惯性传感器单元的制作方法

本发明涉及惯性传感器单元。

背景技术：

1、专利文献1公开了一种具有多个惯性传感器模块(例如imu：inertialmeasurement unit)和微型计算机等处理电路搭载在同一基板上的传感器器件。

2、专利文献1：日本特开2018-9908号公报

3、但是，在专利文献1记载的技术中，将惯性传感器模块和处理电路搭载在同一基板上，因此存在平面尺寸变大的问题。尤其是，在使用多个惯性传感器模块的多imu中，imu的个数越增加，则特性越稳定，因此，优选尽可能地增多imu的个数。由此，存在搭载imu的基板变大、需要很多信号处理而处理电路也大型化的问题。

技术实现思路

1、惯性传感器单元具有：第1基板，其搭载有多个惯性传感器模块；以及第2基板，其搭载有对来自多个惯性传感器模块的信号进行处理的处理电路。

1.一种惯性传感器单元，其具有：

2.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其中，

3.根据权利要求1所述的传感器单元，其中，

4.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其中，

5.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其中，

6.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其中，

7.根据权利要求6所述的惯性传感器单元，其中，

8.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的惯性传感器单元，其中，