一种自动影像测量仪的制作方法

本技术属于检测设备领域，更具体的说涉及一种自动影像测量仪。

背景技术：

1、目前，晶圆在半导体的制造中占据很重要的部分，若封装含缺陷的晶圆，则会影响后期集成电路的性能。随着半导体尺寸越来越小，可能出现成像难以清晰、存在缺角或者遮挡时难以定位、缺陷形状与背景几何图案相似等问题。为降低晶圆缺陷对半导体制造的影响,现有技术中一般是采用影像测量仪来实现晶元表面缺陷检测。

2、现有技术中测量仪的运动系统采用多轴运动控制，实现xyz三个自由度运行，通过线扫相机实现对晶圆表面进行检测，在检测中通过上方补光的方式，线扫相机和光源同步运动，然而因光源照射在晶圆上的距离和角度固定，这样一些影藏在晶圆上的缺陷就难以检测出来，影响晶圆的检测准确度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种自动影像测量仪，解决背景技术中存在的问题，在检测中，增加改变照射至晶圆上的光路和光路角度，确保晶圆上缺陷显现，提高晶圆检测准确度。

2、本实用新型技术方案一种自动影像测量仪，包括控制箱、固定安装在所述控制箱内的固定底座、安装于所述固定底座上表面上的立柱和y轴平台；所述y轴平台上安装有x轴平台，所述立柱顶部固定有z轴机头；所述z轴机头包括机头升降组件、与所述机头升降组件固接的安装立板、固定于所述安装立板上的光源和线扫相机；所述光源包括环形底座、设置于所述环形底座内的若干环形发光带，所述环形发光带包括斜向光路光带和竖向光路光带，所述环形底座上连接有光源升降组件，所述线扫相机的镜头视野由所述环形底座中心穿过。

3、优选地，所述固定底座的上表面上安装有y向导轨，所述y轴平台底部连接有置于所述y向导轨上的y向导槽，所述y轴平台底部还连接有y向导块，所述y向导块上穿过有y向丝杠，所述y向丝杠一端连接有y向伺服电机；所述y向伺服电机与固定底座固定安装；

4、所述y轴平台的上表面上安装有x向伺服电机和x向导轨，所述x向伺服电机上连接有x向丝杠，所述x向丝杠上套接有x向导块，所述x向导块与所述x轴平台的下表面固接，所述x轴平台的下表面上还安装有与所述x向导轨相适应的x向导槽。

5、优选地，所述y向导轨、y向导槽、y向伺服电机和y向丝杠均置于所述y轴平台正下方，所述y轴平台四周均设置有第一防尘罩，所述x向导轨、x向导槽、x向伺服电机和x向丝杠均置于所述x轴平台正下方，所述x轴平台四周均设置有第二防尘罩。

6、优选地，所述y轴平台沿中线位置设置有避让槽，所述立柱设置于所述避让槽内侧。

7、优选地，所述机头升降组件包括与所述立柱固接的z向伺服电机、由所述z向伺服电机带动的z向丝杠和套接在所述z向丝杠上的z向导块，所述安装立板与所述z向导块固接；

8、所述光源升降组件包括与所述安装立板固定的光源电机、由光源电机带动光源丝杠和套设在光源丝杠上的光源连接座，所述光源连接座和环形底座固接。

9、优选地，所述竖向光路光带发射出的光线朝向x轴平台，所述斜向光路光带发射出的光线呈斜向照射至x轴平台。

10、本实用新型技术方案一种自动影像测量仪的有益效果是：

11、1、通过设置光源升降组件，实现光源的单独升降，同时通过设置斜向光路光带，结合光源升降组件，使得能够增加照射至待测晶圆上的光线和光线角度，使得获得多个角度的照射光线，使得晶圆上影藏的缺陷能够显现，提高晶圆的检测精准度。

12、2、通过对y向导轨、y向导槽位置的合理布置，同时增设第一防尘罩和第二防尘罩，使得本自动影像测量仪传动部件呈全包裹状态，达到较好的防尘效果，使得本自动影像测量仪能够多种环境中使用。

技术特征：

1.一种自动影像测量仪，其特征在于，包括控制箱、固定安装在所述控制箱内的固定底座、安装于所述固定底座上表面上的立柱和y轴平台；所述y轴平台上安装有x轴平台，所述立柱顶部固定有z轴机头；所述z轴机头包括机头升降组件、与所述机头升降组件固接的安装立板、固定于所述安装立板上的光源和线扫相机；所述光源包括环形底座、设置于所述环形底座内的若干环形发光带，所述环形发光带包括斜向光路光带和竖向光路光带，所述环形底座上连接有光源升降组件，所述线扫相机的镜头视野由所述环形底座中心穿过。

2.根据权利要求1所述的自动影像测量仪，其特征在于，所述固定底座的上表面上安装有y向导轨，所述y轴平台底部连接有置于所述y向导轨上的y向导槽，所述y轴平台底部还连接有y向导块，所述y向导块上穿过有y向丝杠，所述y向丝杠一端连接有y向伺服电机；所述y向伺服电机与固定底座固定安装；

3.根据权利要求2所述的自动影像测量仪，其特征在于，所述y向导轨、y向导槽、y向伺服电机和y向丝杠均置于所述y轴平台正下方，所述y轴平台四周均设置有第一防尘罩，所述x向导轨、x向导槽、x向伺服电机和x向丝杠均置于所述x轴平台正下方，所述x轴平台四周均设置有第二防尘罩。

4.根据权利要求1所述的自动影像测量仪，其特征在于，所述y轴平台沿中线位置设置有避让槽，所述立柱设置于所述避让槽内侧。

5.根据权利要求1所述的自动影像测量仪，其特征在于，所述机头升降组件包括与所述立柱固接的z向伺服电机、由所述z向伺服电机带动的z向丝杠和套接在所述z向丝杠上的z向导块，所述安装立板与所述z向导块固接；

6.根据权利要求1所述的自动影像测量仪，其特征在于，所述竖向光路光带发射出的光线朝向x轴平台，所述斜向光路光带发射出的光线呈斜向照射至x轴平台。

技术总结
本技术公开了一种自动影像测量仪，包括控制箱、固定安装在控制箱内的固定底座、安装于固定底座上表面上的立柱和Y轴平台；Y轴平台上安装有X轴平台，立柱顶部固定有Z轴机头；Z轴机头包括机头升降组件、与机头升降组件固接的安装立板、固定于安装立板上的光源和线扫相机；光源包括环形底座、设置于环形底座内的若干环形发光带，环形发光带包括斜向光路光带和竖向光路光带，环形底座上连接有光源升降组件，线扫相机的镜头视野由环形底座中心穿过；本技术的自动影像测量仪，在检测中，增加改变照射至晶圆上的光路和光路角度，确保晶圆上缺陷显现，提高晶圆检测准确度。

技术研发人员：倪化生,黄炫,韦虎
受保护的技术使用者：合肥中科星翰科技有限公司
技术研发日：20230228
技术公布日：2024/1/12