一种测量装置的制作方法

本技术涉及测量设备领域，主要涉及一种测量装置。

背景技术：

1、在膜类材料的生产中，为保证膜类材料的质量，在形成膜类材料后，需要对膜类材料的面密度、厚度以及膜类材料表面情况进行检测。

2、现有的测量设备通常通过射线发射装置发出一定强度的射线(如x射线、β射线)来穿透极片，再以射线接收装置检测射线穿过极片后的射线强度，从而根据射线强度的变化计算出极片的面密度。对于可能出现的细小划痕(划痕宽度远小于射线光斑的宽度)，测量设备进行面密度检测时，细小划痕容易被平均掉，难以检测出细小划痕的存在。

3、现有的测量设备通常通过两个相对设置的激光测距器，两个相对设置的激光测距器分别位于膜类材料的两侧，通过两个激光测距器分别检测两个激光测距器与膜类材料的表面之间的距离，进而计算出膜类材料的厚度。但激光只能检测极片的厚度变化，只有划痕具有一定纵向深度时，激光检测才可识别，对于纵向深度较浅的划痕，激光检测很难识别出来。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种测量装置，能够同时测量待测物的面密度、厚度以及待测物上具有纵向深度的细微划痕和纵向深度较浅的划痕。

2、为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

3、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架滑动连接于所述底座；所述第一驱动机构安装于所述底座，用于驱动所述第一安装架运动；所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块均连接于所述第一安装架。

4、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第二安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架和所述第二安装架均滑动连接于所述底座，所述第一驱动机构安装于所述底座，用于驱动所述第一安装架和所述第二安装架运动；所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的两者安装于所述第一安装架上，所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的另一者安装于所述第二安装架。

5、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第二安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架和所述第二安装架均滑动连接于所述底座，所述第一驱动机构安装于所述底座，用于驱动所述第一安装架运动；所述第二驱动机构安装于所述底座，用于驱动所述第二安装架运动；所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的两者安装于所述第一安装架上，所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的另一者安装于所述第二安装架。

6、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架均滑动连接于所述底座；所述激光测量模块安装于所述第一安装架，所述图像检测模块安装于所述第二安装架，所述射线测量模块安装于所述第三安装架；所述第一驱动机构安装于所述底座，用于驱动所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架运动。

7、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、第二驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架均滑动连接于所述底座；所述激光测量模块安装于所述第一安装架，所述图像检测模块安装于所述第二安装架，所述射线测量模块安装于所述第三安装架，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均安装于所述底座，所述第一驱动机构用于驱动所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架三者中的两者运动，所述第二驱动机构用于驱动所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架三者中的另一者运动。

8、一种测量装置，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；所述第一安装架、所述第二安装架以及所述第三安装架均滑动连接于所述底座；所述激光测量模块安装于所述第一安装架，所述图像检测模块安装于所述第二安装架，所述射线测量模块安装于所述第三安装架，所述第一驱动机构、所述第二驱动机构以及所述第三驱动机构均安装于所述底座，所述第一驱动机构用于驱动所述第一安装架运动，所述第二驱动机构用于所述第二安装架运动，所述第三驱动机构用于驱动所述第三安装架运动。

9、在本申请的一些方案中，所述图像检测模块包括第一相机，所述第一相机的镜头处设有第一光源。

10、在本申请的一些方案中，所述图像检测模块包括第二相机，所述第二相机的镜头处设有第二光源。

11、在本申请的一些方案中，所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件；所述射线发射组件包括基体、射线发射器，所述射线发射器安装在基体上，所述射线发射器上具有射线口，所述射线口中可发出射线；所述基体上安装有双向驱动件，所述双向驱动件的第一端安装有第一连接件，所述双向驱动件的第二端安装有第二连接件；所述第一连接件上安装有第一校准片，所述第二连接件上安装有第二校准片；所述双向驱动件可驱动所述第一连接件与所述第二连接件交替进行相向运动和相背运动，当双向驱动件驱动所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时，所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。

12、在本申请的一些方案中，所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件；所述射线发射组件包括基体、射线发射器，所述射线发射器安装在基体上，所述射线发射器上具有射线口，所述射线口中可发出射线；所述基体上安装有第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件上安装有第一连接件，所述第二驱动件上安装有第二连接件；所述第一连接件上安装有第一校准片，所述第二连接件上安装有第二校准片；所述第一驱动件可驱动所述第一连接件运动，所述第二驱动件可驱动所述第二连接件运动，当所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时，所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。

13、有益效果：本申请的测量装置包括底座、第一安装架、第一驱动机构以及安装在安装架上的激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；第一安装架滑动连接在底座上，第一驱动机构安装在底座上，并且能够驱动第一安装架，因此实现驱动激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块移动。其中，激光测量模块用于检测其与待测物之间的距离，进而能够检测出待测物的厚度；射线测量模块用于检测出待测物的面密度；图像检测模块用于检测到具有纵向深度的细微划痕和纵向深度较浅的划痕，因此，通过测量装置上设置激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块，使得测量装置能够对待测物进行面密度、厚度以及划痕检测，获得多个数据分析维度，以及提高效率。

技术特征：

1.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

2.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第二安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

3.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第二安装架、第一驱动机构、第二驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

4.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

5.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、第二驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

6.一种测量装置，其特征在于，包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；

7.根据权利要求1-6任一项所述的测量装置，其特征在于，所述图像检测模块包括第一相机，所述第一相机的镜头处设有第一光源。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述图像检测模块包括第二相机，所述第二相机的镜头处设有第二光源。

9.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件；所述射线发射组件包括基体、射线发射器，所述射线发射器安装在基体上，所述射线发射器上具有射线口，所述射线口中可发出射线；所述基体上安装有双向驱动件，所述双向驱动件的第一端安装有第一连接件，所述双向驱动件的第二端安装有第二连接件；所述第一连接件上安装有第一校准片，所述第二连接件上安装有第二校准片；所述双向驱动件可驱动所述第一连接件与所述第二连接件交替进行相向运动和相背运动，当双向驱动件驱动所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时，所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。

10.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件；所述射线发射组件包括基体、射线发射器，所述射线发射器安装在基体上，所述射线发射器上具有射线口，所述射线口中可发出射线；所述基体上安装有第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件上安装有第一连接件，所述第二驱动件上安装有第二连接件；所述第一连接件上安装有第一校准片，所述第二连接件上安装有第二校准片；所述第一驱动件可驱动所述第一连接件运动，所述第二驱动件可驱动所述第二连接件运动，当所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时，所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。

技术总结
本技术提供了一种测量装置，包括底座、第一安装架、第一驱动机构以及安装在安装架上的激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块；第一安装架滑动连接在底座上，第一驱动机构安装在底座上，并且能够驱动第一安装架，因此实现驱动激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块移动。其中，激光测量模块用于检测其与待测物之间的距离，进而能够检测出待测物的厚度；射线测量模块用于检测出待测物的面密度；图像检测模块用于检测到具有纵向深度的细微划痕和纵向深度较浅的划痕，因此，通过测量装置上设置激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块，使得测量装置能够对待测物进行面密度、厚度以及划痕检测，获得多个数据分析维度，以及提高效率。

技术研发人员：张孝平,丁德甲,乔中涛,尚允坤
受保护的技术使用者：常州市大成真空技术有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/15