本发明涉及一种辐射摄像设备的制造方法。
背景技术:
1、在医学图像诊断或无损检查中,广泛地使用辐射摄像设备。国际公开no.2020/229499描述了在用于形成闪烁体的基板上形成闪烁体之后,将所形成的闪烁体固定至传感器基板,然后使用于形成闪烁体的基板与闪烁体分离。根据国际公开no.2020/229499,由于在辐射摄像设备中未使用用于形成闪烁体的基板,因此可以选择适合于形成闪烁体的材料作为基板的材料,而不考虑辐射透过性和光反射率。
技术实现思路
1、在国际公开no.2020/229499中描述的步骤中,在形成闪烁体之后,闪烁体的上表面和侧表面可能暴露于外部空气。进一步,当使用于形成闪烁体的基板与闪烁体分离时,闪烁体的已经与用于形成闪烁体的基板接触的表面也可能暴露于外部空气。闪烁体可能由于外部空气中含有的水而潮解。如果暴露于外部空气的闪烁体表面增加,则闪烁体的特性会进一步恶化。
2、本发明的一些实施例提供了一种有利于抑制闪烁体的特性恶化的技术。
3、根据一些实施例,提供了一种辐射摄像设备的制造方法,在辐射摄像设备中,传感器基板和闪烁体通过结合构件结合,制造方法包括:在支撑基板上形成包括防潮层的功能层,防潮层被构造成抑制水的渗透;在其上布置有功能层的支撑基板上形成闪烁体;以及使闪烁体的至少一部分与功能层一起从支撑基板分离。
4、根据下面对示例性实施例的描述(参考附图),本发明的进一步的特征将变得显而易见。
1.一种辐射摄像设备的制造方法,在辐射摄像设备中,传感器基板和闪烁体通过结合构件结合,制造方法包括:
2.根据权利要求1所述的制造方法,其中,
3.根据权利要求1所述的制造方法,还包括:
4.根据权利要求3所述的制造方法,其中,
5.根据权利要求3所述的制造方法,其中,
6.根据权利要求1所述的制造方法,还包括:
7.根据权利要求1所述的制造方法,还包括:
8.根据权利要求7所述的制造方法,还包括:
9.根据权利要求1所述的制造方法,其中,
10.根据权利要求1所述的制造方法,其中,
11.根据权利要求10所述的制造方法,其中,
12.根据权利要求1所述的制造方法,其中,
13.根据权利要求1所述的制造方法,其中,
14.根据权利要求1所述的制造方法,其中,