一种超纯氨气中烃类组分分析系统的制作方法

本发明涉及组分检测，特别是涉及一种超纯氨气中烃类组分分析系统。

背景技术：

1、gb/t 14601-2009《电子工业用气体氨》中要求：电子级产品的nh3纯度体积分数≥99.9995％，烃(c1～c3)含量体积分数＜1μmol/mol，光电子级产品的nh3纯度体积分数≥99.99994％，烃(c1～c3)含量体积分数＜0.05μmol/mol，电子工业用气体的使用过程烃含量的检测至关重要。目前超纯氨气中烃类组的检测通常采用的脉冲放电氦离子化检测器，成本昂贵。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种超纯氨气中烃类组分分析系统，以降低超纯氨气中烃类组分检测成本。

2、为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

3、本发明提供一种超纯氨气中烃类组分分析系统，所述分析系统包括：样品储存罐、电子制冷浓缩装置、载气装置和检测装置；

4、所述电子制冷浓缩装置与所述样品储存罐连接，所述电子制冷浓缩装置还分别与所述载气装置和所述检测装置连接；

5、所述电子制冷浓缩装置用于对从样品储存罐取出的待测样品进行制冷浓缩；

6、所述载气装置用于将电子制冷浓缩装置内制冷浓缩后的待测样品载入所述检测装置；

7、所述检测装置用于检测制冷浓缩后的待测样品中的烃类组分；

8、所述检测装置包括色谱柱和氢火焰离子化检测器。

9、可选的，所述分析系统还包括：自动切换六通阀；

10、所述电子制冷浓缩装置与所述样品储存罐之间、所述电子制冷浓缩装置与所述载气装置之间及电子制冷浓缩装置与所述检测装置之间均通过所述自动切换六通阀连接，具体为：

11、所述样品储存罐与所述自动切换六通阀的第一端口连接；

12、所述电子制冷浓缩装置分别与所述自动切换六通阀的第六端口和第三端口连接；

13、所述载气装置与所述自动切换六通阀的第五端口连接；

14、所述检测装置与所述自动切换六通阀的第四端口连接；

15、样品取样过程中，所述自动切换六通阀处于第一状态，所述第一状态为自动切换六通阀的第一端口与第六端口导通、第二端口与第三端口导通、第四端口与第五端口导通的状态；

16、分析检测过程中，所述自动切换六通阀处于第二状态，所述第二状态为自动切换六通阀的第一端口与第二端口导通、第三端口与第四端口导通、第五端口与第六端口导通的状态。

17、可选的，所述分析系统还包括：样品回收装置；

18、所述样品回收装置与自动切换六通阀的第二端口连接。

19、可选的，所述分析系统还包括：第一三通选择阀、第二三通选择阀和第三三通选择阀；

20、所述样品储存罐和所述样品回收装置通过所述第一三通选择阀、所述第二三通选择阀和所述第三三通选择阀与所述自动切换六通阀连接，具体为：

21、所述第一三通选择阀的a接口、b接口和c接口分别与所述第三三通选择阀的a接口、样品储存罐和载气装置连接；

22、所述第三三通选择阀的b接口和c接口分别与所述自动切换六通阀的第一端口和所述第二三通选择阀的b接口连接；

23、所述第二三通选择阀的a接口和c接口分别与所述样品回收装置和所述自动切换六通阀的第二端口连接。

24、可选的，所述分析系统还包括：平面三通；

25、所述载气装置通过所述平面三通与所述自动切换六通阀连接，具体为：

26、所述平面三通的三个接口分别与所述载气装置、所述第一三通选择阀的c接口和所述自动切换六通阀的第五端口连接。

27、可选的，所述样品储存罐的出口设置有第一减压阀。

28、可选的，所述载气装置的出口设置有第二减压阀。

29、根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

30、本发明实施例提供一种超纯氨气中烃类组分分析系统，所述分析系统包括：样品储存罐、电子制冷浓缩装置、载气装置和检测装置；所述电子制冷浓缩装置与所述样品储存罐连接，所述电子制冷浓缩装置还分别与所述载气装置和所述检测装置连接；所述电子制冷浓缩装置用于对从样品储存罐取出的待测样品进行制冷浓缩；所述载气装置用于将电子制冷浓缩装置内制冷浓缩后的待测样品载入所述检测装置；所述检测装置用于检测制冷浓缩后的待测样品中的烃类组分；所述检测装置包括色谱柱和氢火焰离子化检测器。本发明实施例设置了电子制冷浓缩装置对样品进行制冷浓缩，在此基础上通过色谱柱和/或氢火焰离子化检测器即可实现超纯氨气中烃类组分检测，无需使用脉冲放电氦离子化检测器，降低了超纯氨气中烃类组分检测成本。

技术特征：

1.一种超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述分析系统包括：样品储存罐、电子制冷浓缩装置、载气装置和检测装置；

2.根据权利要求1所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：自动切换六通阀；

3.根据权利要求2所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：样品回收装置；

4.根据权利要求3所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：第一三通选择阀、第二三通选择阀和第三三通选择阀；

5.根据权利要求4所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：平面三通；

6.根据权利要求5所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述样品储存罐的出口设置有第一减压阀。

7.根据权利要求5所述的超纯氨气中烃类组分分析系统，其特征在于，所述载气装置的出口设置有第二减压阀。

技术总结
本发明公开一种超纯氨气中烃类组分分析系统，所述分析系统包括：样品储存罐、电子制冷浓缩装置、载气装置和检测装置；所述电子制冷浓缩装置与所述样品储存罐连接，所述电子制冷浓缩装置还分别与所述载气装置和所述检测装置连接；所述检测装置包括色谱柱和氢火焰离子化检测器。本发明实施例设置了电子制冷浓缩装置对样品进行制冷浓缩，在此基础上通过色谱柱和/或氢火焰离子化检测器即可实现超纯氨气中烃类组分检测，无需使用脉冲放电氦离子化检测器，降低了超纯氨气中烃类组分检测成本。

技术研发人员：李朝清,王富德,李建浩
受保护的技术使用者：朗析仪器（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/5