一种测试平台的制作方法

本技术涉及半导体测试，特别涉及一种测试平台。

背景技术：

1、如图1所示，测试平台包括测试机台10和探针机台20，所述测试机台10具有基板11，所述探针机台20具有探针卡21。在电性测试时，被测晶圆放置在所述探针机台20上，并夹设在探针机台20和探针卡21之间，还将所述探针卡21和被测晶圆22电连接，所述基板11和探针卡21通过测试线30(例如包括信号线和电源线)电连接。

2、由于不同的测试平台需要不同的探针卡和测试线，且为了保证测试可靠性，每次更换探针卡都需要做数据匹配，需要额外花费大量的时间连接测试线。同时，由于测试线的插拨需要人工完成，存在插拨错误的可能性，从而导致探测卡损坏甚至烧坏被测晶圆的可能性。经常性地拔插测试线，对于基板和探针卡的针脚都会有损耗，而更换探针卡上的一个原厂针脚的费用价格昂贵。另外，由于地线在经历了多次插拨后，会出现杂波讯号，并导致被测晶圆的测试不稳定，从而造成测试数据异常，对此经常需要进行复测，很容易导致开发项目的延迟。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于，提供一种测试平台，可以解决基板和探针卡直接通过测试线连接引起的测试不良和测试成本高的问题。

2、为了解决上述问题，本实用新型提供一种测试平台，包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板，所述第一转接板与所述测试机台电连接，被测晶圆与所述探针机台电连接，所述第二转接板与所述探针机台电连接，同时，所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接。

3、可选的，所述第一转接板具有第一输入输出接口，所述第二转接板具有第二输入输出接口，所述第一输入输出接口和第二输入输出接口可插拨的电连接。

4、进一步的，所述测试机台包括电连接的测试机主体和测试基板，所述测试基板通过第一导线电连接所述第一转接板；以及

5、所述探针机台包括电连接的探测机主体和探测卡，所述被测晶圆分别与探测机主体和探测卡电连接，所述探测卡通过第二导线与所述第二转接板电连接。

6、进一步的，所述第一输入输出接口包括多个连接通道，所述第一输入输出接口的所有连接通道均与所述测试基板电连接；

7、所述第二输入输出接口包括多个连接通道，所述第二输入输出接口的所有连接通道均与所述探测卡电连接；

8、其中，所述第一输入输出接口的每个所述连接通道均与所述第二输入输出接口中的一个连接通道可插拔的电连接。

9、进一步的，所述第一输入输出接口的所有连接通道均为插拨式接头的插入凹槽，所述第二输入输出接口的所有连接通道均为与所述插入凹槽相匹配的插入柱，所述第二输入输出接口的所有连接通道分别插设在所述第一输入输出接口的一个连接通道中。

10、进一步的，所述第二转接板上设置有继电器模块，所述第一转接板或第二转接板包括控制模块，所述继电器模块同时与所述控制模块和所述第二输入输出接口电连接，使得所述控制模块通过所述继电器模块控制所述第二输入输出接口中至少部分连接通道在测试时与所述第一输入输出接口导通。

11、进一步的，所述继电器模块包括第一继电器至第七继电器，所述第一输入输出接口和第二输入输出接口分别包括第一连接通道至第九连接通道，所述第一继电器至第七继电器均具有输入端、“0”输出端和“1”输出端；

12、所述第一继电器的输入端连接所述控制模块，“0”输出端和“1”输出端分别连接第二继电器的输入端以及第三继电器的输入端；所述第二继电器和第三继电器的“0”输出端及“1”输出端分别连接第四继电器至第七继电器的输入端；所述第四继电器至第七继电器的“0”输出端和“1”输出端分别连接所述第一连接通道至第九连接通道。

13、进一步的，所述控制模块包括七个控制开关，每个所述控制开关分别控制第一继电器至第七继电器中的一个继电器的“0”输出端或“1”输出端导通。

14、进一步的，所述控制开关包括开关按钮，所述开关按钮具有按压状态和自然状态，在自然状态时，所述开关按钮对应控制的所述继电器的“0”输出端导通，在按压状态时，所述开关按钮对应控制的所述继电器的“1”输出端导通。

15、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

16、本实用新型提供一种测试平台，包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板，所述第一转接板与所述测试机台电连接，被测晶圆与所述探针机台电连接，所述第二转接板与所述探针机台电连接，同时，所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接，使得所述测试机台和探针机台可以通过第一转接板和第二转接板进行电连接，而无需通过测试线电连接，并且可以快速、准确的电连接，减少了测试机台和探针机台电连接花费的时间，解决了现有技术中基板和探针卡直接通过测试线连接引起的测试不良和测试成本高的问题。

技术特征：

1.一种测试平台，其特征在于，包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板，所述第一转接板与所述测试机台电连接，被测晶圆与所述探针机台电连接，所述第二转接板与所述探针机台电连接，同时，所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接。

2.如权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述第一转接板具有第一输入输出接口，所述第二转接板具有第二输入输出接口，所述第一输入输出接口和第二输入输出接口可插拨的电连接。

3.如权利要求2所述的测试平台，其特征在于，所述测试机台包括电连接的测试机主体和测试基板，所述测试基板通过第一导线电连接所述第一转接板；以及

4.如权利要求3所述的测试平台，其特征在于，

5.如权利要求4所述的测试平台，其特征在于，所述第一输入输出接口的所有连接通道均为插拨式接头的插入凹槽，所述第二输入输出接口的所有连接通道均为与所述插入凹槽相匹配的插入柱，所述第二输入输出接口的所有连接通道分别插设在所述第一输入输出接口的一个连接通道中。

6.如权利要求4所述的测试平台，其特征在于，所述第二转接板上设置有继电器模块，所述第一转接板或第二转接板包括控制模块，所述继电器模块同时与所述控制模块和所述第二输入输出接口电连接，使得所述控制模块通过所述继电器模块控制所述第二输入输出接口中至少部分连接通道在测试时与所述第一输入输出接口导通。

7.如权利要求6所述的测试平台，其特征在于，所述继电器模块包括第一继电器至第七继电器，所述第一输入输出接口和第二输入输出接口分别包括第一连接通道至第九连接通道，所述第一继电器至第七继电器均具有输入端、“0”输出端和“1”输出端；

8.如权利要求7所述的测试平台，其特征在于，所述控制模块包括七个控制开关，每个所述控制开关分别控制第一继电器至第七继电器中的一个继电器的“0”输出端或“1”输出端导通。

9.如权利要求8所述的测试平台，其特征在于，所述控制开关包括开关按钮，所述开关按钮具有按压状态和自然状态，在自然状态时，所述开关按钮对应控制的所述继电器的“0”输出端导通，在按压状态时，所述开关按钮对应控制的所述继电器的“1”输出端导通。

技术总结
本技术提供一种测试平台，包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板，所述第一转接板与所述测试机台电连接，被测晶圆与所述探针机台电连接，所述第二转接板与所述探针机台电连接，同时，所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接，使得所述测试机台和探针机台可以通过第一转接板和第二转接板进行电连接，而无需通过测试线电连接，并且可以快速、准确的电连接，减少了测试机台和探针机台电连接花费的时间，解决了现有技术中基板和探针卡直接通过测试线连接引起的测试不良和测试成本高的问题。

技术研发人员：施顺亿,李小鹏,彭日强,郑晓
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：20230110
技术公布日：2024/1/12