一种磁性靶材磁透率检测装置的制作方法

本技术涉及磁透率检测，具体为一种磁性靶材磁透率检测装置。

背景技术：

1、目前测量溅射靶盘透磁率是采用在圆形靶盘下方固定一块标准的u型磁铁,将靶盘固定在距离磁铁ns极面上方一定距离位置上,通过霍尔传感器测试靶盘上方透过的磁场数据对靶盘进行检测,通常采用人工检测纪录的方法进行,通过手动控制圆形靶盘逐点通过标准磁铁上方进行检验和纪录，存在检测效率低、劳动强度大及标定缺陷位置不准确的实际问题。

2、且在公开号为cn205484749u的申请文件中提及到一种溅射靶盘透磁率检测装置，该溅射靶盘透磁率检测装置采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率,有效降低人工劳动强度,省时省力,且通过所述检测结果分析控制器的设置，能对检测结果具有检测结果分析、检测效率高，有效的解决了上述问题，但是仍然存在一定的缺陷和不足，需要得到优化，具体缺陷和不足如下：该溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时处于大环境之中，并无外部屏蔽隔离结构，那么此时大环境中的其他干扰磁场会直接影响到磁透率检测，导致磁透率检测结果准确性降低。

3、因此，需要设计一种磁性靶材磁透率检测装置来解决上述背景技术中的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种磁性靶材磁透率检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台和屏蔽箱，所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部，同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成，在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙，同时气隙的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块。

4、作为本实用新型优选的方案，所述旋转检测台的顶面固定安装有若干组呈环形分布的磁性靶材座，在每组磁性靶材座的顶面固定安装有若干组的吸盘，同时若干组的吸盘的顶面放置有磁性靶材。

5、作为本实用新型优选的方案，所述旋转检测台的底部固定安装有屏蔽台，在屏蔽台上靠近中心处贯穿开设有轴承孔，同时屏蔽台的顶面一侧放置有源磁体。

6、作为本实用新型优选的方案，所述旋转检测台的底面中心处固定连接有转轴，在转轴的底端固定安装有轴承座，同时转轴的外表面套装有从动锥形齿轮，且转轴贯穿轴承孔的内部，同时从动锥形齿轮位于屏蔽台的底部，在旋转检测台的顶部靠近源磁体中心处固定安装有霍尔探头，同时霍尔探头的外部电性连接有高斯计。

7、作为本实用新型优选的方案，所述从动锥形齿轮的顶面啮合连接有主动锥形齿轮，同时主动锥形齿轮远离从动锥形齿轮的一侧固定安装有电机，在电机的底部固定安装有电机座，且主动锥形齿轮和电机通过传动轴转动连接。

8、作为本实用新型优选的方案，所述屏蔽箱的前侧面通过合页活动安装有箱门。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1.本实用新型中，通过设置的由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成的屏蔽箱可使得整个检测过程与外部大环境隔离屏蔽，从而使得整个检测过程不受大环境磁场干扰，可使得检测数据准确性高，进而有效的克服了现有的溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时无外部屏蔽隔离结构，受到大环境中的其他磁场干扰，导致磁透率检测结果准确性降低的缺陷。

技术特征：

1.一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台（1）和屏蔽箱（2），其特征在于：所述旋转检测台（1）活动安装在屏蔽箱（2）的内部，同时屏蔽箱（2）由外屏蔽体（3）和内屏蔽体（4）组合而成，在外屏蔽体（3）、内屏蔽体（4）之间设置有气隙（5），同时气隙（5）的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块（6）。

2.根据权利要求1所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述旋转检测台（1）的顶面固定安装有若干组呈环形分布的磁性靶材座（11），在每组磁性靶材座（11）的顶面固定安装有若干组的吸盘（111），同时若干组的吸盘（111）的顶面放置有磁性靶材（112）。

3.根据权利要求2所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述旋转检测台（1）的底部固定安装有屏蔽台（12），在屏蔽台（12）上靠近中心处贯穿开设有轴承孔（121），同时屏蔽台（12）的顶面一侧放置有源磁体（122）。

4.根据权利要求3所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述旋转检测台（1）的底面中心处固定连接有转轴（13），在转轴（13）的底端固定安装有轴承座（131），同时转轴（13）的外表面套装有从动锥形齿轮（132），且转轴（13）贯穿轴承孔（121）的内部，同时从动锥形齿轮（132）位于屏蔽台（12）的底部，在旋转检测台（1）的顶部靠近源磁体（122）中心处固定安装有霍尔探头（14），同时霍尔探头（14）的外部电性连接有高斯计（141）。

5.根据权利要求4所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述从动锥形齿轮（132）的顶面啮合连接有主动锥形齿轮（1321），同时主动锥形齿轮（1321）远离从动锥形齿轮（132）的一侧固定安装有电机（1322），在电机（1322）的底部固定安装有电机座（1323），且主动锥形齿轮（1321）和电机（1322）通过传动轴转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述屏蔽箱（2）的前侧面通过合页（21）活动安装有箱门（22）。

技术总结
本技术涉及磁透率检测技术领域，具体为一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台和屏蔽箱，所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部，同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成，在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙，同时气隙的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块，且通过设置的由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成的屏蔽箱可使得整个检测过程与外部大环境隔离屏蔽，从而使得整个检测过程不受大环境磁场干扰，可使得检测数据准确性高，进而有效的克服了现有的溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时无外部屏蔽隔离结构，受到大环境中的其他磁场干扰，导致磁透率检测结果准确性降低的缺陷。

技术研发人员：李心然,居炎鹏,王永超,赵泽良
受保护的技术使用者：河南东微电子材料有限公司
技术研发日：20230131
技术公布日：2024/1/12