用于对集成板施加朝向第六微调分头输出端的弹力。

9、进一步的，所述传动件包括四个同步轮，同步轮均与集成板的下表面转动连接，四个所述同步轮套接有同步带，所述同步带固定设置有两个连接臂，两个连接臂的顶部延伸至集成板的上方并分别与夹具相连接，所述集成板的上表面开设有两个分别与连接臂相对应的贯穿槽。

10、进一步的，所述集成板的下表面转动连接有凸轮，所述凸轮的下表面转动连接有用于对同步带的张紧度进行调节的张紧轮，凸轮上开设有上下贯穿的弧形限位槽。

11、与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

12、1、本装置整体采用模块化设计，整体结构紧凑，通过采用调节件以及与调节座、第四微调分头、角度限位环和第五微调分头相配合，显现了对mask支架的五维调节，有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度；

13、2、通过在第一滑座和第二滑座的配合下能够在x轴和y轴方向上进行移动，能够提升观测范围，而且稳定性较高；

14、3、通过设置传动件，能够有效的保证两个夹具运动的同步性，在凸轮和张紧轮之间的配合下，能够对同步带进行张紧，避免同步带与同步轮出现打滑的现象，两个夹具能够有效的满足大多数的探针卡的夹紧定位需求，降低了企业的运营成本，在氮气复位推杆和第六微调分头的配合下，能够根据需要改变夹具水平方向与x轴的夹角，进一步提升适用性。

技术特征：

1.通用型探针对位调整台，包括基座(1)，所述基座(1)上设置有用于对探针卡进行夹持的夹持定位模块，夹持定位模块上方的中部设置有mask支架(16)，其特征在于，所述mask支架(16)与基座(1)之间设置有用于对mask支架(16)的位置进行调节的调节件，所述调节件包括第二移动台(5)、第三移动台(8)和固定座(12)；

2.根据权利要求1所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述调节件还包括设置于基座(1)上表面的安装台(2)，所述安装台(2)的上设置有沿x轴方向运动的第一移动台(3)，所述第二移动台(5)在第一移动台(3)上沿y轴方向运动的，所述安装台(2)的侧边设置有用于对第一移动台(3)位置进行调节的第一微调分头(4)，所述第一移动台(3)的侧边设置有用于对第二移动台(5)位置进行调节的第二微调分头(6)，所述第三移动台(8)在固定台(7)上沿z轴方向运动，所述第三移动台(8)上设置有第三微调分头(9)用于驱动第三移动台(8)进行移动。

3.根据权利要求1所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述基座(1)的上表面设置有移动机构，所述移动机构包括支架(20)，所述支架(20)上设置有沿第一方向运动的第一滑座(21)，第一滑座(21)上设置有沿第二方向运动的第二滑座(22)，所述支架(20)上设置有工具箱(25)。

4.根据权利要求3所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述第一滑座(21)的两侧均固定设置有第一限制件(23)，两个所述第一限制件(23)分别用于防止第一滑座(21)和第二滑座(22)出现偏移。

5.根据权利要求1所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述夹持定位模块包括与基座(1)上表面活络连接的集成板(26)，所述集成板(26)的上表面通过滑轨对称滑动连接有两个夹具(27)，所述集成板(26)的底部设置有用于使两个夹具(27)进行同步运动的传动件，所述夹具(27)的顶部分别活动连接有夹板一(34)和夹板二(35)，所述夹具(27)上设置有用于对夹板一(34)或夹板二(35)进行锁紧的锁紧件，所述夹具(27)均设置有用于对夹具(27)位移进行限制的第二限制件(28)。

6.根据权利要求5所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述基座(1)的上表面设置有用于对集成板(26)进行转动的第六微调分头(33)，所述集成板(26)上设置有氮气复位推杆(32)用于对集成板(26)施加朝向第六微调分头(33)输出端的弹力。

7.根据权利要求5所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述传动件包括四个同步轮(29)，同步轮(29)均与集成板(26)的下表面转动连接，四个所述同步轮(29)套接有同步带(30)，所述同步带(30)固定设置有两个连接臂(31)，两个连接臂(31)的顶部延伸至集成板(26)的上方并分别与夹具(27)相连接，所述集成板(26)的上表面开设有两个分别与连接臂(31)相对应的贯穿槽。

8.根据权利要求7所述的通用型探针对位调整台，其特征在于，所述集成板(26)的下表面转动连接有凸轮(36)，所述凸轮(36)的下表面转动连接有用于对同步带(30)的张紧度进行调节的张紧轮(37)，凸轮(36)上开设有上下贯穿的弧形限位槽(38)。

技术总结
本发明公开了通用型探针对位调整台，属于探针卡技术领域，包括基座，夹持定位模块上方的中部设置有Mask支架，所述Mask支架与基座之间设置有用于对Mask支架的位置进行调节的调节件，所述第三移动台的一侧固定设置有转轴，所述固定座和固定台上均设置有第四微调分头用于对固定座的角度进行调节，所述第三移动台的另一侧设置有防护壳，刚性联轴器的端部设置有从动轴，从动轴的端部与Mask支架相连接，所述刚性联轴器上设置有角度限位环，所述第三移动台对称设置有两个用于限制角度限位环转动的第五微调分头。由此，能够对Mask支架进行五维调节，通用性较强有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度。

技术研发人员：杨夫明
受保护的技术使用者：苏州矽利康测试系统有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12