一种惯性测量装置及相变温度确定方法与流程

本发明涉及微机电系统领域，具体而言，涉及一种惯性测量装置及相变温度确定方法。

背景技术：

1、现有技术中，随着微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)技术的发展，惯性测量单元(imu：inertial measurement unit)通常基本采用mems传感器。由于mems陀螺或加速度计常用硅-玻璃键合、或硅-硅键合工艺制作而成。在温度循环或温度冲击下，由于不同材料之间的热膨胀系数失配，在层间界面处产生拉、压应力，尽管作用在界面上的应力小于界面的结合强度，但当高温和低温的交变应力循环作用在界面上时，界面会由于疲劳而产生裂纹并沿着界面进行疲劳裂纹扩展，最终导致界面分层失效。

技术实现思路

1、本发明的目的包括，例如，提供了一种惯性测量装置及相变温度确定方法，其能够利用相变材料在相变过程中的吸收/释放潜热，从而降低惯性测量单元的温变率，提高其环境适应性。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、第一方面，一种惯性测量装置，包括：相变单元、惯性测量单元；所述相变单元包括至少一个相变组，所述相变组与所述惯性测量单元接触；并通过所述相变组降低所述惯性测量单元的温度变化；其中，所述相变单元包括至少一个相变层，所述相变层与相变温度点一一对应，并按照相变温度点从大到小或从小到大排列；所述相变组的相变温度与所述惯性测量单元的温度变化关联。

4、进一步地，相邻相变层间相变温度点的温差范围为10摄氏度至30摄氏度。

5、进一步地，所述相变组中最低相变温度点所对应的相变层与所述惯性测量单元接触。

6、进一步地，所述惯性测量单元包括外壳；所述相变组与所述外壳的内表面接触。

7、进一步地，所述惯性测量单元包括外壳；所述相变组与所述外壳的外表面接触。

8、进一步地，所述惯性测量单元包括pcb单元；所述相变组与所述pcb单元的侧面接触。

9、进一步地，所述惯性测量单元包括pcb单元；所述相变组与所述pcb单元的侧面接触，其中，所述相变组中最低相变温度所对应的相变层靠近所述pcb单元的侧面。

10、进一步地，所述惯性测量装置还包括：导热模块；其中，所述导热模块与所述相变组接触。

11、第二方面，本申请还提供一种相变温度确定方法，包括：

12、获取惯性测量单元的工作温度及环境温度；

13、依据所述工作温度及所述环境温度确定所述惯性测量单元的温度变化量；

14、依据所述温度变化量调整相变组对应的相变温度。

15、进一步地，所述依据所述工作温度及所述环境温度确定所述惯性测量单元的温度变化量的步骤包括：

16、依据所述工作温度及所述环境温度分别确定各工作温度及各环境温度中出现频率最高的数值，作为第一相变参考温度、第二相变参考温度；

17、依据所述第一相变参考温度及所述第二相变参考温度确定所述惯性测量单元的温度变化量。

18、本发明实施例的有益效果包括，例如：

19、提供一种惯性测量装置及相变温度确定方法，其中，惯性测量装置包括相变单元、惯性测量单元；相变单元包括至少一个相变组，相变组与惯性测量单元接触；并通过相变组降低惯性测量单元的温度变化；以利用相变材料在相变过程中的吸收/释放潜热，降低惯性测量单元上的器件温度变化率，有助于提升各器件的环境温变适应性，减小安装环境和应用场景受限，提高可靠性，以避免惯性测量单元因温度循环和温度冲击导致的性能劣化、疲劳失效。

技术特征：

1.一种惯性测量装置，其特征在于，包括：相变单元、惯性测量单元；所述相变单元包括至少一个相变组，所述相变组与所述惯性测量单元接触；并通过所述相变组降低所述惯性测量单元的温度变化；

2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，相邻相变层间相变温度点的温差范围为10摄氏度至30摄氏度。

3.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述相变组中最低相变温度点所对应的相变层与所述惯性测量单元接触。

4.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量单元包括外壳；所述相变组与所述外壳的内表面接触。

5.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量单元包括外壳；所述相变组与所述外壳的外表面接触。

6.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量单元包括pcb单元；所述相变组与所述pcb单元的侧面接触。

7.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量单元包括pcb单元；所述相变组与所述pcb单元的侧面接触，其中，所述相变组中最低相变温度所对应的相变层靠近所述pcb单元的侧面。

8.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性测量装置还包括：导热模块；其中，所述导热模块与所述相变组接触。

9.一种相变温度确定方法，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的相变温度确定方法，其特征在于，所述依据所述工作温度及所述环境温度确定所述惯性测量单元的温度变化量的步骤包括：

技术总结
本发明的实施例提供一种惯性测量装置及相变温度确定方法，涉及微机电系统领域，其中，惯性测量装置包括相变单元、惯性测量单元；相变单元包括至少一个相变组，相变组与惯性测量单元接触；并通过相变组降低惯性测量单元的温度变化；以利用相变材料在相变过程中的吸收/释放潜热，降低惯性测量单元上的器件温度变化率，有助于提升各器件的环境温变适应性，减小安装环境和应用场景受限，提高可靠性，以避免惯性测量单元因温度循环和温度冲击导致的性能劣化、疲劳失效。

技术研发人员：郭俊生
受保护的技术使用者：广州导远电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25