晶圆多向翻转检测机台的制作方法

本技术是有关一种晶圆多向翻转检测机台，特别是一种优化机台的各装置的配置及设计的一种晶圆多向翻转检测机台。

背景技术：

1、以往的晶圆检测作业，是由检测机台将晶圆搬移至检测区域，并由检测人员进行晶圆的表面观察，同时依据检测的结果进行品质的纪录及分类放置。

2、但是习知的检测机台，却仅只能将晶圆移至观察区域，并单一平面方向旋转晶圆以进行晶圆表面的观察，然而在检测时，如果无法进行全方位的角度观察，将导致检测结果失真，使得晶圆品质分类无法确实进行。

3、因此，如何设计出一种可供各种多个不同旋转及倾斜角度进行晶圆表面观察的检测机台，令晶圆检测时，可将晶圆进行全方位角度进行观察，使得晶圆品质分类能够确实的进行，这都会是本案所要着重的问题与焦点。

技术实现思路

1、本实用新型的一目的在于提供一种供各种多个不同旋转及倾斜角度进行晶圆表面观察的一种晶圆多向翻转检测机台。

2、本实用新型的另一目的在于改善机台的各装置的配置的一种可将晶圆进行全方位角度观察的一种晶圆多向翻转检测机台。

3、本实用新型之一种晶圆多向翻转检测机台，是供检测多个晶圆并分类，以及由一晶舟供放置所述的晶圆，其中所述的晶圆多向翻转检测机台包括一机台本体、一多向翻转汲取装置及一控制装置，所述的机台本体具有一置料区及一翻转检测区，所述的置料区是供所述的晶舟设置，所述的翻转检测区是供检测所述的晶圆的位置；所述的多向翻转汲取装置是对应所述的置料区及所述的翻转检测区设置在所述的机台本体内，且往返所述的置料区与所述的翻转检测区之间，并供汲取所述的晶舟放置的所述的晶圆并移载至所述的翻转检测区以进行多向翻转及旋转，以及供移载检测完的所述的晶圆至所述的晶舟内；所述的控制装置是信号连接至所述的多向翻转汲取装置，并供控制所述的多向翻转汲取装置翻转及旋转所述的晶圆的方向及角度。

4、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述的多向翻转汲取装置包括一移载臂及一翻转臂，移载臂是朝所述的晶舟汲取/放置各晶圆；翻转臂供承载由所述的移载臂移载的晶圆，并升高承载的所述的晶圆至一预定高度，以翻转所述的晶圆并进行所述的晶圆的外观检测。

5、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，更包括一移载装置及一检测装置，所述的移载装是应检所述的测区设置在所述的机台本体内，并供移载所述的晶圆朝远离所述的翻转检测区的方向往返移载所述的晶圆；所述的检测装置是对应所述的移载装置设置在所述的机台本体的侧边，并供另检测所述的晶圆。

6、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述的检测装置包括一电子显微镜单元及一移载板，所述的电子显微镜单元具有一检测位置是供检测所述的晶圆的表面；移载板是供所述的晶圆平放并移载至所述的电子显微镜单元的检测位置，以及微调在所述的检测位置的所述的晶圆。

7、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述的控制装置包括一输入介面单元、一显示单元及一储存单元，所述的输入介面单元是供输入检测的所述的晶圆的一状态资讯；所述的显示单元是与所述的输入介面单元信号连接，供显示所述的输入介面单元输入状态资讯；所述的储存单元是与所述的输入介面单元信号连接，供储存所述的输入介面单元输入的状态资讯。

8、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述的控制装置更包括一控制翻转介面单元，是供手动控制所述的晶圆的翻转及旋转的方向及角度。

9、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述的储存单元储存一状态对应列表，所述的状态对应列表具有所述的晶圆放置在晶舟的多个旋转角度资讯，所述的旋转角度资讯分别对应各状态资讯，所述的控制装置是依据所述的状态对应列表及所述的储存单元储存的所述的晶圆的状态资讯，调整所述的晶圆放置在所述的晶舟的旋转角度。

10、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，更包括一可动式照明装置，是对应所述的翻转检测区并设置在所述的机台本体内，并供朝向所述的翻转检测区出光照明待测的晶圆，且所述的可动式照明装置的出光方向是受调整控制朝向待测的晶圆不同的出光角度。

11、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述巡边装置更包括一平移驱动单元，是供驱动所述巡边侦测单元朝向/远离所述旋转承载座的位罝往返移动，当所述旋转承载座承载所述晶圆时，所述平移驱动单驱动所述巡边侦测单元朝向所述旋转承载座移动以侦测所述晶圆，当所述巡边侦测单元结束侦测所述晶圆时，所述平移驱动单元驱动所述巡边侦测单元远离所述旋转承载座。

12、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，更包括一晶圆放置状态分析装置，是供分析放置在所述晶舟的所述晶圆的放置状态，所述晶圆放置状态分析装置包括一雷射感应单元及一垂直驱动单元，所述雷射感应单元是对应所述置料区朝向所述晶舟设置，并供光感应分析所述晶圆的放置状态；所述垂直驱动单元是供驱动所述晶舟朝垂直方向往返移动，令放置在所述晶舟的每一所述晶圆分别受所述雷射感应单元光感应分析放置状态。

13、上述提到的晶圆多向翻转检测机台，其中所述可动式照明装置包括一控制开关单元及一位置侦测单元，所述控制开关单元是供控制发光/解除发光；所述位置侦测单元是与所述控制开关单元讯号连接，并供侦测所述翻转检测区是否有所述晶圆，如果所述晶圆位于所述翻转检测区，所述控制开关单元供控制发光，如果所述晶圆远离翻转检测区，所述控制开关单元解除发光。

14、本案一种晶圆多向翻转检测机台，可透过多向翻转汲取装置翻转及旋转待测的晶圆，可供检测人员从多个不同旋转及倾斜角度进行全方位角度的晶圆表面观察，另方面，还可在机台侧边另设置检测装置(如电子显微镜)，以增加晶圆的检测品质，且更可设置可动式照明装置，以供检测人员调整出光方向，使得待测的晶圆可受到不同的出光角度进行表面观察，以提升检测的效果。

技术特征：

1.一种晶圆多向翻转检测机台，是供检测多个晶圆并分类，以及由一晶舟供放置所述晶圆，其特征在于，所述晶圆多向翻转检测机台包括：

2.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述多向翻转汲取装置包括：

3.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，更包括：

4.如权利要求3所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述检测装置包括：

5.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述控制装置包括：

6.如权利要求5所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述控制装置更包括一控制翻转介面单元，是供手动控制翻转及旋转所述晶圆的方向及角度。

7.如权利要求5所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述储存单元储存一状态对应列表，所述状态对应列表具有所述晶圆放置在所述晶舟的多个旋转角度资讯，所述旋转角度资讯分别对应各所述状态资讯，所述控制装置是依据所述状态对应列表及所述储存单元储存的所述晶圆的所述状态资讯，调整所述晶圆放置在所述晶舟的旋转角度。

8.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，更包括一可动式照明装置，是对应所述翻转检测区并设置在所述机台本体内，并供朝向所述翻转检测区出光照明待测的所述晶圆，且所述可动式照明装置的出光方向是受调整控制朝向待测的所述晶圆不同的出光角度。

9.如权利要求8所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述晶圆是光可透的晶圆，其中所述可动式照明装置是出光穿透所述光可透的晶圆以供检测。

10.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，还更包括一巡边装置，包括：

11.如权利要求10所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述巡边装置更包括一平移驱动单元，是供驱动所述巡边侦测单元朝向/远离所述旋转承载座的位罝往返移动，当所述旋转承载座承载所述晶圆时，所述平移驱动单元驱动所述巡边侦测单元朝向所述旋转承载座移动以侦测所述晶圆，当所述巡边侦测单元结束侦测所述晶圆时，所述平移驱动单元驱动所述巡边侦测单元远离所述旋转承载座。

12.如权利要求1所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，更包括一晶圆放置状态分析装置，是供分析放置在所述晶舟的所述晶圆的放置状态，所述晶圆放置状态分析装置包括：

13.如权利要求8所述的晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，所述可动式照明装置包括：

技术总结
本技术是一种晶圆多向翻转检测机台，包括一机台本体、一多向翻转汲取装置及一控制装置，机台本体具有一置料区及一翻转检测区，多向翻转汲取装置是对应置料区及翻转检测区设置在机台本体内，并供汲取晶舟放置的晶圆并移载至翻转检测区以进行多向翻转，以及供移载检测完的晶圆至晶舟内，控制装置是信号连接至多向翻转汲取装置，并供控制多向翻转汲取装置翻转及旋转晶圆的方向及角度。

技术研发人员：李芳媛,陈春辰
受保护的技术使用者：晟耀光电科技股份有限公司
技术研发日：20230220
技术公布日：2024/1/15