一种波前探测器的制作方法

文档序号:34584862发布日期:2023-06-28 15:11阅读:57来源:国知局
技术简介:
本专利针对传统波前探测器中非球面微透镜阵列加工复杂、成本高、体积大的问题,提出采用超透镜阵列替代方案。通过纳米结构实现无像差聚焦,提升波前探测精度,同时降低加工难度、成本及设备体积,具有显著技术优势。
关键词:波前探测器,超透镜

本技术涉及波前探测,具体而言,涉及一种波前探测器。


背景技术:

1、目前,构成波前探测器的光学元件主要是非球面微透镜阵列;通过非球面微透镜阵列中每一个非球面微透镜对入射波前进行聚焦,并汇总所有非球面微透镜的聚焦结果,进而实现获取到完整波前信息的波前探测功能。

2、但是,可实现消像差的非球面微透镜阵列的加工难度较大,成本也高,由该非球面微透镜阵列所构成的波前探测器的体积也较大。


技术实现思路

1、为解决上述问题,本实用新型实施例的目的在于提供一种波前探测器。

2、本实用新型实施例提供了一种波前探测器,包括:超透镜阵列;所述超透镜阵列包括多个阵列式排布的超透镜;所述超透镜包括多个纳米结构,所述超透镜用于对入射光进行聚焦;所述纳米结构的直径范围为120nm~260nm。

3、可选地,纳米结构的高度范围为500nm~800nm。

4、可选地,纳米结构的折射率范围为3.4~3.9。

5、可选地,纳米结构为六方周期排列。

6、可选地,纳米结构的周期范围为470nm~520nm。

7、可选地,超透镜的口径范围为100μm~300μm。

8、可选地,超透镜的焦距范围为250μm~3600μm。

9、可选地,该波前探测器还包括:探测器,所述探测器设置在所述超透镜阵列的出光侧;所述探测器包括多个像素单元,所述像素单元与所述超透镜一一对应,并接收由相应的超透镜所聚焦的光束。

10、本实用新型实施例上述提供的方案中,不仅可以基于无像差聚焦的优势从而具有更好的波前探测效果,该波前探测器还具备加工简单,成本低,体积轻薄等优点。

11、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。



技术特征:

1.一种波前探测器,其特征在于,包括:超透镜阵列(1);所述超透镜阵列(1)包括多个阵列式排布的超透镜(11);

2.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的高度范围为500nm~800nm。

3.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的折射率范围为3.4~3.9。

4.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)为六方周期排列。

5.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的周期范围为470nm~520nm。

6.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述超透镜(11)的口径范围为100μm~300μm。

7.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述超透镜(11)的焦距范围为250μm~3600μm。

8.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,还包括:探测器(2),所述探测器(2)设置在所述超透镜阵列(1)的出光侧;


技术总结
本技术提供了一种波前探测器,该波前探测器包括:超透镜阵列;超透镜阵列包括多个阵列式排布的超透镜;超透镜包括多个纳米结构,超透镜用于对入射光进行聚焦;纳米结构的直径范围为120nm~260nm。通过本技术实施例提供的波前探测器,不仅可以基于无像差聚焦的优势从而具有更好的波前探测效果,该波前探测器还具备加工简单,成本低,体积轻薄等优点。

技术研发人员:姜雯,郝成龙,谭凤泽,朱健
受保护的技术使用者:深圳迈塔兰斯科技有限公司
技术研发日:20230106
技术公布日:2024/1/12
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