可加速阵列式X光传感模组测试的方法及装置与流程

本发明涉及一种方法及装置，尤其是一种可加速阵列式x光传感模组测试的方法及装置。

背景技术：

1、x光传感芯片可将x光光子的轰击能量转换成电能，然后通过模数转换变成数字信号输出；当将x光传感芯片与模数转换、控制电路集成在一起，即组成一个x光传感模组。对很多基于x光进行成像的应用场景中，往往需要用到很多个x光传感芯片，因而，在同一个x光传感模组中，一般会设置呈一维阵列或二维阵列排布的多个x光传感芯片，此时，即可形成阵列式x光传感模组。

2、对阵列式x光传感模组测试时，需用x光光源对准不同的阵元进行发射测试用的x光光束，然后测量该阵元产生的电荷情况，以此判断该阵元的灵敏度是否正常；一般地，阵列式x光传感模组内，基于一个x光传感芯片即形成一个阵元。

3、测量阵元的电荷产生情况时，一般默认x光光源产生的x光光束为准直的，只对x光光束正下方的x光传感芯片起效。对不同阵元测试时，需移动x光光源到相应阵元的上方，以实现对相应阵元进行测试。

4、当阵列式x光传感模组内包括大量的x传感芯片，且阵列式光传感模组的生产量又比较大时，现有的测试方法的速度是相对较慢，会导致测试成本较高，难以满足实际的测试需求。

技术实现思路

1、本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可加速阵列式x光传感模组测试的方法及装置，其能提高对阵列式x光传感模组的测试效率，降低测试成本。

2、按照本发明提供的技术方案，一种可加速阵列式x光传感模组测试的方法，所述方法包括：

3、提供测试用的x光光源以及布置在所述x光光源出光范围内的多个阵列式x光传感模组，其中，

4、将任一阵列式x光传感模组配置为基准测试传感模组，并将所述基准测试传感模组布置成与x光光源正对应，

5、将其余的阵列式x光传感模组布置在基准测试传感模组的两侧；

6、在每个阵列式x光传感模组的前方均配置挡板，x光光源所发射的x光光束经相应挡板的挡板孔入射至相应阵列式x光传感模组的阵元上；

7、对x光光源出光范围内的阵列式x光传感模组测试时，获取每个阵列式x光传感模组的辐照测试状态，其中，

8、将基准测试传感模组的辐照测试状态配置为基准辐照测试状态，将其余阵列式x光传感模组的辐照测试状态与所述基准辐照测试状态比对，以确定每个x光传感模组的测试状态。

9、所述挡板包括铅板。

10、除基准测试传感模组外的阵列式x光传感模组，获取得到辐照测试状态后，将所获得的辐照测试状态进行归一化，则有：

11、

12、其中，rθ为基准测试传感模组侧边的阵列式x光传感模组的辐照测试状态，r0为基准测试传感模组的辐照测试状态，ρθ为x光光束入射基准测试传感模组侧边的阵列式x光传感模组的光子密度，ρ0为x光光束入射基准测试传感模组的光子密度，μ为阵元的材料对接收x光光束的衰减系数，h为阵列式x光传感模组内阵元的厚度。

13、所述阵列式x光传感模组包括模数转换电路、控制电路以及若干阵列分布的x光传感芯片，其中，

14、x光传感芯片通过模数转换电路与控制电路连接。

15、所述阵列式x光传感模组内x光传感芯片的阵列分布为一维阵列分布或二维阵列分布。

16、所述辐照测试状态包括每个阵元的电荷转换次数。

17、一种可加速阵列式x光传感模组测试的装置，包括x光光源以及测试控制处理器，其中，

18、对多个阵列式x光传感模组，测试控制处理器与x光光源配合，以执行上述的测试方法。

19、本发明的优点：在x光光源的出光范围内布置多个阵列式x光传感模组，一次性可可实现对多个阵列式x光传感模组的测试，可以加速阵列式x光传感模组的测试速度，同时在测试结果异常时，以传统方式进行复测，也保证了测试的正确性。

技术特征：

1.一种可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是：所述挡板包括铅板。

3.根据权利要求1所述的可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是，除基准测试传感模组外的阵列式x光传感模组，获取得到辐照测试状态后，将所获得的辐照测试状态进行归一化，则有：

4.根据权利要求1所述的可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是：所述阵列式x光传感模组包括模数转换电路、控制电路以及若干阵列分布的x光传感芯片，其中，

5.根据权利要求4所述的可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是：所述阵列式x光传感模组内x光传感芯片的阵列分布为一维阵列分布或二维阵列分布。

6.根据权利要求1至4任一项所述的可加速阵列式x光传感模组测试的方法，其特征是：所述辐照测试状态包括每个阵元的电荷转换次数。

7.一种可加速阵列式x光传感模组测试的装置，其特征是，包括x光光源以及测试控制处理器，其中，

技术总结
本发明涉及一种可加速阵列式X光传感模组测试的方法及装置，其包括：提供测试用的X光光源以及布置在所述X光光源出光范围内的多个阵列式X光传感模组，其中，在每个阵列式X光传感模组的前方均配置挡板，X光光源所发射的X光光束经相应挡板的挡板孔入射至相应阵列式X光传感模组的阵元上；对X光光源出光范围内的阵列式X光传感模组测试时，获取每个阵列式X光传感模组的辐照测试状态，其中，将基准测试传感模组的辐照测试状态配置为基准辐照测试状态，将其余阵列式X光传感模组的辐照测试状态与所述基准辐照测试状态比对，以确定每个X光传感模组的测试状态。本发明能提高对阵列式X光传感模组的测试效率，降低测试成本。

技术研发人员：周鸣昊,薛洪惠,张辉,钟华强
受保护的技术使用者：无锡华芯微探科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17