一种气体检测装置的制作方法

文档序号:37896880发布日期:2024-05-09 21:40阅读:9来源:国知局
一种气体检测装置的制作方法

本发明涉及特气检测,具体而言,涉及一种气体检测装置。


背景技术:

1、特气柜主要用要供应特种气体,如易燃,易爆,剧毒等,主要应用于半导体和led的新兴行业。

2、在日常生产中要对特气柜中的特气是否发生泄漏进行日常检测。

3、在生产的日常检测中,设备端:进行腔体测漏和气体流量计偏差测试,腔体漏率标准为低于1.5毫托每分钟,气体流量计偏差标准为±3%以内;厂务端:从气柜的结构可知由于厂务在气柜框体上设置了负压排气管道,使气柜内部压力略低于外部大气压力,并在排气管道内部设置了气体采样点,当气体浓度超过侦测器报警线时,自动切断气体供应,同时发出声光报警,气体侦测器设置报警下限为0.5ppm。

4、但是,在是实际生产中,当气柜内部管路或阀门出现微量的泄漏:小于流量计偏差±3%范围,同时外泄浓度低于0.5ppm时,不会体现在腔体漏率监测中,设备端和厂务端日常检测方法也不能及时发现。微量泄漏的氯气经过长时间累积,会对生产设备和环境造成危害,需要及时发现微量泄漏并进行维修。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种气体检测装置,其能够精确检测气柜漏气,及时发现泄漏并进行维修。

2、本发明的实施例是这样实现的:

3、本发明提供一种气体检测装置,包括壳体、光源、进气管、进光管、反射光管、光传感器和检测装置;

4、所述检测装置设置在所述壳体内;

5、所述光源设置在所述进光管的一端,所述进光管的另一端连通所述壳体的内部,能够使所述光源发射的光线照射在所述检测装置上;

6、所述光传感器设置在所述反射光管的一端,所述反射光管的另一端连通所述壳体的内部,能够感应经检测装置后的反射光;

7、所述进气管的一端连通所述壳体的内部,能够通过所述进气管将待检测气体输入到所述壳体内被所述检测装置进行检测。

8、在可选的实施方式中,所述检测装置包括检测试纸,用于与特定气体进行反应,反射不同的光线。

9、在可选的实施方式中,所述检测装置还包括动力装置和传动装置,所述检测试纸为纸带,所述纸带设置在所述传动装置上,所述动力装置连接所述传动装置,用于带动所述纸带移动。

10、在可选的实施方式中,所述传动装置包括主动轮和从动轮;

11、所述纸带的一端绕在所述主动轮上,所述纸带的另一端绕在所述从动轮上;

12、所述动力装置连接所述主动轮。

13、在可选的实施方式中,所述壳体内包括检测腔和储纸腔;

14、所述从动轮设置在所述储纸腔中,所述进气管、所述进光管和所述反射光管均连通所述检测腔。

15、在可选的实施方式中,所述传动装置还包括多对导向轮组,所述导向轮组转动设置在所述壳体内;

16、所述进气管相对两侧分别设置至少一对导向轮组,所述纸带与所述导向轮组连接,能够通过所述导向轮组对所述纸带上与待检测气体进行检测的区域的位置进行定位。

17、在可选的实施方式中,所述导向轮组包括上导轮和下导轮;

18、所述上导轮和所述下导轮分别设置在所述纸带的相对两侧。

19、在可选的实施方式中,所述动力装置为电机。

20、在可选的实施方式中,还包括控制器,所述控制器与所述动力装置、所述光传感器信号连接。

21、在可选的实施方式中,还包括报警装置,所述报警装置与所述控制器信号连接。

22、本发明实施例的有益效果是:

23、将特气柜中的气体样品通过进气管送入壳体内,检测装置对气体样品进行检测后,检测装置为发生化学反应,光源照射检测装置,通过光传感器对反射光进行光谱分析,来判断气体样品中是否含有特气,从而判断特气柜是否泄漏。光谱分析的方式,其判断精准度高,能够及时发现特气柜的微量泄漏并进行维护。



技术特征:

1.一种气体检测装置,其特征在于,包括壳体、光源、进气管、进光管、反射光管、光传感器和检测装置;

2.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述检测装置包括检测试纸,用于与特定气体进行反应,反射不同的光线。

3.根据权利要求2所述的气体检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括动力装置和传动装置,所述检测试纸为纸带,所述纸带设置在所述传动装置上,所述动力装置连接所述传动装置,用于带动所述纸带移动。

4.根据权利要求3所述的气体检测装置,其特征在于,所述传动装置包括主动轮和从动轮;

5.根据权利要求4所述的气体检测装置,其特征在于,所述壳体内包括检测腔和储纸腔;

6.根据权利要求4所述的气体检测装置,其特征在于,所述传动装置还包括多对导向轮组,所述导向轮组转动设置在所述壳体内;

7.根据权利要求6所述的气体检测装置,其特征在于,所述导向轮组包括上导轮和下导轮;

8.根据权利要求3所述的气体检测装置,其特征在于,所述动力装置为电机。

9.根据权利要求3所述的气体检测装置,其特征在于,还包括控制器,所述控制器与所述动力装置、所述光传感器信号连接。

10.根据权利要求9所述的气体检测装置,其特征在于,还包括报警装置,所述报警装置与所述控制器信号连接。


技术总结
本发明涉及特气检测技术领域,具体而言,涉及一种气体检测装置。气体检测装置包括壳体、光源、进气管、进光管、反射光管、光传感器和检测装置;检测装置设置在壳体内;光源设置在进光管的一端,进光管的另一端连通壳体的内部,能够使光源发射的光线照射在检测装置上;光传感器设置在反射光管的一端,反射光管的另一端连通壳体的内部,能够感应经检测装置后的反射光;进气管的一端连通壳体的内部,能够通过进气管将待检测气体输入到壳体内被检测装置进行检测。本发明实施例的有益效果是:光谱分析的方式,其判断精准度高,能够及时发现特气柜的微量泄漏并进行维护。

技术研发人员:钱浩
受保护的技术使用者:鸿舸半导体设备(上海)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/8
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