光检测装置、光照射装置、以及光检测方法与流程

本说明书所公开的主题涉及光检测装置、光照射装置以及光检测方法。

背景技术：

1、以往，提出了一种光照射装置，该光照射装置利用照相机拍摄激光，根据该激光的像测定光束直径、平行度，来调整激光(例如，专利文献1)。

2、专利文献1：日本特开2021-089383号公报

3、然而，在利用照相机拍摄激光的情况下，存在由用于密封cmos或ccd等图像传感器的盖玻璃进行背面反射的激光与原来的激光干涉而产生干涉条纹的情况。若产生这样的干涉条纹，则难以高精度地检测激光的中心。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种在利用照相机拍摄激光时，能够减轻盖玻璃中的背面反射所导致的干涉条纹的产生的技术。

2、为了解决上述课题，第一方式是检测激光的光检测装置，具有：扩散部，保持入射的激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及照相机，具有对在所述扩散部中扩散后的所述激光进行拍摄的图像传感器和位于所述扩散部与所述图像传感器之间的盖玻璃。

3、第二方式根据第一方式的光检测装置，所述图像传感器是二维图像传感器。

4、第三方式根据第二方式的光检测装置，所述光检测装置还具备中心位置计算部，所述中心位置计算部基于由所述图像传感器获取的图像，计算所述激光的中心位置。

5、第四方式根据第一方式至第三方式中任一项的光检测装置，所述照相机还具有框体，所述框体设置有供所述激光通过的开口，所述图像传感器位于所述框体内，所述盖玻璃堵塞所述开口。

6、第五方式根据第四方式的光检测装置，所述扩散部安装于所述框体。

7、第六方式根据第一方式至第五方式中任一项的光检测装置，所述扩散部包括磨砂玻璃。

8、第七方式根据第一方式至第五方式中任一项的光检测装置，所述扩散部包括微透镜阵列。

9、第八方式是光照射装置，具有：保持部，保持基材；激光光源，输出激光；光学系统，将从所述激光光源输出的所述激光引导至保持在所述保持部上的所述基材；以及至少一个光检测部，检测所述激光，所述至少一个光检测部具有：扩散部，保持入射的激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及照相机，具有对在所述扩散部中扩散后的所述激光进行拍摄的图像传感器和位于所述扩散部与所述图像传感器之间的盖玻璃。

10、第九方式根据第八方式的光照射装置，所述光学系统包括：第一分束器，使从所述激光光源输出的所述激光分支；以及第二分束器，使由所述第一分束器分支后的所述激光分支，所述至少一个光检测部包括：第一光检测部，检测由所述第一分束器分支出的所述激光；以及第二光检测部，检测由所述第二分束器分支出的所述激光。

11、第十方式是检测激光的光检测方法，包括：工序a)，保持激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及工序b)，在通过所述工序a)扩散后，利用图像传感器对透过了盖玻璃的激光进行拍摄。

12、根据第一方式至第七方式的光检测装置，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。

13、根据第二方式的光检测装置，能够二维地检测激光的强度分布。

14、根据第三方式的光检测装置，能够检测激光的光轴的位置。

15、根据第六方式的光检测装置，能够通过磨砂玻璃容易地使光均匀地扩散。

16、根据第七方式的光检测装置，能够通过微透镜阵列来控制激光的扩展角以及形状。

17、根据第八方式的光照射装置，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。

18、根据第九方式的光照射装置，能够基于由第一光检测部以及第二光检测部检测出的激光的位置，测定激光的平行度。

19、根据第十方式的光检测方法，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。

技术特征：

1.一种光检测装置，检测激光，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光检测装置，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光检测装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光检测装置，其特征在于，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光检测装置，其特征在于，

7.根据权利要求1至5中任一项所述的光检测装置，其特征在于，

8.一种光照射装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的光照射装置，其特征在于，

10.一种光检测方法，检测激光，其特征在于，

技术总结
本发明提供一种在利用照相机拍摄激光时，能够减轻盖玻璃的背面反射所导致的干涉条纹的产生的技术。光检测部(60a)能够检测激光。光检测部(60a)具有扩散板(61)和照相机(63)。扩散板(61)保持入射的激光(L1)的强度分布的形状并且使激光(L1)扩散。照相机(63)包括图像传感器(631)和盖玻璃(633)。图像传感器(631)拍摄在扩散板(61)中扩散的激光。盖玻璃(633)位于扩散板(61)与图像传感器(631)之间。

技术研发人员：小田晃司
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15