电阻电桥偏移补偿的温度系数的制作方法

本公开的技术大体上涉及例如压电电阻电桥等压力感测电路，且更具体地说涉及为所述压力感测电路提供温度补偿的电路。

背景技术：

1、计算装置在现代社会中比比皆是。这些计算装置的普及在某种程度上是由此类装置上现在支持的许多功能推进的。随着此类装置可用的多种功能的出现，装置执行的处理也有所增加，这反过来会产生热并导致提供这些功能的电路发生温度变化。虽然有些电路对温度变化不敏感，但例如基于压电的压力传感器等其它电路对温度变化敏感。一种此类电路是压电电阻电桥，例如可用于微机电系统(mems)传感器中。这种敏感性为创新提供了空间。

技术实现思路

1、详细描述中公开的方面包含用于电阻电桥偏移补偿的温度系数的系统和方法。具体地说，本公开的示例性方面设想以与电阻电桥内的电阻元件并联的方式添加一个或多个电流源。所述电流源可选择性地接通且由控制电路基于来自温度传感器的读数进行调节。以此方式，可以消除或校正温度引起的电阻变化，从而使得电阻电桥的性能更好。

2、就此而言，在一个方面中，公开一种压力传感器。所述压力传感器包括电阻电桥。所述电阻电桥包括定位于第一端子节点与第二端子节点之间的第一电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第一端子节点与第三端子节点之间的第二电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第二端子节点与第四端子节点之间的第三电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第三端子节点与所述第四端子节点之间的第四电阻器。所述压力传感器还包括至少一个电流源，其与所述第一电阻器到所述第四电阻器中的相应一个电阻器相关联且电并联。所述压力传感器还包括开关，其与所述至少一个电流源相关联且被配置成将所述至少一个电流源选择性地耦合到所述第一电阻器到所述第四电阻器中的所述相应一个电阻器。

3、在另一方面中，公开一种装置。所述装置包括压力传感器。所述压力传感器包括电阻电桥。所述电阻电桥包括定位于第一端子节点与第二端子节点之间的第一电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第一端子节点与第三端子节点之间的第二电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第二端子节点与第四端子节点之间的第三电阻器。所述电阻电桥还包括定位于所述第三端子节点与所述第四端子节点之间的第四电阻器。所述压力传感器还包括至少一个电流源，其与所述第一电阻器到所述第四电阻器中的相应一个电阻器相关联且电并联。所述压力传感器还包括开关，其与所述至少一个电流源相关联且被配置成将所述至少一个电流源选择性地耦合到所述第一电阻器到所述第四电阻器中的所述相应一个电阻器。所述装置还包括温度传感器。所述装置还包括控制电路，其被配置成从所述温度传感器接收信号并控制所述开关和所述至少一个电流源以基于所述信号补偿温度变化。

4、在另一方面中，公开一种用于补偿压力传感器中的温度变化的方法。所述方法包括用温度传感器检测温度。所述方法还包括基于所述温度将电流源选择性地耦合到电阻电桥中的电阻器。

技术特征：

1.一种压力传感器，包括：

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述至少一个电流源包括四个电流源，所述四个电流源中的每一者与所述第一电阻器到所述第四电阻器中的相应电阻器相关联且电并联。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，进一步包括第二开关到第四开关，这些开关与所述四个电流源中的相应电流源相关联且被配置成将所述四个电流源中的所述相应电流源选择性地耦合到所述第一电阻器到所述第四电阻器中的相应电阻器。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其中所述四个电流源中的第一电流源包括与绝对温度成正比(ptat)电流源。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其中所述ptat电流源被配置成基于来自温度传感器的信号补偿偏移电压。

6.根据权利要求2所述的压力传感器，其中所述四个电流源中的第一电流源包括与绝对温度成反比(ctat)电流源。

7.根据权利要求6所述的压力传感器，其中所述四个电流源中的第二电流源包括与绝对温度成正比(ptat)电流源。

8.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述第一电阻器到所述第四电阻器包括压电材料。

9.根据权利要求1所述的压力传感器，其集成到微机电系统(mems)装置中。

10.根据权利要求1所述的压力传感器，进一步包括耦合到所述第一端子节点和所述第四端子节点的电压源(vs)。

11.一种装置，包括：

12.一种用于补偿压力传感器中的温度变化的方法，所述方法包括：

13.根据权利要求12所述的方法，其中选择性地耦合所述电流源包括激活开关以将所述电流源耦合到所述电阻器。

14.根据权利要求12所述的方法，其中选择性地耦合所述电流源包括将四个电流源中的至少一个电流源选择性地耦合到所述电阻电桥中的相应电阻器。

15.根据权利要求12所述的方法，其中选择性地耦合包括将与绝对温度成正比(ptat)电流源选择性地耦合到所述电阻器。

16.根据权利要求12所述的方法，其中选择性地耦合包括将与绝对温度成反比(ctat)电流源选择性地耦合到所述电阻器。

技术总结
公开用于电阻电桥偏移补偿的温度系数的系统和方法。在一个方面中，以与电阻电桥内的电阻元件并联的方式添加一个或多个电流源。所述电流源可选择性地接通且由控制电路基于来自温度传感器的读数进行调节。以此方式，可以消除或校正温度引起的电阻变化，从而使得所述电阻电桥的性能更好。

技术研发人员：M·杨,J·M·蔡
受保护的技术使用者：QORVO美国公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/22