旋转靶端头检漏设备的制作方法

【】本技术涉及一种检漏设备，尤其涉及一种旋转靶端头检漏设备。

背景技术

0、
背景技术：

1、现有的镀膜线在工作时，旋转靶需要旋转并通电工作，由于通电会产生热量故需要往旋转靶内注水进行冷却。目前的旋转靶大都由合金制成的端头所支撑，在镀膜线换靶期间一般会将经保养维护后的新端头去更换下在使用的旧端头，新端头安装后还需与旋转靶在真空环境下进行实机检验，以检测新端头是否存在泄漏的情况，如果发现新端头有泄漏或有故障，轻则会影响到真空度，需要停用旋转靶材，重则会造成镀膜设备的损坏。但目前的新端头检漏过程操作繁复，而且新端头在测试时出现泄漏和故障，还必须卸下新端头，耗时耗力。

技术实现思路

0、
技术实现要素：

1、本实用新型的目的在于解决上述技术问题而提供的一种新型的旋转靶端头检漏设备，通过检漏装置上的检漏探头对真空室内的氦气进行检漏，并且检测气密性，结构简单，性能稳定可靠，检漏操作过程便捷，成本低。

2、本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

3、一种旋转靶端头检漏设备，包括固定支撑架、真空室、真空底座、旋转靶端头检漏装置、输出管，所述固定支撑架上设有真空室，所述真空室内部设有真空腔，所述真空室上安装有旋转靶端头检漏装置，所述真空室底部设有真空底座，所述真空底座一端与所述真空腔连通，所述真空底座另一端与所述输出管连通。

4、进一步地，所述旋转靶端头检漏装置包括旋转靶底座、旋转靶套筒装置、旋转靶驱动装置、检漏装置，所述旋转靶套筒装置底部设有旋转靶底座，所述旋转靶套筒装置顶部设有旋转靶驱动装置，所述旋转靶驱动装置上设有检漏装置。

5、进一步地，所述旋转靶套筒装置包括旋转靶套筒、旋转靶套筒转动轴、旋转靶套筒轴承、第一旋转靶套筒固定环、第二旋转靶套筒固定环、固定螺钉、旋转靶套筒盖，所述旋转靶套筒内部设有旋转靶套筒转动轴，所述旋转靶套筒外侧壁套合有旋转靶套筒轴承，所述旋转靶套筒轴承上设有第一旋转靶套筒固定环，所述第一旋转靶套筒固定环上设有第二旋转靶套筒固定环，所述第一旋转靶套筒固定环通过固定螺钉锁紧在所述第二旋转靶套筒固定环上，所述第二旋转靶套筒固定环上设有旋转靶套筒盖，所述旋转靶套筒转动轴顶部设有齿，所述旋转靶套筒转动轴底部设有圆孔，所述旋转靶底座嵌入在所述旋转靶套筒底部。

6、进一步地，所述旋转靶驱动装置包括电机安装座、驱动电机、主动同步轮、从动同步轮、同步带，所述电机安装座上设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴连接有主动同步轮，所述从动同步轮安装在所述旋转靶套筒转动轴顶部，所述同步带一端套合在所述主动同步轮上，所述同步带另一端套合在所述从动同步轮上，所述驱动电机驱动主动同步轮，主动同步轮带动同步带，同步带带动从动同步轮，从动同步轮带动旋转靶套筒转动轴运动。

7、进一步地，所述检漏装置包括检漏底板、检漏轴承、检漏齿轮、检漏顶盖、检漏探头，所述检漏底板安装在所述电机安装座上，所述检漏底板中部设有圆孔，所述检漏轴承安装在所述检漏底板中部的圆孔内，所述检漏轴承顶部设有检漏齿轮，所述检漏齿轮套合在所述旋转靶套筒转动轴顶部的齿上，所述检漏齿轮顶部设有检漏顶盖，所述检漏探头位于所述旋转靶套筒盖一侧。

8、进一步地，所述旋转靶套筒盖左侧开设凹槽，所述检漏探头安装在旋转靶套筒盖左侧的凹槽内，旋转靶套筒盖右侧中部设有槽，所述同步带一端套合在所述主动同步轮上，并且穿过旋转靶套筒盖右侧中部的槽与所述从动同步轮相连接。

9、进一步地，所述旋转靶底座外侧壁上设有圆孔，所述旋转靶底座的圆孔通过圆柱与旋转靶套筒转动轴底部的圆孔相连接，并且固定在旋转靶套筒转动轴底部。

10、进一步地，所述固定支撑架四周角设有导向轮。

11、进一步地，所述输出管通过卡环与所述真空底座固定连接。

12、本实用新型的有益效果在于：通过检漏装置上的检漏探头对真空室内的氦气进行检漏，并且检测气密性，结构简单，性能稳定可靠，检漏操作过程便捷，成本低。

技术特征：

1.一种旋转靶端头检漏设备，其特征在于：包括固定支撑架、真空室、真空底座、旋转靶端头检漏装置、输出管，所述固定支撑架上设有真空室，所述真空室内部设有真空腔，所述真空室上安装有旋转靶端头检漏装置，所述真空室底部设有真空底座，所述真空底座一端与所述真空腔连通，所述真空底座另一端与所述输出管连通。

2.根据权利要求1所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述旋转靶端头检漏装置包括旋转靶底座、旋转靶套筒装置、旋转靶驱动装置、检漏装置，所述旋转靶套筒装置底部设有旋转靶底座，所述旋转靶套筒装置顶部设有旋转靶驱动装置，所述旋转靶驱动装置上设有检漏装置。

3.根据权利要求2所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述旋转靶套筒装置包括旋转靶套筒、旋转靶套筒转动轴、旋转靶套筒轴承、第一旋转靶套筒固定环、第二旋转靶套筒固定环、固定螺钉、旋转靶套筒盖，所述旋转靶套筒内部设有旋转靶套筒转动轴，所述旋转靶套筒外侧壁套合有旋转靶套筒轴承，所述旋转靶套筒轴承上设有第一旋转靶套筒固定环，所述第一旋转靶套筒固定环上设有第二旋转靶套筒固定环，所述第一旋转靶套筒固定环通过固定螺钉锁紧在所述第二旋转靶套筒固定环上，所述第二旋转靶套筒固定环上设有旋转靶套筒盖，所述旋转靶套筒转动轴顶部设有齿，所述旋转靶套筒转动轴底部设有圆孔，所述旋转靶底座嵌入在所述旋转靶套筒底部。

4.根据权利要求3所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述旋转靶驱动装置包括电机安装座、驱动电机、主动同步轮、从动同步轮、同步带，所述电机安装座上设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴连接有主动同步轮，所述从动同步轮安装在所述旋转靶套筒转动轴顶部，所述同步带另一端套合在所述从动同步轮上，所述驱动电机驱动主动同步轮，主动同步轮带动同步带，同步带带动从动同步轮，从动同步轮带动旋转靶套筒转动轴运动。

5.根据权利要求4所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述检漏装置包括检漏底板、检漏轴承、检漏齿轮、检漏顶盖、检漏探头，所述检漏底板安装在所述电机安装座上，所述检漏底板中部设有圆孔，所述检漏轴承安装在所述检漏底板中部的圆孔内，所述检漏轴承顶部设有检漏齿轮，所述检漏齿轮套合在所述旋转靶套筒转动轴顶部的齿上，所述检漏齿轮顶部设有检漏顶盖，所述检漏探头位于所述旋转靶套筒盖一侧。

6.根据权利要求5所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述旋转靶套筒盖左侧开设凹槽，所述检漏探头安装在旋转靶套筒盖左侧的凹槽内，旋转靶套筒盖右侧中部设有槽，同步带一端套合在主动同步轮上，并且穿过旋转靶套筒盖右侧中部的槽与从动同步轮相连接。

7.根据权利要求2所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述旋转靶底座外侧壁上设有圆孔，所述旋转靶底座的圆孔通过圆柱与旋转靶套筒转动轴底部的圆孔相连接，并且固定在旋转靶套筒转动轴底部。

8.根据权利要求1所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述固定支撑架四周角设有导向轮。

9.根据权利要求1所述的旋转靶端头检漏设备，其特征在于：所述输出管通过卡环与所述真空底座固定连接。

技术总结
本技术提供了一种旋转靶端头检漏设备，包括固定支撑架、真空室、真空底座、旋转靶端头检漏装置、输出管，所述固定支撑架上设有真空室，所述真空室内部设有真空腔，所述真空室上安装有旋转靶端头检漏装置，所述真空室底部设有真空底座，所述真空底座一端与所述真空腔连通，所述真空底座另一端与所述输出管连通，本技术的有益效果在于：通过检漏装置上的检漏探头对真空室内的氦气进行检漏，并且检测气密性，结构简单，性能稳定可靠，检漏操作过程便捷，成本低。

技术研发人员：陈旭航,罗增亮
受保护的技术使用者：广东多特光电科技有限公司
技术研发日：20230509
技术公布日：2024/1/15