一种晶圆测试探针台的制作方法

本技术属于探针台，更具体地说，特别涉及一种晶圆测试探针台。

背景技术：

1、晶圆在进行测试时，一般会用到相应的刺针与晶圆本体接触后通电来实现对晶圆的测试作业，而其在进行探针连接时，由于缺乏有效的自动化调节标记结构，使得晶圆在进行测试时需要人工校准位置，容易导致探刺不顺利，存在着局限性。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆测试探针台，以解决现有的在进行探针连接时，由于缺乏有效的自动化调节标记结构，使得晶圆在进行测试时需要人工校准位置，容易导致探刺不顺利，存在着局限性的问题。

2、本实用新型一种晶圆测试探针台的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

3、一种晶圆测试探针台，包括支架，支架的左侧纵向构件的左侧安装有泵机，且支架的底端安装有电机，电机的顶端输出轴向上穿过支架，并凸出支架，且电机的顶端输出轴上安装有座体，座体的顶端面上呈环形阵列开设有吸孔，吸孔与泵机相匹配。

4、进一步的，所述底座的顶端面上安装有电动推杆a，电动推杆a共设有四处，且四处电动推杆a分别安装在底座顶端面的四角位置。

5、进一步的，所述支架固定连接在底座的顶端面上，底座的底端面上四角位置均固定连接有支脚，底座与支脚共同组成了承载结构。

6、进一步的，所述电动推杆a的顶端面上安装有支撑架，电动推杆a与支撑架共同组成了托举结构。

7、进一步的，所述导轨中所开设的横向槽内部滑动连接有移动座，移动座的上下两侧均固定连接有滑块，且移动座的前端安装有电动推杆c，电动推杆c的前端安装有安装板，安装板的后侧呈直线阵列固定连接有导杆，安装板的前端安装有安装架，安装架的外侧安装有控制器，控制器的底端安装有标记灯，且安装架的底端安装有刺针。

8、进一步的，所述支撑架的顶端固定连接有导轨，导轨的内部开设有横向槽，且该横向槽的内部安装有电动推杆b。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、1、在当晶圆片放置到座体之上时，可以通过启动安装在支架外侧的泵机来通过软管从座体中所开设的吸孔的内部将晶圆片与座体之间的空气进行抽出，使得吸孔可以通过吸气产生负压来实现对晶圆片的快速限位作业，而在当需要对晶圆片需要进行旋转调整时，还可以通过启动安装在支架底端的电机对座体进行转动驱动，并通过座体带动着被吸附限位在座体之上的晶圆片进行缓慢的旋转调整，该设计可以根据当前所需对晶圆片测试位置的不同进行快速的自动化调整，进而达到代替人工提高检测效率的目的。

11、2、在当需要对晶圆片进行通电测试时，可以通过启动安装在底座顶端的电动推杆a来对支撑架进行推动，并通过支撑架纵向位置的调整来同步的带动着刺针进行纵向的位置调整，然后再通过启动安装在导轨中的电动推杆b来将移动座在导轨中的横向位置进行调整，此时再通过移动座带动着位于安装板前端的安装架进行横向位置调整，而在当安装架的横向位置调整完成后，再通过启动安装在控制器底端的标记灯来对当前刺针需要进行连接通电的位置进行标记，该设计可以使得刺针在与晶圆片进行连接时更加精准，进而达到更加实用的目的，然后再通过启动安装在底座顶端的电动推杆a来将支撑架向下驱动使得安装在安装架底端的刺针与晶圆片进行连接即可，进而达到更加方便于后续进行检测的目的。

技术特征：

1.一种晶圆测试探针台，其特征在于：包括支架(3)，支架(3)的左侧纵向构件的左侧安装有泵机(4)，且支架(3)的底端安装有电机(5)，电机(5)的顶端输出轴向上穿过支架(3)，并凸出支架(3)，且电机(5)的顶端输出轴上安装有座体(6)，座体(6)的顶端面上呈环形阵列开设有吸孔(7)，吸孔(7)与泵机(4)相匹配。

2.如权利要求1所述一种晶圆测试探针台，其特征在于：所述支架(3)固定连接在底座(1)的顶端面上，底座(1)的底端面上四角位置均固定连接有支脚(2)，底座(1)与支脚(2)共同组成了承载结构。

3.如权利要求2所述一种晶圆测试探针台，其特征在于：所述底座(1)的顶端面上安装有电动推杆a(8)，电动推杆a(8)共设有四处，且四处电动推杆a(8)分别安装在底座(1)顶端面的四角位置。

4.如权利要求3所述一种晶圆测试探针台，其特征在于：所述电动推杆a(8)的顶端面上安装有支撑架(9)，电动推杆a(8)与支撑架(9)共同组成了托举结构。

5.如权利要求4所述一种晶圆测试探针台，其特征在于：所述支撑架(9)的顶端固定连接有导轨(10)，导轨(10)的内部开设有横向槽，且该横向槽的内部安装有电动推杆b(11)。

6.如权利要求5所述一种晶圆测试探针台，其特征在于：所述导轨(10)中所开设的横向槽内部滑动连接有移动座(12)，移动座(12)的上下两侧均固定连接有滑块(13)，且移动座(12)的前端安装有电动推杆c(14)，电动推杆c(14)的前端安装有安装板(15)，安装板(15)的后侧呈直线阵列固定连接有导杆(16)，安装板(15)的前端安装有安装架(17)，安装架(17)的外侧安装有控制器(18)，控制器(18)的底端安装有标记灯(19)，且安装架(17)的底端安装有刺针(20)。

技术总结
本技术提供一种晶圆测试探针台，涉及探针台技术领域，电机的顶端输出轴向上穿过支架，并凸出支架，且电机的顶端输出轴上安装有座体，解决现有的在进行探针连接时，由于缺乏有效的自动化调节标记结构，使得晶圆在进行测试时需要人工校准位置，容易导致探刺不顺利，存在着局限性的问题，在当安装架的横向位置调整完成后，再通过启动安装在控制器底端的标记灯来对当前刺针需要进行连接通电的位置进行标记，该设计可以使得刺针在与晶圆片进行连接时更加精准，进而达到更加实用的目的，然后再通过启动安装在底座顶端的电动推杆A来将支撑架向下驱动使得安装在安装架底端的刺针与晶圆片进行连接即可，进而达到更加方便于后续进行检测的目的。

技术研发人员：丁俊华,刘名臣
受保护的技术使用者：深圳市森东宝科技有限公司
技术研发日：20230527
技术公布日：2024/1/15