半导体器件测试装置的制作方法

本发明涉及半导体测试，尤其是涉及一种半导体器件测试装置。

背景技术：

1、相关技术中的半导体器件在进行波形测试时，需要将半导体器件的引脚焊接铜线以将引脚测试点引出，而每次更换半导体器件时都需要重复焊接，不仅操作繁琐，且在多次焊接后易导致焊点损坏，由此，一些技术中通过将半导体器件测试装置的导电探针与半导体器件的引脚接触实现电连接，以引出半导体器件的引脚测试点，但是，由于不同规格的半导体器件的相邻引脚之间的间距不同，相关技术中的半导体器件测试装置无法适用于不同规格的半导体器件，适用性较低。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种半导体器件测试装置，该半导体器件测试装置能够调节相邻两个导电探针之间的距离，以适配不同的引脚间距，具有适用性高和操作简单等优点。

2、为了实现上述目的，根据本发明实施例提出了一种半导体器件测试装置，包括：底座；固定板，所述固定板与所述底座连接且在第一方向上相对于所述底座可移动，所述固定板设有多个导向滑轨，多个所述导向滑轨沿第二方向间隔排布，所述导向滑轨沿第三方向延伸，所述第二方向和所述第三方向均与所述第一方向垂直设置，所述第二方向和所述第三方向相对倾斜设置且平行于半导体器件；多个导电探针,多个所述导电探针一一对应且可滑动地设于多个所述导向滑轨，所述导电探针适于与所述半导体器件电连接；多个引出件，多个所述引出件设于所述固定板且与多个所述导电探针一一对应地电连接；其中，所述导电探针通过沿所述第三方向滑动，以调节相邻两个所述导电探针在所述第二方向上的距离。

3、根据本发明实施例的半导体器件测试装置能够调节相邻两个导电探针之间的距离，以适配不同的引脚间距，具有适用性高和操作简单等优点。

4、根据本发明的一些实施例，所述半导体器件测试装置还包括：多个导电件，多个所述导电件设于所述固定板，所述导电件分别与一个所述导电探针和与该导电探针对应的引出件连接，所述引出件与所述导向滑轨在所述第三方向上间隔设置。

5、根据本发明的一些实施例，多个所述导电件和多个所述导向滑轨在所述第二方向上交替排布；多个所述引出件在所述第三方向上位于多个所述导向滑轨的同一侧，所述导电件的朝向所述引出件的一端超出所述导向滑轨的朝向所述引出件的一端，所述导电件的背向所述引出件的一端不超出所述导向滑轨的背向所述引出件的一端。

6、根据本发明的一些实施例，所述导电探针包括：插入段，所述插入段可滑动地插入所述导向滑轨内；过渡段，所述过渡段与所述插入段连接，所述过渡段的背向所述半导体器件的一端设有导电部，所述导电部在所述第二方向上的尺寸大于所述导向滑轨在所述第二方向上的尺寸，所述导电部与所述导电件连接；连接段，所述连接段与所述过渡段的背向所述底座的一侧连接且超出所述过渡段的朝向所述半导体器件的一端，所述连接段适于与所述半导体器件电连接。

7、根据本发明的一些实施例，所述固定板的背向所述底座的一侧设有固定凸起，所述引出件构造为柱体，所述引出件安装于所述固定凸起；其中，所述固定凸起在所述第三方向上位于多个所述导向滑轨的同一侧，所述固定凸起在所述第三方向上与所述导向滑轨间隔设置。

8、根据本发明的一些实施例，所述导向滑轨在其延伸方向上构造有至少一个曲线折弯区。

9、根据本发明的一些实施例，所述导向滑轨在其延伸方向上构造有多个曲线折弯区，至少两个所述曲线折弯区的弯曲方向在所述第二方向上相反。

10、根据本发明的一些实施例，所述半导体器件测试装置还包括：弹性件，所述底座的朝向所述固定板的一侧设有第一导向柱，所述固定板设有第一导向孔，所述第一导向柱插入所述第一导向孔，所述弹性件套设于所述第一导向柱且分别止抵于所述固定板和所述底座；止挡件，所述止挡件与所述第一导向柱连接且止挡于所述固定板的背向所述底座的一侧。

11、根据本发明的一些实施例，所述底座的朝向所述固定板的一侧还设有第二导向柱，所述第二导向柱和所述第一导向柱间隔设置，且所述第二导向柱的延伸方向和所述第一导向柱的中心轴线平行；所述固定板还设有第二导向孔，所述第二导向孔和所述第一导向孔间隔设置，且所述第二导向柱可滑动地伸入所述第二导向孔。

12、根据本发明的一些实施例，所述第二导向柱为多个，多个所述第二导向柱在所述第二方向上位于所述第一导向柱的相对两侧；所述第二导向孔为多个，多个所述第二导向孔在所述第二方向上位于所述第一导向孔的相对两侧，多个所述第二导向柱一一对应地伸入多个所述第二导向孔。

13、根据本发明的一些实施例，所述半导体器件测试装置还包括：锁紧螺栓，所述固定板的背向所述半导体器件的一侧设有锁紧螺纹孔，所述锁紧螺纹孔与所述第二导向孔连通，所述锁紧螺栓和所述锁紧螺纹孔螺纹连接；其中，所述锁紧螺栓止抵于所述第二导向柱时，所述固定板和所述底座之间相对位置固定；所述锁紧螺栓与所述第二导向柱分离时，所述固定板和所述底座之间可相对移动。

14、根据本发明的一些实施例，所述固定板的朝向所述底座的一侧设有增厚部，所述第一导向孔、所述第二导向孔和所述锁紧螺纹孔设于所述增厚部。

15、根据本发明的一些实施例，所述固定板为多个，多个所述固定板包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板分别可移动地连接于所述底座的厚度方向的相对两侧。

16、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种半导体器件测试装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体器件测试装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的半导体器件测试装置，其特征在于，多个所述导电件和多个所述导向滑轨在所述第二方向上交替排布；

4.根据权利要求3所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述导电探针包括：

5.根据权利要求1所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述固定板的背向所述底座的一侧设有固定凸起，所述引出件构造为柱体，所述引出件安装于所述固定凸起；

6.根据权利要求1所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述导向滑轨在其延伸方向上构造有至少一个曲线折弯区。

7.根据权利要求6所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述导向滑轨在其延伸方向上构造有多个曲线折弯区，至少两个所述曲线折弯区的弯曲方向在所述第二方向上相反。

8.根据权利要求1所述的半导体器件测试装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述底座的朝向所述固定板的一侧还设有第二导向柱，所述第二导向柱和所述第一导向柱间隔设置，且所述第二导向柱的延伸方向和所述第一导向柱的中心轴线平行；

10.根据权利要求9所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述第二导向柱为多个，多个所述第二导向柱在所述第二方向上位于所述第一导向柱的相对两侧；

11.根据权利要求9所述的半导体器件测试装置，其特征在于，还包括：

12.根据权利要求11所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述固定板的朝向所述底座的一侧设有增厚部，所述第一导向孔、所述第二导向孔和所述锁紧螺纹孔设于所述增厚部。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的半导体器件测试装置，其特征在于，所述固定板为多个，多个所述固定板包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板分别可移动地连接于所述底座的厚度方向的相对两侧。

技术总结
本发明公开了一种半导体器件测试装置，包括：底座；固定板，固定板与底座连接且在第一方向上相对底座可移动，固定板设有多个沿第二方向间隔排布的导向滑轨，导向滑轨沿第三方向延伸，第二方向和第三方向均与第一方向垂直设置，第二方向和第三方向相对倾斜设置且平行于半导体器件；多个导电探针,多个导电探针一一对应且可滑动地设于多个导向滑轨，导电探针与半导体器件电连接；多个引出件，多个引出件与多个导电探针一一对应地电连接；导电探针通过沿第三方向滑动，以调节相邻两个导电探针在第二方向上的距离。根据本发明实施例的半导体器件测试装置能够调节相邻两个导电探针之间的距离，以适配不同的引脚间距，具有适用性高和操作简单等优点。

技术研发人员：纪泽轩,张梅琼,马浩华,吴民安
受保护的技术使用者：海信家电集团股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15