物理量传感器和惯性计测装置的制作方法

本发明涉及物理量传感器和惯性计测装置。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了一种对z方向的加速度进行检测的物理量传感器。公开了在该物理量传感器中，多个第1电极中的一个第1电极的沿着第1方向的第1电极的长度短于第1导电部的沿着第1方向的第1导电部的长度。另外，公开了在该物理量传感器中，多个第2电极中的一个第2电极的沿着第1方向的第2电极的长度短于第2导电部的沿着第1方向的第2导电部的长度。

2、专利文献1：日本特开2021-032819号公报

3、对物理量传感器要求进一步的小型化、高灵敏度化等构造的优化。因此，期望不会由于与用于检测电容的可动电极、固定电极连接的布线的引绕状况，而妨碍物理量传感器的构造等的适当化。在专利文献1中，没有公开与物理量传感器的布线的引绕有关的方法。

技术实现思路

1、本公开的一个方式涉及一种物理量传感器，在设相互正交的三个方向为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，所述物理量传感器包含：基板；第1固定部，其固定于所述基板；第1支承梁，其一端与所述第1固定部连接，沿着所述第2方向延伸；可动体，其与所述第1支承梁的另一端连接；第1固定电极固定部，其固定于所述基板；第2固定电极固定部，其固定于所述基板；第1固定电极部，其与所述第1固定电极固定部连接，相对于所述第1支承梁设置在所述第1方向侧；第2固定电极部，其与所述第2固定电极固定部连接，相对于所述第1支承梁设置在作为所述第1方向的相反方向的第4方向侧；以及第1布线，其与所述第1固定电极固定部连接，所述可动体包含：第1可动电极部，其具有与所述第1固定电极部的固定电极对置的可动电极；以及第2可动电极部，其具有与所述第2固定电极部的固定电极对置的可动电极，以所述第1支承梁为旋转轴检测所述物理量时的所述第2可动电极部的转矩小于以所述第1支承梁为所述旋转轴检测所述物理量时的所述第1可动电极部的所述转矩，所述可动体相对于所述第1支承梁在所述第4方向侧具有开口部，所述第1布线从所述第1固定电极固定部穿过所述开口部而引出到所述可动体的外部。

2、本公开的其他方式涉及一种惯性计测装置，其包含：上述记载的物理量传感器；以及控制部，其基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。

技术特征：

1.一种物理量传感器，其特征在于，在设相互正交的三个方向为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，所述物理量传感器包含：

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

8.根据权利要求1至6中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，

10.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，

11.根据权利要求10所述的物理量传感器，其特征在于，

12.根据权利要求1至5中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

13.一种惯性计测装置，其特征在于，所述惯性计测装置包含：权利要求1至6中的任一项所述的物理量传感器；以及

技术总结
本发明提供物理量传感器和惯性计测装置，同时实现布线的自由度的提高和构造的适当化。物理量传感器包含基板、第1固定部、第1支承梁、可动体、第1固定电极固定部、第2固定电极固定部、第1固定电极部、第2固定电极部和第1布线。第1固定部固定于基板。第1支承梁的一端与第1固定部连接，沿着第2方向延伸。以第1支承梁为旋转轴检测物理量时的第2可动电极部的转矩小于以第1支承梁为旋转轴检测物理量时的第1可动电极部的转矩。可动体相对于第1支承梁在第4方向侧具有开口部，第1布线从第1固定电极固定部穿过开口部而引出到可动体的外部。

技术研发人员：田中悟
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17