本申请涉及机械工装,特别是涉及一种调节夹具。
背景技术:
1、半导体芯片设备在用到针卡进行检测时,需要对针卡的位置进行准确调节,因此,亟需开发一种调节夹具,以便调节夹具能够对针卡的位置进行精确调节,以便针卡能够满足测试要求。
技术实现思路
1、本申请解决的一个技术问题是如何实现针卡位置的精确调节。
2、一种调节夹具,包括:
3、基座;
4、中间载体,与所述基座滑动连接,所述中间载体能够相对所述基座沿第一方向滑动;
5、安装载体,与所述中间载体滑动连接,所述安装载体能够相对所述中间载体沿与第一方向成夹角的第二方向滑动;
6、旋转载体,与所述安装载体转动连接并用于安装针卡,所述旋转载体能够相对所述安装载体绕沿与所述第一方向和所述第二方向均呈夹角设置的第三方向延伸的转轴转动;及
7、调节机构,包括第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件,所述第一调节组件用于驱动所述中间载体运动,所述第二调节组件用于驱动所述安装载体运动,所述第三调节组件用于驱动所述旋转载体运动。
8、在其中一个实施例中,还包括第一交叉辊子导轨组件,所述第一交叉辊子导轨组件包括第一固定部和第一滑动部,所述第一固定部设置在所述基座上,所述第一滑动部设置在所述中间载体上,所述第一滑动部能够相对所述第一固定部沿第一方向滑动。
9、在其中一个实施例中,还包括第二交叉辊子导轨组件,所述第二交叉辊子导轨组件包括第二固定部和第二滑动部,所述第二固定部设置在所述中间载体上,所述第二滑动部设置在所述安装载体上,所述第二滑动部能够相对所述第二固定部沿第二方向滑动。
10、在其中一个实施例中,第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件均为结构相同的微分调节器,所述微分调节器包括座体、连接件和微分螺旋头,所述微分螺旋头转动设置在座体上并与所述连接件抵接,所述微分螺旋头能够驱动所述连接件做直线运动。
11、在其中一个实施例中,所述微分螺旋头的数量为两个,两个所述微分螺旋头的中轴线位于同一直线,且两个微分螺旋头于所述连接件的相对两侧抵接所述连接件。
12、在其中一个实施例中,所述微分调节器还包括弹性件,所述弹性件的一端与所述座体连接,所述弹性件的另一端与所述连接件连接。
13、在其中一个实施例中,所述座体包括侧板、背板和顶板,所述侧板的数量为两个,两个所述侧板间隔设置,所述顶板和所述背板均连接在两个侧板之间,所述侧板、所述背板和所述顶板围成调节腔,所述微分螺旋头连接所述侧板并伸入至所述调节腔中;所述连接件包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部和所述第二连接部相互垂直,所述第一连接部的一部分位于所述调节腔内并与所述微分螺旋头抵接,所述第二连接部位于所述调节腔之外。
14、在其中一个实施例中,所述安装载体包括翻边、侧框和底板,所述翻边和所述底板分别与所述侧框的相对两端连接,所述翻边环绕所述侧框设置并与所述中间载体连接,所述侧框环绕所述底板设置,所述侧框和所述底板围成容置腔,所述中间载体和所述基座上均开设有通孔,所述侧框穿设在所述通孔中,所述底板上开设有连通所述容置腔的贯穿孔,所述旋转载体位于所述底板靠近所述容置腔的一侧并封盖所述贯穿孔,所述旋转载体与所述底板转动连接,所述第三调节组件位于所述容置腔内。
15、在其中一个实施例中,还包括限位柱,所述安装载体上开设有沉孔,所述旋转载体与所述沉孔转动配合,所述旋转载体上开设有弧形槽,所述限位柱穿设在所述弧形槽中并与所述安装载体固定连接,当所述旋转载体转动时,所述限位柱相对所述弧形槽滑动。
16、在其中一个实施例中,还包括紧固件,所述紧固件与所述安装载体可拆卸连接,所述紧固件用于将所述旋转载体固定在所述安装载体上。
17、本申请的一个实施例的一个技术效果是:鉴于针卡固定在旋转载体上,针卡将与旋转载体保持同步运动。当调节第一调节组件时,将使得中间载体相对基座沿第一方向做直线滑动,继而使得旋转载体和安装载体两者同时跟随中间载体相对基座沿第一方向做直线滑动,最终使得针卡相对基座沿第一方向做直线运动。当调节第二调节组件时,将使得安装载体相对中间载体和基座沿第二方向做直线滑动,继而使得旋转载体跟随安装载体相对基座沿第二方向做直线滑动,最终使得针卡相对基座沿第二方向做直线运动。当调节第三调节组件时,将使得旋转载体相对安装载体绕沿第三方向延伸的转轴产生转动,继而使得旋转载体相对基座绕第三方向延伸的转轴的转动。故通过对第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件,可以使得针卡沿第一方向滑动、沿第二方向滑动以及绕第三方向延伸的转轴转动,继而使得针卡有三个自由度的运动,如此可以使得调节夹具对针卡的位置进行精确的微调,确保针卡准确运动至所需要的位置以便检测。
1.一种调节夹具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的调节夹具,其特征在于,还包括第一交叉辊子导轨组件,所述第一交叉辊子导轨组件包括第一固定部和第一滑动部,所述第一固定部设置在所述基座上,所述第一滑动部设置在所述中间载体上,所述第一滑动部能够相对所述第一固定部沿第一方向滑动。
3.根据权利要求1所述的调节夹具,其特征在于,还包括第二交叉辊子导轨组件,所述第二交叉辊子导轨组件包括第二固定部和第二滑动部,所述第二固定部设置在所述中间载体上,所述第二滑动部设置在所述安装载体上,所述第二滑动部能够相对所述第二固定部沿第二方向滑动。
4.根据权利要求1所述的调节夹具,其特征在于,第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件均为结构相同的微分调节器,所述微分调节器包括座体、连接件和微分螺旋头,所述微分螺旋头转动设置在座体上并与所述连接件抵接,所述微分螺旋头能够驱动所述连接件做直线运动。
5.根据权利要求4所述的调节夹具,其特征在于,所述微分螺旋头的数量为两个,两个所述微分螺旋头的中轴线位于同一直线,且两个微分螺旋头于所述连接件的相对两侧抵接所述连接件。
6.根据权利要求4所述的调节夹具,其特征在于,所述微分调节器还包括弹性件,所述弹性件的一端与所述座体连接,所述弹性件的另一端与所述连接件连接。
7.根据权利要求4所述的调节夹具,其特征在于,所述座体包括侧板、背板和顶板,所述侧板的数量为两个,两个所述侧板间隔设置,所述顶板和所述背板均连接在两个侧板之间,所述侧板、所述背板和所述顶板围成调节腔,所述微分螺旋头连接所述侧板并伸入至所述调节腔中;所述连接件包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部和所述第二连接部相互垂直,所述第一连接部的一部分位于所述调节腔内并与所述微分螺旋头抵接,所述第二连接部位于所述调节腔之外。
8.根据权利要求1所述的调节夹具,其特征在于,所述安装载体包括翻边、侧框和底板,所述翻边和所述底板分别与所述侧框的相对两端连接,所述翻边环绕所述侧框设置并与所述中间载体连接,所述侧框环绕所述底板设置,所述侧框和所述底板围成容置腔,所述中间载体和所述基座上均开设有通孔,所述侧框穿设在所述通孔中,所述底板上开设有连通所述容置腔的贯穿孔,所述旋转载体位于所述底板靠近所述容置腔的一侧并封盖所述贯穿孔,所述旋转载体与所述底板转动连接,所述第三调节组件位于所述容置腔内。
9.根据权利要求1所述的调节夹具,其特征在于,还包括限位柱,所述安装载体上开设有沉孔,所述旋转载体与所述沉孔转动配合,所述旋转载体上开设有弧形槽,所述限位柱穿设在所述弧形槽中并与所述安装载体固定连接,当所述旋转载体转动时,所述限位柱相对所述弧形槽滑动。
10.根据权利要求9所述的调节夹具,其特征在于,还包括紧固件,所述紧固件与所述安装载体可拆卸连接,所述紧固件用于将所述旋转载体固定在所述安装载体上。