一种高温寿命测试装置的制作方法

本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种高温寿命测试装置。

背景技术：

1、半导体器件在向市场推广前需要对其可靠性进行验证，其中，htol(高温寿命测试)是器件可靠性验证中的重要一项，它能够评估器件的长期使用寿命。在对器件进行高温寿命验证时，需要对器件先进行封装，再使用对应的高温寿命测试设备进行试验验证。

2、一种测试装置为烤箱式设备，在烤箱内设置多个器件并对其进行供电，使用烤箱提供高温环境，但是由于器件生产工艺的限制，每批器件在相同的偏置条件下，器件工作自发热产生的温升不一致，从而导致实际老化时批次内器件的结温差异较大，无法保证每颗器件均在预期的试验条件下进行老化，因此无法准确评估器件的可靠性。针对该方案现有的一种解决方式为：对每个器件均提供一个单独的加热环境，实现对单颗器件的老化，该方案虽然能够保证每颗器件在老化时的结温较为一致，但是该方案的结构较为复杂，成本较高，且能够同时试验的器件数量较少。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种高温寿命测试装置。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、本申请实施例的一方面，提供一种高温寿命测试装置，包括具有加热腔的箱体以及设置于箱体的供电模块，在加热腔内设置有老化板，在老化板上设置有多个测试工位，测试工位用于容置待测器件，供电模块经老化板与多个测试工位内的待测器件的输入端电连接，在供电模块和每个待测器件的输入端之间均串联有可调电阻。

4、可选的，在箱体上还设置有控制器，控制器与可调电阻电连接，可调电阻设置于老化板。

5、可选的，在老化板的每个测试工位内均设置有用于容置待测器件的固定座，固定座具有与待测器件匹配的固定部，固定部用于将待测器件固定于固定座。

6、可选的，高温寿命测试装置还包括固定盖，固定盖与固定座可拆卸连接，以配合夹持待测器件。

7、可选的，在老化板上设置有分别与供电模块电连接的栅极供电电路和漏极供电电路，固定座还具有的栅极接触点和漏极接触点，栅极接触点与栅极供电电路电连接，漏极接触点与漏极供电电路电连接，栅极接触点用于与待测器件的栅极端接触，漏极接触点用于与待测器件的漏极端接触。

8、可选的，在固定座上开设有探测孔，探测孔用于容置测温探头。

9、可选的，在箱体上设置有采样模块，在老化板背离测试工位的一侧还设置有采样板，在采样板上设置有多个与多个测试工位一一对应的测温探头，采样模块分别与多个测温探头电连接，测温探头用于采集待测器件管壳的温度。

10、可选的，在箱体上开设有与加热腔连通的开口，在开口内插设有抽屉，采样板和老化板安装于抽屉，在加热腔内设置有分别与供电模块和采样模块电连接的第一金手指，在采样板和老化板上分别设置有第二金手指，抽屉经开口插接于加热腔，以使第一金手指与第二金手指接触。

11、可选的，抽屉与加热腔内壁通过滑轨连接。

12、可选的，供电模块经老化板与多个测试工位内的待测器件的输出端电连接，在供电模块和每个待测器件的输出端之间均串联有限流保险丝。

13、本申请的有益效果包括：

14、本申请提供了一种高温寿命测试装置，包括具有加热腔的箱体以及设置于箱体的供电模块，在加热腔内设置有老化板，在老化板上设置有多个测试工位，测试工位用于容置待测器件，供电模块经老化板与多个测试工位内的待测器件的输入端电连接，在供电模块和每个待测器件的输入端之间均串联有可调电阻。由于在每个待测器件的输入端均串联有可调电阻，因此，每个待测器件均能够通过与自身串联的可调电阻进行偏置条件的调整，偏置条件决定了器件的耗散功率，在待测器件的管壳温度一定的条件下，便可以通过调节器件的耗散功率来使得每个待测器件的结温都能够达到预期的老化条件的要求，由此，既能够实现数量较多的待测器件同时进行老化测试，而且又能够通过加热腔来为所有待测器件提供一个共同的高温环境，以此，能够有效简化结构，降低测试成本。

技术特征：

1.一种高温寿命测试装置，其特征在于，包括具有加热腔的箱体以及设置于所述箱体的供电模块，在所述加热腔内设置有老化板，在所述老化板上设置有多个测试工位，所述测试工位用于容置待测器件，所述供电模块经所述老化板与多个所述测试工位内的待测器件的输入端电连接，在所述供电模块和每个所述待测器件的输入端之间均串联有可调电阻。

2.如权利要求1所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述箱体上还设置有控制器，所述控制器与所述可调电阻电连接，所述可调电阻设置于所述老化板。

3.如权利要求1所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述老化板的每个测试工位内均设置有用于容置所述待测器件的固定座，所述固定座具有与所述待测器件匹配的固定部，所述固定部用于将所述待测器件固定于所述固定座。

4.如权利要求3所述的高温寿命测试装置，其特征在于，所述高温寿命测试装置还包括固定盖，所述固定盖与所述固定座可拆卸连接，以配合夹持所述待测器件。

5.如权利要求3所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述老化板上设置有分别与所述供电模块电连接的栅极供电电路和漏极供电电路，所述固定座还具有的栅极接触点和漏极接触点，所述栅极接触点与所述栅极供电电路电连接，所述漏极接触点与所述漏极供电电路电连接，所述栅极接触点用于与所述待测器件的栅极端接触，所述漏极接触点用于与所述待测器件的漏极端接触。

6.如权利要求3至5任一项所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述固定座上开设有探测孔，所述探测孔用于容置测温探头。

7.如权利要求1至5任一项所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述箱体上设置有采样模块，在所述老化板背离所述测试工位的一侧还设置有采样板，在所述采样板上设置有多个与所述多个测试工位一一对应的测温探头，所述采样模块分别与多个所述测温探头电连接，所述测温探头用于采集所述待测器件管壳的温度。

8.如权利要求7所述的高温寿命测试装置，其特征在于，在所述箱体上开设有与所述加热腔连通的开口，在所述开口内插设有抽屉，所述采样板和所述老化板安装于所述抽屉，在所述加热腔内设置有分别与所述供电模块和所述采样模块电连接的第一金手指，在所述采样板和所述老化板上分别设置有第二金手指，所述抽屉经所述开口插接于所述加热腔，以使所述第一金手指与所述第二金手指接触。

9.如权利要求8所述的高温寿命测试装置，其特征在于，所述抽屉和所述加热腔内壁通过滑轨连接。

10.如权利要求1所述的高温寿命测试装置，其特征在于，所述供电模块经所述老化板与多个所述测试工位内的待测器件的输出端电连接，在所述供电模块和每个所述待测器件的输出端之间均串联有限流保险丝。

技术总结
本申请提供一种高温寿命测试装置，涉及半导体技术领域，包括具有加热腔的箱体以及设置于箱体的供电模块，在加热腔内设置有老化板，在老化板上设置有多个测试工位，测试工位用于容置待测器件，供电模块经老化板与多个测试工位内的待测器件的输入端电连接，在供电模块和每个待测器件的输入端之间均串联有可调电阻。由于在每个待测器件的输入端均串联有可调电阻，因此，每个待测器件均能够通过与自身串联的可调电阻进行偏置条件的调整，偏置条件决定了器件的耗散功率，在待测器件的管壳温度一定的条件下，便可以通过调节器件的耗散功率来使得每个待测器件的结温都能够达到预期的老化条件的要求，由此，能够有效简化结构，降低测试成本。

技术研发人员：林楹镇,马应武
受保护的技术使用者：深圳市时代速信科技有限公司
技术研发日：20230315
技术公布日：2024/1/14