摩擦静电参数的检测方法及检测系统与流程

本发明涉及静电检测领域，具体地涉及一种摩擦静电参数的检测方法及检测系统。

背景技术：

1、静电放电(esd electro-static discharge)是指带电体周围的场强超过介质的绝缘击穿场强时，因介质产生电离而使带电体上的静电荷部分或全部消失的现象。因静电放电而导致的元件击穿及静电吸附尘埃会影响到显示制造业的良品率。随着下游面板工艺进步、集成度提升、器件和绝缘层变薄，新的金属氧化物工艺上的电子器件对静电更加敏感，绝缘基板、尤其是玻璃基板的积累静电问题可能会对下游市场销售产生负面影响。

2、目前对玻璃基板的静电评估，多采用玻璃基板从吸附台往复分离吸附的方式，具体是通过玻璃基板与吸附台分离而产生剥离静电。但是玻璃表面粗糙度和表面形貌会对动态摩擦(例如类似滚轮传动玻璃等)产生静电过程影响较大，而对接触面固定的剥离静电影响较小。因此，现有的分离吸附测试方法不适合反映玻璃基板积累和消散静电的所有特性，亟需一种新的静电性能测试方法。

技术实现思路

1、本发明实施例的目的是提供一种摩擦静电参数的检测方法及检测系统，从而适用于测试绝缘基板的积累静电能力，模拟实际生产工序中因摩擦而产生的静电状况，准确对比不同产品的静电积累能力，便于对产品进行摩擦静电性能评估。

2、为了实现上述目的，本发明实施例提供一种摩擦静电参数的检测方法，所述检测方法包括：对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦，并在每组摩擦之后对所述绝缘基板的电压值进行检测，以获取按照摩擦的先后顺序排列的多个电压值；确定所述多个电压值中的每相邻两个电压值的差值；以及在所述每相邻两个电压值的差值随摩擦的先后顺序逐渐减小且最大差值小于第一设定值的情况下，将最后一组摩擦之后的电压值确定为目标电压值。

3、可选地，在确定所述目标电压值之后，所述检测方法还包括：将所述绝缘基板静置，并在多个静置时间段以设定时间间隔对所述绝缘基板的静置电压值进行检测，以获取所述绝缘基板在各个时间点的静置电压值；将所述绝缘基板在所述各个时间点对应的静置电压值与所述目标电压值进行比较；以及在所述绝缘基板在一设定时间点对应的静置电压值与所述目标电压值的比值小于第二设定值的情况下，将该设定时间点对应的静置时间确定为目标静置时间。

4、可选地，所述设定时间间隔按照所述多个静置时间段的先后顺序逐渐递增。

5、可选地，所述在多个静置时间段以设定时间间隔对所述绝缘基板的静置电压值进行检测包括：在第一静置时间段以第一时间间隔对所述绝缘基板的静置电压值进行检测；以及在第二静置时间段以第二时间间隔对所述绝缘基板的静置电压值进行检测，其中，所述第二时间静置段在所述第一静置时间段之后，所述第二时间间隔大于所述第一时间间隔。

6、可选地，所述对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦包括：使用摩擦件以设定速度对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦，所述摩擦件包括以下各种材料的至少一种：保护膜、间隔纸、金属棒以及金属滚轮，优选地，所述金属滚轮为铝制滚轮。

7、可选地，所述玻璃为无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃包括以下组成物：58-63％含量的sio2、17-20％含量的al2o3、3-6％含量的b2o3、2-4.8％含量的mgo、3-6％含量的cao、5-10％含量的sro、0-3％含量的bao、0.5-1.5％含量的zno、0.1-0.3％含量的sno2以及小于0.1％含量的r2o，其中，所述r2o为li2o、na2o、k2o质量百分比的总和。

8、可选地，所述消除静电的绝缘基板以下述方式获取：对所述绝缘基板进行清洗、干燥、静置以及初始电压检测。

9、可选地，所述对所述绝缘基板进行清洗包括：使用以下介质中的至少一种对所述绝缘基板进行清洗：去离子水、无水酒精、玻璃清洗剂、酒精棉或擦镜纸；和/或所述对所述绝缘基板进行干燥包括：使用洗耳球或空压机气枪对所述绝缘基板进行干燥。

10、可选地，所述对所述绝缘基板进行静置包括：在空气中以第一设定时间对所述绝缘基板进行静置；或者使用离子风扇以第二设定时间对所述绝缘基板进行静置；其中，所述第二设定时间小于所述第一设定时间。

11、第二方面，本发明还公开了一种摩擦静电参数的检测系统，所述检测系统包括：摩擦装置，用于对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦；静电测量仪，用于在每组摩擦后对所述绝缘基板的电压值进行检测，以获取按照摩擦的先后顺序排列的多个电压值；以及处理装置，用于执行以下功能：接收所述多个电压值；确定所述多个电压值中的每相邻两个电压值的差值；以及在所述每相邻两个电压值的差值随摩擦的先后顺序逐渐减小且最大差值小于第一设定值的情况下，将最后一组摩擦之后的最大电压值确定为目标电压值。

12、通过上述技术方案，本发明目的在于提供一种摩擦静电参数的检测方法及检测系统，从而适用于测试绝缘基板的积累静电能力，模拟实际生产工序中因摩擦而产生的静电状况，准确对比不同产品的静电积累能力，便于对产品进行摩擦静电性能评估。

13、本发明实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种摩擦静电参数的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在确定所述目标电压值之后，所述检测方法还包括：

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述设定时间间隔按照所述多个静置时间段的先后顺序逐渐递增。

4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述在多个静置时间段以设定时间间隔对所述绝缘基板的静置电压值进行检测包括：

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦包括：使用摩擦件以设定速度对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦，所述摩擦件包括以下各种材料的至少一种：保护膜、间隔纸、金属棒以及金属滚轮，优选地，所述金属滚轮为铝制滚轮。

6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述绝缘基板为无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃包括以下组成物：

7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述消除静电的绝缘基板以下述方式获取：对所述绝缘基板进行清洗、干燥、静置以及初始电压检测。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述对所述绝缘基板进行静置包括：

10.一种摩擦静电参数的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：

技术总结
本发明实施例提供一种摩擦静电参数的检测方法及检测系统，属于静电检测领域。检测方法包括：对消除静电的绝缘基板进行多组摩擦，并在每组摩擦之后对绝缘基板的电压值进行检测，以获取按照摩擦的先后顺序排列的多个电压值；确定多个电压值中的每相邻两个电压值的差值；以及在每相邻两个电压值的差值随摩擦的先后顺序逐渐减小且最大差值小于第一设定值的情况下，将最后一组摩擦之后的电压值确定为目标电压值。从而适用于测试绝缘基板的积累静电能力，模拟实际生产工序中因摩擦而产生的静电状况，准确对比不同产品的静电积累能力，便于对产品进行摩擦静电性能评估。

技术研发人员：李青,李赫然,叶润,王存麒,刘晓飞,贺忠伟,刘文渊,刘泽文,张广涛,鄂文浩,闫冬成,胡恒广
受保护的技术使用者：河北光兴半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17