照明装置及半导体检测设备的制作方法

本申请属于半导体器件检测设备，尤其是涉及一种照明装置及半导体检测设备。

背景技术：

1、近年来，随着半导体行业的高速发展，晶圆制造工艺中的缺陷检测设备需求也越来越广泛。现有晶圆检测设备都是采用电子束检测，为保证电子束检测成像的清晰，需要在被检测的位置提供光照。

2、需要说明的是，晶圆在被检测时处于真空环境，现有采用的照明方案为在大气侧设置照明装置以为位于真空侧的晶圆提供光照。应理解地，在真空侧设置照明装置以为位于真空侧的晶圆提供光照，具备更好照明效果以便于识别晶圆上的微观尺寸特征。然而，现有使用的照明装置并不能适配于真空环境中应用。

技术实现思路

1、本申请提供了一种照明装置及半导体器检测设备，以解决现有照明装置无法应用于真空环境中的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种照明装置，用于半导体检测设备中，包括发光机构和第一光路模组；发光机构的至少部分设置于半导体设备的腔室中，以为腔室提供光照；第一光路模组设置于腔室中、且至少部分位于发光机构的下游侧，以用于改变发光机构发出的光的方向。

3、在本申请可选的方案中，发光机构包括光输入部件和光输出部件，光输出部件位于腔室中，光输入部件连接于光输出部件并位于腔室外；第一光路模组连接于光输出部件且至少部分位于光输出部件的下游侧。

4、在本申请可选的方案中，发光机构还包括连接部件，光输入部件与光输出部件通过连接部件相连，连接部件能够将经由光输入部件引入的光传递至光输出部件。

5、在本申请可选的方案中，第一光路模组包括镜筒组件以及第一镜组模块，光输出部件设置于镜筒组件中，第一镜组模块设置于镜筒组件中并位于光输出部件的下游侧。

6、在本申请可选的方案中，照明装置还包括调节机构，调节机构的至少部分设置于腔室外，且调节机构连接于镜筒组件并设置为用于调节镜筒组件的位置。

7、在本申请可选的方案中，调节机构包括密封组件、镜筒调节架以及第一调节结构；密封组件设有过孔，镜筒调节架活动连接于密封组件并位于过孔的轴向一侧，镜筒组件连接于镜筒调节架；第一调节结构设置于密封组件且至少部分位于腔室外，且第一调节结构穿过过孔并连接于镜筒调节架，第一调节结构设置为能够驱动镜筒调节架在过孔的轴向移动。

8、在本申请可选的方案中，调节机构还包括第二调节结构，第二调节结构设置于密封组件且至少部分位于腔室外，第二调节结构连接于第一调节结构并设置为能够驱动第一调节结构在过孔的径向移动。

9、在本申请可选的方案中，密封组件包括第一安装座以及活动套管，活动套管的轴向两端分别连接于第一安装座以及镜筒调节架，第一安装座设置于腔室的外侧并与腔室的侧壁连接。

10、在本申请可选的方案中，第一调节结构包括活动柱以及压块；压块位于腔室外并连接于密封组件；活动柱的部分位于腔室外且轴向一端穿过过孔并连接于镜筒调节架，活动柱设置为能够带动镜筒调节架沿过孔的轴向移动。

11、在本申请可选的方案中，活动柱为螺柱，活动柱的轴向一端设有第一外螺纹并与镜筒调节架螺纹连接，活动柱的轴向另一端转动连接于压块。

12、在本申请可选的方案中，活动柱远离第一外螺纹的轴向一端设有第二外螺纹并与压块螺纹连接；第二外螺纹的螺距与第一外螺纹的螺距不等。

13、在本申请可选的方案中，第二调节结构包括多个抵接件以及活动件；活动件设置于密封组件并连接于第一调节结构，多个抵接件均活动连接于密封组件并设置为能够推动活动件沿过孔径向移动。

14、在本申请可选的方案中，活动件包括活动块，活动块包括多个斜壁，多个斜壁关于活动块的中心对称设置；各抵接件分别一一对应抵接于各斜壁。

15、在本申请可选的方案中，活动件还包括套管段，套管段连接于活动块并位于过孔内。

16、在本申请可选的方案中，第二调节结构还包括多个弹性组件；多个弹性组件设置于活动块且关于过孔的轴心线中心对称布置，各弹性组件均连接于密封组件。

17、在本申请可选的方案中，调节机构还包括第一弹性件，第一弹性件外套于活动柱并夹设于套管段与镜筒调节架之间。

18、在本申请可选的方案中，镜筒组件包括第一镜筒以及第二镜筒，第二镜筒连接于第一镜筒并与第一镜筒同轴设置；光输出部件设置于第一镜筒远离第二镜筒的一端，调节机构连接于第一镜筒。

19、在本申请可选的方案中，第一镜组模块包括第一聚焦透镜组以及第一反射镜；第一聚焦透镜组设置于第一镜筒内，第一反射镜设置于第二镜筒并位于远离第一镜筒的一端。

20、根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括腔室、图像采集装置以及上述的照明装置；照明装置的发光机构的至少部分设置于腔室中，以为腔室提供光照，第一光路模组设置于腔室中，以改变发光机构发出的光的光路方向；图像采集装置的至少部分设置于腔室中。

21、在本申请可选的方案中，图像采集装置包括相机模组、第二光路模组以及镜筒安装架，相机模组位于腔室外，第二光路模组及镜筒安装架位于腔室内；相机模组在镜筒安装架的长度方向上与镜筒安装架对齐设置、并位于镜筒安装架的端侧；第二光路模组连接于镜筒安装架，并用于将从照明装置发出的光引导至相机模组。

22、在本申请可选的方案中，第二光路模组包括第三镜筒以及第二镜组模块，第三镜筒垂直连接于镜筒安装架，第二镜组模块设置于第三镜筒内并用于改变光路方向。

23、在本申请可选的方案中，第二镜组模块包括第二反射镜、第二聚焦透镜组以及第三反射镜；第二反射镜、第二聚焦透镜组以及第三反射镜沿第三镜筒的轴向依次间隔设置于第三镜筒内。

24、在本申请可选的方案中，相机模组包括相机、第二安装座以及保护透镜组；第二安装座与保护透镜组均连接于腔室的侧壁，相机连接于第二安装座，保护透镜组位于第二安装座与镜筒安装架之间。

25、在本申请提供的照明装置中，发光机构由大气侧引入至真空侧，以与真空侧的第一光路模组相连。发光机构发出的光经由第一光路模组改变方向，进而照射于位于真空环境中的半导体器件。显然地，该照明装置能够应用于真空环境，并在真空环境中以为位于真空环境中的半导体器件提供光照，如此能够在半导体器件上形成更好的照明效果，以让图像采集装置获取清晰的图像数据，利于识别半导体器件上的微观尺寸特征。

技术特征：

1.一种照明装置，用于半导体检测设备中，其特征在于，包括发光机构和第一光路模组；

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，所述发光机构还包括连接部件，所述光输入部件与所述光输出部件通过所述连接部件相连，所述连接部件能够将经由所述光输入部件引入的光传递至所述光输出部件。

4.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括调节机构，所述调节机构的至少部分设置于所述腔室外，且所述调节机构连接于所述镜筒组件并设置为用于调节所述镜筒组件的位置。

6.根据权利要求5所述的照明装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，所述调节机构还包括第二调节结构，所述第二调节结构设置于所述密封组件且至少部分位于所述腔室外，所述第二调节结构连接于所述第一调节结构并设置为能够驱动所述第一调节结构在所述过孔的径向移动。

8.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，所述密封组件包括第一安装座以及活动套管，所述活动套管的轴向两端分别连接于所述第一安装座以及所述镜筒调节架，所述第一安装座设置于所述腔室的外侧并与所述腔室的侧壁连接。

9.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的照明装置，其特征在于，所述活动柱为螺柱，所述活动柱的轴向一端设有第一外螺纹并与所述镜筒调节架螺纹连接，所述活动柱的轴向另一端转动连接于所述压块。

11.根据权利要求10所述的照明装置，其特征在于，

12.根据权利要求7所述的照明装置，其特征在于，

13.根据权利要求12所述的照明装置，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的照明装置，其特征在于，所述活动件还包括套管段，所述套管段连接于所述活动块并位于所述过孔内。

15.根据权利要求13所述的照明装置，其特征在于，

16.根据权利要求14所述的照明装置，其特征在于，所述调节机构还包括第一弹性件，所述第一弹性件外套于所述活动柱并夹设于所述套管段与所述镜筒调节架之间。

17.根据权利要求5所述的照明装置，其特征在于，

18.根据权利要求17所述的照明装置，其特征在于，

19.一种半导体检测设备，其特征在于，包括腔室、图像采集装置以及根据权利要求1至18中任一项所述的照明装置；

20.根据权利要求19所述的半导体检测设备，其特征在于，

21.根据权利要求20所述的半导体检测设备，其特征在于，

22.根据权利要求21所述的半导体检测设备，其特征在于，

23.根据权利要求20所述的半导体检测设备，其特征在于，

技术总结
本申请属于半导体器件检测设备技术领域，尤其是涉及一种照明装置及半导体检测设备。该照明装置用于半导体检测设备中并包括发光机构和第一光路模组；发光机构的至少部分设置于半导体设备的腔室中，以为腔室提供光照；第一光路模组设置于腔室中、且至少部分位于发光机构的下游侧，以用于改变发光机构发出的光的方向。该照明装置能够应用于真空环境，并在真空环境中以为位于真空环境中的半导体器件提供光照，如此能够在半导体器件上形成更好的照明效果，以让图像采集装置获取清晰的图像数据，利于识别半导体器件上的微观尺寸特征。

技术研发人员：张立杰,郝琪
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15