一种压力传感器自动校零方法及系统与流程

本发明涉及半导体，具体而言，涉及一种压力传感器自动校零方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

背景技术：

1、纯化器可使用材料反应床来排除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、烃和金属羰基化合物等杂质。从而可以清除背景水平的污染物，不会在工艺流中产生金属或其他有害污染物。

2、压力传感器(pt)是纯化器的重要部件，其在长时间使用后会出现零点漂移的情况，这会导致纯化器出现偏差，并最终因制程气体纯度不够而导致晶圆存在缺陷。

技术实现思路

1、为了至少解决上述背景技术中存在的技术问题，本发明提供了一种压力传感器自动校零方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

2、本发明的第一方面提供了一种压力传感器自动校零方法，所述方法包括如下步骤：

3、根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；

4、根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；

5、根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零。

6、在一些实施例中，在所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据生成第一偏差之前，还包括：

7、根据压力传感器在第三时段的第三压力检测数据生成第三偏差，若所述第三偏差超出漂移阈值，则判定所述压力传感器出现零点漂移。

8、在一些实施例中，所述第一时段位于吹扫作业之前，所述第二时段位于吹扫作业过程中。

9、在一些实施例中，所述根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零，包括：

10、在第四时段内，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零；

11、其中，所述第四时段位于吹扫作业过程中。

12、在一些实施例中，所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差，包括：

13、获取所述第一时段的在先的第一时刻的第一压力数值，以及所述第一时段的在后的第二时刻的第二压力数值；

14、根据所述第一压力数值与所述第二压力数值计算得出第一差值；

15、根据第一预设差值和所述第一差值计算得出所述第一偏差。

16、在一些实施例中，所述根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差，包括：

17、获取所述第二时段的在先的第三时刻的第三压力数值，以及所述第二时段的在后的第四时刻的第四压力数值；

18、根据所述第四压力数值与所述第三压力数值计算得出第二差值；

19、根据第二预设差值和所述第二差值计算得出所述第二偏差。

20、在一些实施例中，所述根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，包括：

21、根据所述第一偏差、所述第二偏差及各自的权重系数计算得出所述偏差幅值。

22、本发明的第二方面提供了一种压力传感器自动校零系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；

23、所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；

24、所述获取模块，用于获取压力传感器的压力检测数据，并传输给所述处理模块；

25、其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。

26、本发明的第三方面还提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。

27、本发明的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前任一项所述的方法。

28、本发明的有益效果在于：

29、本发明的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。

技术特征：

1.一种压力传感器自动校零方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：在所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据生成第一偏差之前，还包括：

3.根据权利要求2所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述第一时段位于吹扫作业之前，所述第二时段位于吹扫作业过程中。

4.根据权利要求2或3所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零，包括：

5.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差，包括：

6.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差，包括：

7.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，包括：

8.一种压力传感器自动校零系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；

9.一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如权利要求1-7任一项所述的方法。

10.一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-7任一项所述的方法。

技术总结
本发明提供了一种压力传感器自动校零方法及系统。所述方法包括：根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；根据压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；根据第一偏差、第二偏差确定偏差幅值，根据偏差幅值对压力传感器进行自动校零。本发明的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。

技术研发人员：刘仁鑫
受保护的技术使用者：上海和宏电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14