一种采集电路板的制作方法

本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种采集电路板。

背景技术：

1、随着半导体技术发展，集成电路制造设备中，很多场合需要用到温度检测，如一些高精度晶圆检测设备中要用到干涉仪光路的环境温度检测，气浴温度检测等，温度的变化会影响半导体晶圆的在制造芯片过程中的精度，而针对温度检测的精度要求也越来越高。现有的温度采集装置精度差，难以满足高精度设备的检测要求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种采集电路板，进而获取更精确的物理参数值。

2、第一方面，本申请提供了一种采集电路板，采集电路板包括形成于电路板主体上的多个接口模块，每个接口模块包括第一连接器、滤波电路和采样电路，其中，第一连接器的第一端子的一端用于与目标传感器的正极电源端连接，第一连接器的第一端子的另一端与供电电源连接，第一连接器的第二端子的一端用于与目标传感器的第一信号输出端连接，第一连接器的第二端子的另一端与滤波电路的第一端连接，第一连接器的第三端子的一端用于与目标传感器的第二信号输出端连接，第一连接器的第三端子的另一端与滤波电路的第二端连接，第一连接器的第四端子的一端用于与目标传感器的负极电源端连接，第一连接器的第四端子的另一端与采样电路的第一端连接，滤波电路的第三端和第四端用于确定温度传感器输出的第一电压差值，采样电路的第二端和第三端用于确定采样电路采集到的第二电压差值，根据第二电压差值修正第一电压差值，以确定目标传感器采集到的物理参数值。

3、优选的，采集电路板还包括形成于电路板主体上的模数转换模块，模数转换模块的第一目标引脚用于与第一连接器的第一端子的另一端连接，以向温度传感器输出预设大小的恒定电流。

4、优选的，采集电路板还包括形成于电路板主体上的主控模块，滤波电路的第三端与模数转换模块的第二目标引脚连接，滤波电路的第四端与模数转换模块的第三目标引脚连接，采样电路的第二端与模数转换模块的第四目标引脚连接，采样电路的第三端与模数转换模块的第五目标引脚连接，模数转换模块的第六目标引脚与主控模块的第一目标引脚连接。

5、优选的，滤波电路包括第一电阻、第二电阻、第一电容、第二电容和第三电容，其中，第一电阻的第一端与第一连接器的第二端子的另一端连接，第一电阻的第二端与模数转换模块的第二目标引脚连接，第二电阻的第一端与第一连接器的第三端子的另一端连接，第二电阻的第二端与模数转换模块的第三目标引脚连接；第一电容的第一端接地，第一电容的第二端与第二电容的第一端连接，第二电容的第二端与第三电容的第一端连接，第三电容的第二端接地。

6、优选的，采样电路包括第三电阻、第四电阻、第五电阻、第四电容、第五电容和第六电容，其中，第三电阻的第一端与第一连接器的第四端子的另一端连接，第三电阻的第二端与模数转换模块的第四目标引脚连接，第四电阻的第一端与第一连接器的第四端子的另一端连接，第四电阻的第二端接地，第五电阻的第一端与第四电阻的第二端连接，第五电阻的第二端与模数转换模块的第五目标引脚连接，第四电容与第四电容并联，第五电容的第一端接地，第五电容的第二端与第四电容的第一端连接，第六电容的第一端与第五电容的第二端连接，第六电容的第二端接地。

7、优选的，采集电路板还包括形成于电路板主体上的输出模块，主控模块的第二目标引脚与输出模块的输入端连接，输出模块的输出端与第二连接器连接，第二连接器用于与向上位机输出主控模块滤波处理后的物理参数值。

8、优选的，主控模块通过以下方式确定目标传感器采集到的物理参数值：根据第二电压差值与第四电阻的比值，计算出目标电流值；根据目标电流值与温度传感器的电阻值的乘积，计算出目标电压值，以确定出物理参数值。

9、优选的，主控模块通过以下方式获取物理参数值：基于缓存区内预设数量的历史电压值和目标电压值进行平均值滤波，以获取平均电压值；基于平均电压值与上一历史电压值进行分布卡尔曼滤波，以获取滤波电压值，作为物理参数值。

10、优选的，主控模块通过以下方式确定出物理参数值：基于缓存区内预设数量的历史电压值和目标电压值进行平均值滤波，以获取平均电压值；基于平均电压值与上一历史电压值进行分布卡尔曼滤波，以获取滤波电压值；基于滤波电压值和预设计算公式，计算出对应的温度值，作为物理参数值。

11、优选的，主控模块获取目标电压值后，还将目标电压值存储至缓存区；以及主控模块将滤波电压值更新至目标电压值存储的地址上。

12、本申请提供的一种申请提供了一种采集电路板，采集电路板包括形成于电路板主体上的多个接口模块，每个接口模块包括第一连接器、滤波电路和采样电路，其中，第一连接器的第一端子的一端用于与目标传感器的正极电源端连接，第一连接器的第一端子的另一端与供电电源连接，第一连接器的第二端子的一端用于与目标传感器的第一信号输出端连接，第一连接器的第二端子的另一端与滤波电路的第一端连接，第一连接器的第三端子的一端用于与目标传感器的第二信号输出端连接，第一连接器的第三端子的另一端与滤波电路的第二端连接，第一连接器的第四端子的一端用于与目标传感器的负极电源端连接，第一连接器的第四端子的另一端与采样电路的第一端连接，滤波电路的第三端和第四端用于确定温度传感器输出的第一电压差值，采样电路的第二端和第三端用于确定采样电路采集到的第二电压差值，根据第二电压差值修正第一电压差值，以确定目标传感器采集到的物理参数值，这样，通过采样电路采集到的第二电压差值和滤波电路采集到的第一电压差值之间的物理关系，可以获取到更准确的电压值，进而更准确的确定出电压值所指示的物理参数值。

13、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种采集电路板，其特征在于，所述采集电路板包括形成于电路板主体上的多个接口模块，每个接口模块包括第一连接器、滤波电路和采样电路，其中，

2.根据权利要求1所述的采集电路板，其特征在于，所述采集电路板还包括形成于电路板主体上的模数转换模块，所述模数转换模块的第一目标引脚用于与第一连接器的第一端子的另一端连接，以向温度传感器输出预设大小的恒定电流。

3.根据权利要求2所述的采集电路板，其特征在于，所述采集电路板还包括形成于电路板主体上的主控模块，所述滤波电路的第三端与模数转换模块的第二目标引脚连接，所述滤波电路的第四端与模数转换模块的第三目标引脚连接，所述采样电路的第二端与模数转换模块的第四目标引脚连接，所述采样电路的第三端与模数转换模块的第五目标引脚连接，所述模数转换模块的第六目标引脚与主控模块的第一目标引脚连接。

4.根据权利要求3所述的采集电路板，其特征在于，所述滤波电路包括第一电阻、第二电阻、第一电容、第二电容和第三电容，其中，

5.根据权利要求3所述的采集电路板，其特征在于，所述采样电路包括第三电阻、第四电阻、第五电阻、第四电容、第五电容和第六电容，其中，

6.根据权利要求1所述的采集电路板，其特征在于，所述采集电路板还包括形成于电路板主体上的输出模块，主控模块的第二目标引脚与输出模块的输入端连接，所述输出模块的输出端与第二连接器连接，所述第二连接器用于与向上位机输出主控模块滤波处理后的物理参数值。

7.根据权利要求6所述的采集电路板，其特征在于，所述主控模块通过以下方式确定目标传感器采集到的物理参数值：

8.根据权利要求7所述的采集电路板，其特征在于，所述主控模块通过以下方式确定出物理参数值：

9.根据权利要求7所述的采集电路板，其特征在于，所述主控模块通过以下方式确定出物理参数值：

10.根据权利要求9所述的采集电路板，其特征在于，所述主控模块获取目标电压值后，还将目标电压值存储至缓存区；以及

技术总结
本申请提供了一种采集电路板，采集电路板包括形成于电路板主体上的多个接口模块，每个接口模块包括第一连接器、滤波电路和采样电路，其中，滤波电路的第三端和第四端用于确定温度传感器输出的第一电压差值，采样电路的第二端和第三端用于确定采样电路采集到的第二电压差值，根据第二电压差值修正第一电压差值，以确定目标传感器采集到的物理参数值，进而获取更精确的物理参数值。

技术研发人员：王学军,刘一鸣
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：
技术公布日：2024/1/22