本技术涉及波前探测,具体而言,涉及一种波前探测器。
背景技术:
1、目前,构成波前探测器的光学元件主要是非球面微透镜阵列;通过非球面微透镜阵列中每一个非球面微透镜对入射波前进行聚焦,并汇总所有非球面微透镜的聚焦结果,进而实现获取到完整波前信息的波前探测功能。
2、但是,可实现消像差的非球面微透镜阵列的加工难度较大,成本也高,由该非球面微透镜阵列所构成的波前探测器的体积也较大。
技术实现思路
1、为解决上述问题,本实用新型实施例的目的在于提供一种波前探测器。
2、本实用新型实施例提供了一种波前探测器,包括:超透镜阵列;所述超透镜阵列包括多个阵列式排布的超透镜;所述超透镜包括多个纳米结构,所述超透镜用于对入射光进行聚焦;所述纳米结构的直径范围为120nm~260nm。
3、可选地,纳米结构的高度范围为500nm~800nm。
4、可选地,纳米结构的折射率范围为3.4~3.9。
5、可选地,纳米结构为六方周期排列。
6、可选地,纳米结构的周期范围为470nm~520nm。
7、可选地,超透镜的口径范围为100μm~300μm。
8、可选地,超透镜的焦距范围为250μm~3600μm。
9、可选地,该波前探测器还包括:探测器,所述探测器设置在所述超透镜阵列的出光侧;所述探测器包括多个像素单元,所述像素单元与所述超透镜一一对应,并接收由相应的超透镜所聚焦的光束。
10、本实用新型实施例上述提供的方案中,不仅可以基于无像差聚焦的优势从而具有更好的波前探测效果,该波前探测器还具备加工简单,成本低,体积轻薄等优点。
11、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
1.一种波前探测器,其特征在于,包括:超透镜阵列(1);所述超透镜阵列(1)包括多个阵列式排布的超透镜(11);
2.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的高度范围为500nm~800nm。
3.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的折射率范围为3.4~3.9。
4.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)为六方周期排列。
5.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述纳米结构(111)的周期范围为470nm~520nm。
6.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述超透镜(11)的口径范围为100μm~300μm。
7.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,所述超透镜(11)的焦距范围为250μm~3600μm。
8.根据权利要求1所述的波前探测器,其特征在于,还包括:探测器(2),所述探测器(2)设置在所述超透镜阵列(1)的出光侧;