一种流体与粒子的分析装置的制作方法

本发明涉及粒子检测领域，特别是涉及一种流体与粒子的分析装置。

背景技术：

1、在半导体和制药等行业中，对生产环境的洁净度要求较高，为检测生产环境中的洁净度，在现有技术中，通常通过粒子计数仪器采集空气流体中的粒子，实现对粒子的识别以及粒子粒径的分辨，从而确定生产环境的洁净度。

2、但是，现有技术没有考虑到生产环境的环境因素以及粒子计数仪器本身的状态参数，都会影响到粒子计数仪器的识别精度和分辨精度，导致无法准确地确定生产环境的洁净度。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种流体与粒子的分析装置，可以便于工作人员根据环境参数和工作参数对粒子传感器的精度进行确认，并根据精度对各预设粒径范围内的粒子数量进行修正，从而准确地确定生产环境的洁净度。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种流体与粒子的分析装置，包括：

3、粒子传感器、计数模块、采集模块和控制模块；

4、所述粒子传感器用于获取目标流体中的各个粒子对应的电信号；

5、所述计数模块用于根据所述电信号确定各个所述粒子的粒径，并将各个所述粒子分类到对应的预设粒径范围中，得到各个所述预设粒径范围的粒子数量；

6、所述采集模块用于采集所述粒子传感器所在环境中的环境参数和/或所述粒子传感器的工作参数；

7、所述控制模块用于获取各个所述预设粒径范围中的粒子数量、所述环境参数以及所述工作参数并输出。

8、一方面，所述计数模块包括：

9、电信号处理电路，用于对于任一个所述粒子的电信号，根据各个所述预设粒径范围对应的放大倍率对所述电信号进行转换和放大，得到各个放大倍率放大后的电信号；

10、比较电路，用于对于任一个所述粒子的任一个放大后的电信号，根据所述电信号的放大倍率，判断放大后的所述电信号是否在所述放大倍率对应的所述预设粒径范围的电信号范围内；

11、计数单元，用于根据判断结果确定所述粒子的粒径范围并计数，以确定各个所述预设粒径范围的粒子数量。

12、一方面，所述环境参数包括所述粒子传感器所在环境中的风速、压力、温度和湿度中的一种或多种的组合。

13、一方面，所述工作参数包括所述粒子传感器的光功率、暗电流以及所述目标流体在单位时间内的流量中的一种或多种的组合。

14、一方面，所述控制模块具体用于：

15、根据所述环境参数和所述工作参数，确定所述目标流体在各个所述预设粒径范围中的粒子浓度、粒子分布以及所述粒子传感器的工作状态；

16、将所述粒子浓度、所述粒子分布以及所述工作状态进行输出。

17、一方面，所述控制模块还用于：

18、在检测到任一个所述预设粒径范围中的粒子数量大于所述预设粒径范围自身对应的预设数量时，以及检测到所述环境参数或所述工作参数不满足预设正常工作条件时，向警报控制模块输出报警控制信号，以便警报控制模块用于根据所述报警控制信号控制报警模块发出报警。

19、一方面，还包括通信模块；

20、所述通信模块用于将所述控制模块的输出发送给上位机，并将所述上位机生成的控制指令发送给所述控制模块。

21、一方面，所述通信模块包括串行通信单元、以太网通信单元和无线通信单元中的一种或多种。

22、一方面，还包括存储模块；

23、所述存储模块用于存储各个所述预设粒径范围中的粒子数量、所述环境参数以及所述工作参数。

24、本申请还提供一种流体洁净度测试装置，包括流体洁净度测试装置本体，还包括如上述的流体与粒子的分析装置；

25、所述流体洁净度测试装置与所述流体与粒子的分析装置连接。

26、本申请的有益效果在于，提供了一种流体与粒子的分析装置，涉及粒子检测领域，通过设置粒子传感器、计数模块、采集模块和控制模块；粒子传感器用于采集目标流体中的各个粒子；计数模块将各种粒子分类到各个预设粒径范围中；采集模块用于采集粒子传感器所在环境中的环境参数以及粒子传感器的工作参数；控制模块用于获取各个预设粒径范围中的粒子数量、环境参数以及工作参数并输出。通过采集粒子数量、环境参数和工作参数的方式，可以便于工作人员根据环境参数和工作参数对粒子传感器的精度进行确认，并根据精度对各预设粒径范围内的粒子数量进行修正，从而准确地确定生产环境的洁净度。

技术特征：

1.一种流体与粒子的分析装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述计数模块包括：

3.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述环境参数包括所述粒子传感器所在环境中的风速、压力、温度和湿度中的一种或多种的组合。

4.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述工作参数包括所述粒子传感器的光功率、暗电流以及所述目标流体在单位时间内的流量中的一种或多种的组合。

5.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述控制模块具体用于：

6.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述控制模块还用于：

7.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，还包括通信模块；

8.如权利要求7所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，所述通信模块包括串行通信单元、以太网通信单元和无线通信单元中的一种或多种。

9.如权利要求1所述的流体与粒子的分析装置，其特征在于，还包括存储模块；

技术总结
本发明公开了一种流体与粒子的分析装置，涉及粒子检测领域，通过设置粒子传感器、计数模块、采集模块和控制模块；粒子传感器用于采集目标流体中的各个粒子；计数模块将各种粒子分类到各个预设粒径范围中；采集模块用于采集粒子传感器所在环境中的环境参数以及粒子传感器的工作参数；控制模块用于获取各个预设粒径范围中的粒子数量、环境参数以及工作参数并输出。通过采集粒子数量、环境参数和工作参数的方式，可以便于工作人员根据环境参数和工作参数对粒子传感器的精度进行确认，并根据精度对各预设粒径范围内的粒子数量进行修正，从而准确地确定生产环境的洁净度。

技术研发人员：马克财,王少永,蒲建毕,白海楠,孙奇,惠旅锋
受保护的技术使用者：苏州苏信环境科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7