真空舱

本申请涉及光学测试设备校准，具体涉及一种真空舱。

背景技术：

1、精确测量各个波段的真空紫外光谱辐射参数，可以对预测空间天气、太阳风暴形成、飞行器等航天器件的真空紫外波段测试提供很大的帮助，因此，对于真空紫外波段的研究成为了焦点。

2、现有技术中，用于真空紫外光谱辐射检测的真空舱通常将光源设置在真空舱外，通过在真空舱设置窗口，将光源所发射的光线通过窗口投射至真空舱内。为了避免光源至真空舱之间的光路受外界环境的影响，需要将光源通过法兰固定在真空舱的窗口处，然而，对于不同种类的光源，其提供的接口往往有所不同，这就导致了现有技术中对不同光源进行测量、标定时，光源的装卸操作繁琐，同时光源的频繁装卸也会影响设备的精度。

3、因此，有必要提供一种技术方案，解决真空舱与不同种类的光源不匹配的问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种真空舱，可以适配多种不同类型的光源。

2、基于以上目的，本申请提供一种真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：

3、所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；

4、其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计的光学系统和探测装置，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接，第一腔体包括与第一通孔连接的第三通孔。

5、进一步的，所述第一腔体和所述第二腔体通过铜隔板连接。

6、进一步的，所述真空泵组通过不锈钢波纹管与所述第二通孔连接。

7、进一步的，所述真空泵组包括至少两种真空泵，其中，第一真空泵为低真空泵，在真空泵组中用作前级泵，第二真空泵为超高真空泵，在真空泵组中用作后级泵。

8、进一步的，所述第一真空泵为机械泵，所述第二真空泵为分子泵。

9、进一步的，所述真空舱设置有第一真空度阈值，当所述第二腔体内的真空度低于所述第一真空度阈值时，所述机械泵工作，当所述第二腔体内的真空度高于所述第一真空度阈值时，启动分子泵；

10、所述真空舱还设置有第二真空度阈值，第二真空度阈值高于第一真空度阈值，当第二腔体内的真空度高于第二真空度阈值时，分子泵停止工作。

11、进一步的，真空舱还包括监控单元，用于监控第二腔体的真空度。

12、进一步的，所述第二腔体的任意腔体壁上设置有至少一个观察窗，所述观察窗采用三层结构，沿第二腔体内壁向外的方向，所述观察窗采用的三层结构分别为防污玻璃、石英玻璃、铅玻璃。

13、进一步的，所述第一腔体中设置有支撑组件，光源设置在支撑组件上，通过调节支撑组件实现调节光源的位置和角度。

14、进一步的，所述支撑组件通过光学积木搭建。

15、本申请提供了一种真空舱，提供了用于设置光源的第一腔体，在对光源进行测量、标定时，由于光源处于真空环境中，因此无需利用法兰将光源固定，解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。

技术特征：

1.一种真空舱，用于紫外光谱辐射检测，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述真空泵组通过不锈钢波纹管与所述第二通孔连接。

3.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述真空泵组包括至少两种真空泵，其中，第一真空泵为低真空泵，在真空泵组中用作前级泵，第二真空泵为超高真空泵，在真空泵组中用作后级泵。

4.根据权利要求3所述的真空舱，其特征在于，所述第一真空泵为机械泵，所述第二真空泵为分子泵。

5.根据权利要求4所述的真空舱，其特征在于，所述真空舱设置有第一真空度阈值，当所述第二腔体内的真空度低于所述第一真空度阈值时，所述机械泵工作，当所述第二腔体内的真空度高于所述第一真空度阈值时，启动分子泵；

6.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，真空舱还包括监控单元，用于监控第二腔体的真空度。

7.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述第二腔体的任意腔体壁上设置有至少一个观察窗，所述观察窗采用三层结构，沿第二腔体内壁向外的方向，所述观察窗采用的三层结构分别为防污玻璃、石英玻璃、铅玻璃。

8.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述第一腔体中设置有支撑组件，光源设置在支撑组件上，通过调节支撑组件实现调节光源的位置和角度。

9.根据权利要求8所述的真空舱，其特征在于，所述支撑组件通过光学积木搭建。

技术总结
本申请提供真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接。本申请提供的真空舱包括用于设置光源的第一腔体，无需利用法兰将光源固定，解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。

技术研发人员：方彬,赵天琦,金尚忠,占春连,邹艳霞
受保护的技术使用者：中国计量大学
技术研发日：20230207
技术公布日：2024/1/11