一种运动台及位移测量系统的制作方法

本技术涉及高速激光干涉测量，尤其涉及一种运动台及位移测量系统。

背景技术：

1、由于光刻工艺对精度要求极高，精密运动台的定位精准要求也就非常高。而精密运动台的定位精准很大程度上取决于位移测量系统的测量精度。与此同时，位移测量系统对测量行程的要求越来越高，现有技术中，运动台上设置有x向长条镜和y向长条镜，采用两个干涉仪分别检测x向长条镜和y向长条镜的位移，进而获取运动台沿x向和y向的位移，但是，由于x向长条镜和y向长条镜的尺寸较大，x向长条镜和y向长条镜的正交精度难以把控。根据光学反射原理，长条镜造成的误差通常以两倍的形式反应在测量结果中，这种现象在长行程中体现出更为明显的测量误差。

2、基于此，亟需一种运动台及位移测量系统，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种运动台及位移测量系统，提高了x向长条镜和y向长条镜的正交精度，且降低了安装的操作难度，提高了对运动台的测量精度，进而实现了对运动台的精密控制。

2、为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一方面，提供一种运动台，包括：

4、底板，所述底板上设置有第一安装座和第二安装座；

5、正交工装，所述正交工装安装于所述第一安装座和所述第二安装座上，所述正交工装设置有相互垂直的第一侧边和第二侧边；

6、x向长条镜和y向长条镜，所述x向长条镜一侧设置有第一反光面，所述x向长条镜的另一侧贴合于所述第一侧边且安装于所述第一安装座上；所述y向长条镜的一侧设置有第二反光面，所述y向长条镜的另一侧贴合于所述第二侧边且安装于所述第二安装座上。

7、作为一种运动台的优选技术方案，还包括第一限位块，所述第一限位块安装于所述第一安装座的侧壁，且所述第一限位块止挡所述x向长条镜设置所述第一反光面的一侧；和/或

8、还包括第二限位块，所述第二限位块安装于所述第二安装座的侧壁，且所述第二限位块止挡所述y向长条镜设置所述第二反光面的一侧。

9、作为一种运动台的优选技术方案，还包括第三限位块，所述第三限位块包括第一横边、第一竖边和第二横边，所述第一横边、所述第一竖边和所述第二横边形成工字型，所述第一横边连接于所述第一安装座的上表面，所述第一竖边止挡所述x向长条镜背离所述第一反光面的一侧，所述第二横边相对所述第一竖边向靠近所述x向长条镜的一侧凸设有第一压接部，所述第一压接部能够压接所述x向长条镜的上表面；和/或

10、还包括第四限位块，所述第四限位块包括第三横边、第二竖边和第四横边，所述第三横边、所述第二竖边和所述第四横边形成工字型，所述第三横边连接于所述第二安装座的上表面，所述第二竖边止挡所述y向长条镜背离所述第二反光面的一侧，所述第四横边相对所述第二竖边向靠近所述y向长条镜凸设有第二压接部，所述第二压接部能够压接所述y向长条镜的上表面。

11、作为一种运动台的优选技术方案，所述x向长条镜粘合于所述第一安装座的上表面，所述y向长条镜粘合于所述第二安装座的上表面。

12、作为一种运动台的优选技术方案，所述第一安装座和第二安装座分别通过第一螺钉安装于所述底板上；

13、所述正交工装、x向长条镜和/或y向长条镜上设置有避让孔，所述避让孔用于避让所述第一螺钉。

14、作为一种运动台的优选技术方案，还包括第二螺钉和第三螺钉，所述第一侧边设置有第一通孔，所述第二侧边设置有第二通孔，所述第一安装座设置有与所述第一通孔对应的第一螺纹孔，所述第二安装座设置有与所述第二通孔对应的第二螺纹孔，所述第二螺钉穿设于所述第一通孔且螺纹连接于所述第一螺纹孔，所述第三螺钉穿设于所述第二通孔且螺纹连接于所述第二螺纹孔。

15、作为一种运动台的优选技术方案，所述底板上还安装有第一配重块和第二配重块，所述第一配重块与所述第一安装座设置于所述底板沿第一方向的两端，所述第二配重块与所述第二安装座设置于所述底板沿第二方向的两端，所述第一配重块和所述第二配重块用于调节所述运动台的质心，以使所述质心与所述运动台的中心重合。

16、作为一种运动台的优选技术方案，所述第一侧边和所述第二侧边分别设置有第一定位孔和第二定位孔，所述第一安装座和所述第二安装座分别设置有第三定位孔和第四定位孔，销钉能够穿设于所述第一定位孔和所述第三定位孔，且销钉能够穿设于第二定位孔和第四定位孔。

17、作为一种运动台的优选技术方案，所述第一定位孔和第二定位孔二者中的一个为腰形孔，另一个为圆形孔，所述圆形孔的圆心与所述腰形孔的中心线的延长线重合。

18、另一方面，提供一种位移测量系统，包括第一干涉仪和第二干涉仪和以上任一方案所述的运动台，所述第一干涉仪用于检测所述运动台在第一方向上的位移，所述第二干涉仪用于检测所述运动台在第二方向上的位移。

19、本实用新型的有益效果为：

20、本实用新型提供一种运动台，组装时，先将正交工装安装于第一安装座和第二安装座上，然后将x向长条镜的未设置第一反光面的一侧贴合于第一侧边，然后x向长条镜固定在第一安装座上，将y向长条镜的未设置第二反光面的一侧贴合于第二侧边，然后y向长条镜固定在第二安装座上，由于第一侧边和第二侧边垂直设置，因此x向长条镜和y向长条镜为正交状态，提高了x向长条镜和y向长条镜的正交精度，且降低了安装的操作难度。

21、本实用新型还提供一种位移测量系统，通过第一干涉仪检测第一反光面的位移，通过第二干涉仪检测第二反光面的位移，由于第一反光面和第二反光面的正交精度较高，因此提高了对运动台的测量精度，进而实现了对运动台的精密控制。

技术特征：

1.一种运动台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，还包括第一限位块(51)，所述第一限位块(51)安装于所述第一安装座(21)的侧壁，且所述第一限位块(51)止挡所述x向长条镜(41)设置所述第一反光面的一侧；和/或

3.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，还包括第三限位块(61)，所述第三限位块(61)包括第一横边(611)、第一竖边(612)和第二横边(613)，所述第一横边(611)、所述第一竖边(612)和所述第二横边(613)形成工字型，所述第一横边(611)连接于所述第一安装座(21)的上表面，所述第一竖边(612)止挡所述x向长条镜(41)背离所述第一反光面的一侧，所述第二横边(613)相对所述第一竖边(612)向靠近所述x向长条镜(41)的一侧凸设有第一压接部，所述第一压接部能够压接所述x向长条镜(41)的上表面；和/或

4.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述x向长条镜(41)粘合于所述第一安装座(21)的上表面，所述y向长条镜(42)粘合于所述第二安装座(22)的上表面。

5.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述第一安装座(21)和第二安装座(22)分别通过第一螺钉安装于所述底板(1)上；

6.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，还包括第二螺钉和第三螺钉，所述第一侧边(31)设置有第一通孔(311)，所述第二侧边(32)设置有第二通孔(321)，所述第一安装座(21)设置有与所述第一通孔(311)对应的第一螺纹孔，所述第二安装座(22)设置有与所述第二通孔(321)对应的第二螺纹孔，所述第二螺钉穿设于所述第一通孔(311)且螺纹连接于所述第一螺纹孔，所述第三螺钉穿设于所述第二通孔(321)且螺纹连接于所述第二螺纹孔。

7.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述底板(1)上还安装有第一配重块(71)和第二配重块(72)，所述第一配重块(71)与所述第一安装座(21)设置于所述底板(1)沿第一方向的两端，所述第二配重块(72)与所述第二安装座(22)设置于所述底板(1)沿第二方向的两端，所述第一配重块(71)和所述第二配重块(72)用于调节所述运动台的质心，以使所述质心与所述运动台的中心重合。

8.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述第一侧边(31)和所述第二侧边(32)分别设置有第一定位孔(312)和第二定位孔(322)，所述第一安装座(21)和所述第二安装座(22)分别设置有第三定位孔和第四定位孔，销钉能够穿设于所述第一定位孔(312)和所述第三定位孔，且销钉能够穿设于所述第二定位孔(322)和所述第四定位孔。

9.根据权利要求8所述的运动台，其特征在于，所述第一定位孔(312)和所述第二定位孔(322)二者中的一个为腰形孔，另一个为圆形孔，所述圆形孔的圆心与所述腰形孔的中心线的延长线重合。

10.一种位移测量系统，其特征在于，包括第一干涉仪(10)和第二干涉仪(20)和如权利要求1-9任一项所述的运动台，所述第一干涉仪(10)用于检测所述运动台在第一方向上的位移，所述第二干涉仪(20)用于检测所述运动台在第二方向上的位移。

技术总结
本技术涉及高速激光干涉测量技术领域，公开一种运动台及位移测量系统。其中运动台包括底板、第一安装座、第二安装座、正交工装、X向长条镜和Y向长条镜。底板上设置有第一安装座和第二安装座；正交工装安装于第一安装座和第二安装座上，正交工装设置有相互垂直的第一侧边和第二侧边；X向长条镜一侧设置有第一反光面，X向长条镜的另一侧贴合于第一侧边且安装于第一安装座上；Y向长条镜的一侧设置有第二反光面，Y向长条镜的另一侧贴合于第二侧边且安装于第二安装座上。本技术提高了X向长条镜和Y向长条镜的正交精度，且降低了安装的操作难度，提高了对运动台的测量精度，进而实现了对运动台的精密控制。

技术研发人员：尉良敏,郝凌凌,孙丰宁
受保护的技术使用者：上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日：20230516
技术公布日：2024/1/15