MEMS传感器的制作方法

【】本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种快速启动的mems(微机电系统(mems,micro-electro-mechanical system)传感器。

背景技术

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背景技术：

1、在mems陀螺仪或其他基于谐振器的mems传感器中，谐振器的谐振将作为整个系统的参考。然而，现有的mems传感器的谐振器从静止状态到幅度达到期望幅值的稳定简谐运动状态的启动时间通常为100毫秒，这对于便携式应用中的高级应用来说太慢了，并且降低了总体功率效率。

2、因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、本发明的目的之一在于提供一种快速启动的mems传感器，其可以大大缩短mems传感器的启动时间。

2、为实现上述目的，根据本发明的一个方面，本发明提供一种mems传感器，其包括：谐振器，其包括第一驱动电容和第二驱动电容，其中第一驱动电容的第一连接端和第二驱动电容的第一连接端耦接至预定直流驱动电压；驱动器，其包括第一驱动单元、第二驱动单元和多路选择器，第一驱动单元输出相位相反的第一对方波驱动信号，第二驱动单元输出相位相反的第二对方波驱动信号，第一对方波驱动信号的高电平高于第二对方波驱动信号的高电平，所述多路选择器根据选择控制信号选择第一对方波驱动信号或者第二对方波驱动信号作为输出，所述多路选择器输出的一对方波驱动信号被分别耦接至第一驱动电容的第二连接端和第二驱动电容的第二连接端，其中在所述谐振器启动期间中，所述选择控制信号被配置为第一逻辑电平，使得所述多路选择器输出第一对方波驱动信号，在所述谐振器正常运行时，所述选择控制信号被配置为第二逻辑电平，使得所述多路选择器输出第二对方波驱动信号。

3、与现有技术相比，本发明在所述mems传感器的谐振器启动期间，利用高电平较高的第一对方波驱动信号对所述谐振器进行驱动，在所述mems传感器的谐振器正常运行时，利用高电平较低的第二对方波驱动信号对所述谐振器进行驱动，这样可以大大缩短启动时间。

技术特征：

1.一种mems传感器，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的mems传感器，其特征在于，第一驱动电容和第二驱动电容包括第一驱动电容电极、第二驱动电容电极以及位于第一驱动电容电极和第二驱动电容电极之间的可移动质量块，所述可移动质量块作为第一驱动电容的第一连接端和第二驱动电容的第一连接端与预定直流驱动电压耦接，第一驱动电容电极作为第一驱动电容的第二连接端，第二驱动电容电极作为第二驱动电容的第二连接端，在所述多路选择器输出的一对方波驱动信号的驱动下，所述可移动质量块做简谐运动。

3.根据权利要求2所述的mems传感器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的mems传感器，其特征在于，每个方波驱动信号的低电平为零电平。

5.根据权利要求3所述的mems传感器，其特征在于，其还包括：

6.根据权利要求1所述的mems传感器，其特征在于，所述mems传感器为mems陀螺仪。

技术总结
本发明提供一种MEMS传感器，其包括：第一驱动电容和第二驱动电容；驱动器，其包括第一驱动单元、第二驱动单元和多路选择器。在所述谐振器启动期间中，所述多路选择器输出第一驱动单元输出的相位相反的第一对方波驱动信号，在所述谐振器正常运行时，所述多路选择器输出第二驱动单元输出的相位相反的第二对方波驱动信号，所述多路选择器输出的一对方波驱动信号被分别耦接至第一驱动电容和第二驱动电容的第二连接端。第一对方波驱动信号的高电平高于第二对方波驱动信号的高电平。这样可以降低MEMS传感器的启动时间。

技术研发人员：马瑞菲•哈桑,威廉姆斯•凯特,斯普拉克拉尔•范•格特扬
受保护的技术使用者：美新半导体（天津）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16