一种晶圆老化测试装置的制作方法

本发明涉及晶圆测试，特别是涉及一种晶圆老化测试装置。

背景技术：

1、在晶圆生成完成后，需要对晶圆进行老化测试。一般地，晶圆老化测试包括加电测试和加温测试，以测试晶圆的老化性能。所以晶圆老化测试装置的设计对晶圆老化测试是比较重要的。在加电测试过程中，需要通过多种加电线路来实现对晶圆进行不同的加电测试，所以会用到多个线路开关板。

2、现有技术中，如果将对晶圆进行加电测试的线路开关板都直接安装在晶圆老化测试装置中会占用很大的安装空间，所以一般是设置一个线路开关板的安装位，不停地更换线路开关板，从而实现对晶圆的所有加电测试，这种测试方式比较耗时，且不便于测试人员操作。

技术实现思路

1、本发明的一个目的是要提供一种晶圆老化测试装置，解决现有技术中对晶圆老化测试比较耗时的技术问题。

2、本发明的另一个目的是要使得晶圆老化测试装置的结构更紧凑。

3、根据本发明的目的，本发明提供了一种晶圆老化测试装置，用于对夹具内的晶圆进行老化测试，所述夹具包括晶圆加电板，所述晶圆老化测试装置包括：

4、支撑结构，用于支撑所述夹具，所述支撑结构具有位于所述夹具下方的至少一个探针台，所述探针台具有与所述晶圆加电板接触的多个第一探针；

5、至少一组线路开关板组，设置在所述支撑结构的旁侧，每组所述线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板，每组所述线路开关板组中每个所述线路开关板与所述探针台连接，以在所述开关开启时通过所述探针台、所述晶圆加电板对所述夹具内的晶圆进行加电测试。

6、可选地，每组所述线路开关板组与一个所述探针台对应布置，每组所述线路开关板组包括与对应的所述探针台连接的多个所述线路开关板，多个所述线路开关板沿竖向间隔开堆叠布置。

7、可选地，还包括：

8、至少一个导电板，每个所述导电板对应一个所述探针台和一组所述线路开关板组，所述导电板具有第一部分和第二部分，所述第一部分位于对应的所述探针台的下方，且与所述探针台的所述多个第一探针接触，所述第二部分由所述第一部分向所述探针台的外侧延伸，且与对应的所述线路开关板组的每个所述线路开关板连接。

9、可选地，还包括：

10、至少一组安装件组，每组所述安装件组对应一个所述导电板，每组所述安装件组包括多个安装件，每个所述安装件与对应的所述导电板连接的一个所述线路开关板对应布置，所述安装件内设有多个第二探针，所述第二探针一端与对应的所述线路开关板接触，另一端与所述导电板的所述第二部分接触。

11、可选地，所述安装件组的多个所述安装件错开布置，且所述线路开关板组中多个所述线路开关板错开布置。

12、可选地，所述支撑结构包括间隔开且相对布置的两个所述探针台，所述线路开关板组的数量为两组，两组所述线路开关板组分别位于所述支撑结构的两侧，且分别与一个所述探针台对应布置。

13、可选地，还包括：

14、加热结构，位于两个所述探针台之间，所述加热结构内设有加热组件，用于在所述夹具位于所述支撑结构内时对所述夹具进行加热。

15、可选地，还包括：

16、两组采集板组，分别对应设置在两组所述线路开关板组的后侧，每组所述采集板组包括多个电流信号采集板，每个所述电流信号采集板对应连接一个所述线路开关板，用于采集对应的所述线路开关板的电流信号。

17、可选地，每组所述采集板组的多个所述电流信号采集板沿竖向间隔开堆叠布置。

18、可选地，还包括：

19、两个电源模块，分别设置在两组所述采集板组的旁侧，且分别对应的所述采集板组和所述线路开关板组连接。

20、本发明中支撑结构具有位于夹具下方的至少一个探针台，探针台具有与晶圆加电板接触的多个第一探针，至少一组线路开关板组设置在支撑结构的旁侧，每组线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板，每组线路开关板组中每个线路开关板与探针台连接，以在开关开启时通过探针台、晶圆加电板对夹具内的晶圆进行加电测试。上述技术方案相当于将所有用于晶圆加电测试的线路开关板均与探针台相连，在对晶圆进行测试时直接通过线路开关板上的开关独立控制测试线路，再通过探针台上的第一探针和晶圆加电板，实现对晶圆的加电测试，不需要更换线路开关板，节省了测试时间，并且简化了测试流程。

21、本发明中每组线路开关板组与一个探针台对应布置，每组线路开关板组包括与对应的探针台连接的多个线路开关板，多个线路开关板沿竖向间隔开堆叠布置，相比于将多个线路开关板并排布置的技术方案，使得晶圆老化测试装置的结构更紧凑，节省了安装空间。

22、根据下文结合附图对本发明具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本发明的上述以及其他目的、优点和特征。

技术特征：

1.一种晶圆老化测试装置，其特征在于，用于对夹具内的晶圆进行老化测试，所述夹具包括晶圆加电板，所述晶圆老化测试装置包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求7所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：

技术总结
本发明提供了一种晶圆老化测试装置，涉及晶圆测试技术领域。支撑结构具有位于夹具下方的至少一个探针台，探针台具有与晶圆加电板接触的多个第一探针，至少一组线路开关板组设置在支撑结构的旁侧，每组线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板，每组线路开关板组中每个线路开关板与探针台连接，以在开关开启时通过探针台、晶圆加电板对夹具内的晶圆进行加电测试。上述技术方案相当于将所有用于晶圆加电测试的线路开关板均与探针台相连，在对晶圆进行测试时直接通过线路开关板上的开关独立控制测试线路，再通过探针台上的第一探针和晶圆加电板，实现对晶圆的加电测试，不需要更换线路开关板，节省了测试时间，并简化了测试流程。

技术研发人员：廉哲,周斌,郭孝明,徐鹏嵩
受保护的技术使用者：苏州联讯仪器股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15