光学检查装置、光学检查系统、光学检查方法以及存储介质与流程

本发明的实施方式涉及光学检查装置、光学检查系统、光学检查方法以及存储介质。

背景技术：

1、在各种产业中，非接触地测定物体的表面变得重要。在以往方法中，有如下手法：将光线分光而对物体照明，利用拍摄元件取得分别分光后的图像，推测各光线方向而取得物体面的信息。

技术实现思路

1、本发明想要解决的课题在于提供一种能够取得包括曲面等的物体的表面的信息的光学检查装置、光学检查系统、光学检查方法以及存储介质。

2、根据实施方式，光学检查装置具备照明部、波长选择部以及拍摄部。照明部对物体的表面的第1物点照射第1照明光，对物体的表面的与第1物点不同的第2物点照射与第1照明光不同的方向的第2照明光。波长选择部具有使不同的波长频谱的光选择性地通过的至少2个波长选择区域。在处于第1物点处的法线方向与第1照明光的方向相向的关系时，拍摄部能够通过波长选择部对来自第1物点的光进行拍摄。在处于第2物点处的、不同于所述第1物点处的法线方向的法线方向与第2照明光的方向相向的关系时，拍摄部能够通过波长选择部对来自第2物点的光进行拍摄。波长选择部配置于拍摄部与物体的表面之间。

3、根据上述光学检查装置，能够取得包括曲面等的物体的表面的信息。

技术特征：

1.一种光学检查装置，具备：

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

3.根据权利要求1或者2所述的光学检查装置，其中，

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光学检查装置，其中，

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光学检查装置，其中，

6.一种光学检查系统，具备：

7.一种光学检查系统，具备：

8.根据权利要求7所述的光学检查系统，其中，

9.一种光学检查方法，包括：

10.根据权利要求9所述的光学检查方法，其中，

11.一种存储有光学检查程序的存储介质，该光学检查程序使处理器执行：

12.根据权利要求11所述的存储有光学检查程序的存储介质，其中，

技术总结
本公开的实施方式涉及光学检查装置、光学检查系统、光学检查方法以及存储介质。提供能够取得包括曲面等的物体表面的信息的光学检查装置。根据实施方式，光学检查装置的照明部对物体的表面的第1物点照射第1照明光，对物体的表面的第2物点照射第2照明光。波长选择部配置于拍摄部与物体的表面之间，使不同的波长频谱的光选择性地通过。拍摄部通过波长选择部对来自第1物点的光进行拍摄，通过波长选择部对来自第2物点的光进行拍摄。

技术研发人员：大野博司,加纳宏弥,冈野英明
受保护的技术使用者：株式会社东芝
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24