一种半导体石英环柔性测量设备的制作方法

本发明涉及半导体测量相关，具体为一种半导体石英环柔性测量设备。

背景技术：

1、半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，并且半导体的应用非常广泛，如大部分的电子产品、计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等等；

2、而在对石英圆盘类半导体工件进行柔性测量过程中，通常需要借助于相应的柔性测量设备来完成测量工作，测量设备根据工件类型，自动调用相对应的测量程序进行测量；

3、但是，通常所使用的半导体石英环柔性测量设备，仍存在以下不足：

4、1.现有的半导体石英环柔性测量设备，工件在测量机之间的上下料，主要靠人力将石英环安放到测量台面上，需要手动定位石英环，因而需要耗费较长的定位时间后，再开始自动测量；

5、2.现有的半导体石英环柔性测量设备，在安装测量工件时会使石英环的上下料时间比较长，而此时测量系统处于等待中，严重影响了测量效率；

6、3.现有的半导体石英环柔性测量设备，在实际测量过程中，需要依赖于人为操作，自动化程度较低，使得检测效率低，而且人为误操作容易造成产品划伤，对操作人员要求较高，需要对操作人员在测量之前进行培训。

7、因此，我们提出一种半导体石英环柔性测量设备，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体石英环柔性测量设备，以解决上述背景技术提出的工件在测量机之间的上下料，主要靠人力将石英环安放到测量台面上，需要手动定位石英环，因而需要耗费较长的定位时间后，再开始自动测量，在安装测量工件时会使石英环的上下料时间比较长，而此时测量系统处于等待中，严重影响了测量效率，在实际测量过程中，需要依赖于人为操作，自动化程度较低，使得检测效率低，而且人为误操作容易造成产品划伤，对操作人员要求较高，需要对操作人员在测量之前进行培训的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体和安装在六轴机器人主体活动端的机械手拉钉接头；

3、还包括：

4、红外扫码枪，所述红外扫码枪安装在固定连接板的上端，且固定连接板固定连接在支撑栅栏的中部；

5、工件料架，所述工件料架安装在六轴机器人主体的外侧，且工件料架的下端固定连接有支撑脚，并且工件料架通过支撑脚直接置于地面。

6、优选的，所述六轴机器人主体的左右两端均安装有测量机，且测量机的中部固定安装有台面夹具，并且测量机的下端直接置于地面；

7、其中，所述测量机的上端安装有状态显示灯。

8、优选的，所述支撑栅栏与中部的工件料架之间固定连接，且支撑栅栏分为前后2个单体，并且工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置。

9、优选的，所述六轴机器人主体前侧支撑栅栏的上端安装有前主控显示屏，且六轴机器人主体后侧支撑栅栏的上端安装有后主控显示屏。

10、优选的，所述工件料架的中部等间距设置有石英环夹具，且石英环夹具的上方放置有石英环本体。

11、优选的，所述石英环夹具用于对上端的石英环本体进行限位，且石英环夹具内侧的中部设置有托盘接头；

12、其中，所述石英环夹具安装在承载托盘的上端，且承载托盘在工件料架内部构成伸缩结构，并且承载托盘带动石英环夹具从工件料架内部的料库中移出。

13、优选的，所述工件料架的下端设置有用于辅助支撑的支撑柱，且支撑柱固定连接在支撑脚的侧面，并且支撑柱结合支撑脚对工件料架共同支撑。

14、优选的，所述半导体石英环柔性测量设备使用操作步骤如下：

15、步骤一：工件装夹；

16、步骤二：机器人自动抓取；

17、步骤三：测量机测量；

18、步骤四：工件归位；

19、步骤五：生成测量报告。

20、与现有技术相比，本发明的有益效果是：该半导体石英环柔性测量设备，工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置，承载托盘带动石英环夹具在工件料架的内部构成伸缩结构，六轴机器人主体可对不同位置的工件料架内部的产品进行抓取，通过六轴机器人主体结合机械手拉钉接头对被测量的产品进行自动抓取至测量机中部的台面夹具上进行自动无人化测量，整体的自动化程度高，而且便于批量对产品进行测量，大大提升了实际的测量效率，并且在测量过程中有效的降低人为操作容易造成产品划伤，降低操作人员劳动强度，操作十分快捷方便；

21、1.设有六轴机器人主体、机械手拉钉接头和测量机，六轴机器人主体结合机械手拉钉接头对被测量的产品进行自动抓取，将产品移送至测量机中部的台面夹具上，对产品进行自动测量，整体测量过程中的自动化程度较高，大大节省了人力操作，提升了实际的测量效率；

22、2.设有工件料架、石英环夹具合承载托盘，工件料架的内部设置有承载托盘，并且承载托盘带动上端的石英环夹具在工件料架的内部构成伸缩结构，结合工件料架在六轴机器人主体的外侧呈等角度设置，可对不同位置的工件料架内部的产品进行抓取，便于批量对产品进行抓取测量，使用非常方便；

23、3.设有支撑脚、支撑柱和状态显示灯，通过支撑脚和支撑柱能够对工件料架进行辅助支撑，提升工件料架在测量以及抓取过程中的稳定性，结合状态显示灯的设置，能够非常直观的对测量结果进行展示，便于对产品的检测结果进行观察和了解。

技术特征：

1.一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体（1）和安装在六轴机器人主体（1）活动端的机械手拉钉接头（2）；

2.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述六轴机器人主体（1）的左右两端均安装有测量机（3），且测量机（3）的中部固定安装有台面夹具（4），并且测量机（4）的下端直接置于地面；

3.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述支撑栅栏（5）与中部的工件料架（10）之间固定连接，且支撑栅栏（5）分为前后2个单体，并且工件料架（10）在六轴机器人主体（1）的外侧呈等角度设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述六轴机器人主体（1）前侧支撑栅栏（5）的上端安装有前主控显示屏（8），且六轴机器人主体（1）后侧支撑栅栏（5）的上端安装有后主控显示屏（9）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述工件料架（10）的中部等间距设置有石英环夹具（11），且石英环夹具（11）的上方放置有石英环本体（12）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述石英环夹具（11）用于对上端的石英环本体（12）进行限位，且石英环夹具（11）内侧的中部设置有托盘接头（13）；

7.根据权利要求6所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述工件料架（10）的下端设置有用于辅助支撑的支撑柱（16），且支撑柱（16）固定连接在支撑脚（15）的侧面，并且支撑柱（16）结合支撑脚（15）对工件料架（10）共同支撑。

8.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述半导体石英环柔性测量设备使用操作步骤如下：

技术总结
本发明公开了一种半导体石英环柔性测量设备，包括六轴机器人主体和安装在六轴机器人主体活动端的机械手拉钉接头，红外扫码枪，所述红外扫码枪安装在固定连接板的上端，且固定连接板固定连接在支撑栅栏的中部，工件料架，所述工件料架安装在六轴机器人主体的外侧，且工件料架的下端固定连接有支撑脚，并且工件料架通过支撑脚直接置于地面，所述六轴机器人主体的左右两端均安装有测量机，且测量机的中部固定安装有台面夹具。该半导体石英环柔性测量设备，整体的自动化程度高，而且便于批量对产品进行测量，大大提升了实际的测量效率，并且在测量过程中有效的降低人为操作容易造成产品划伤，降低操作人员劳动强度。

技术研发人员：陈海源,于益民,张月清,杨军
受保护的技术使用者：江苏富乐德石英科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15