一种用于单晶硅硅棒表面检测设备的制作方法

本技术涉及单晶硅检测，具体为一种用于单晶硅硅棒表面检测设备。

背景技术：

1、随着光伏行业及半导体行业的快速发展，单晶硅作为一种重要的原材料，其需求量、产量也在逐年提升。单晶硅的制备需要一系列的工序来完成，经过拉晶、截断、检验、外圆磨削、平面磨削等工序后再将单晶硅棒进行线切片，加工出可用于光伏电池片或半导体基体的硅片。在各工序中，硅棒的检验是一项重要的工序，对硅棒的质量把控起到关键的作用。

2、单晶硅棒，是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的单晶硅产品，用于制造单晶硅片。在对单晶硅硅棒检测时，需要对单晶硅硅棒表面进行检测，检测表面是否存在缺陷裂纹，故而需要对硅棒进行旋转，以便对不同表面进行检测。目前，一般通过人工手动方式实现单晶硅棒的旋转，操作不便，劳动强度大，且容易造成磕碰而使单晶硅棒损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座、固定座、移动座、转动架以及固定架，所述底座整体设置为条形结构，所述固定座、移动座均设置在底座上侧；所述固定座在底座的一端固定设置，在底座上表面设置有滑槽，所述移动座下部安装在滑槽中，并沿着滑槽长度方向移动；所述固定座上部竖直设置有安装板，转动架设置在安装板朝向移动座的一侧，所述转动架上设置有夹盘，所述夹盘上设置有夹块；所述安装板背向移动座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转动架相连；所述移动座上部设置有固定板，所述固定架设置在固定板朝向固定座的一侧。

3、优选的，所述固定座侧面设置有螺杆，所述移动座中对应设置有螺筒，所述螺杆配合从螺筒中穿过；所述螺杆由固定座内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆设置在固定座侧面的中间位置，所述滑槽并排设置有两道；在移动座下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽中。

4、优选的，所述转动架、夹盘均设置为圆盘状结构，在夹盘上表面设置有若干道夹槽，所述夹块对应安装在夹槽中。

5、优选的，所述夹槽沿着夹盘的径向方向均匀设置，所述夹槽中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块相连；所述夹块截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘的中轴线设置；所述夹块的下底面设置有缓冲垫。

6、优选的，所述固定板下部通过连接块与移动座固定连接，所述固定架通过转轴与固定板连接；所述固定架设置为圆盘状结构，在固定架上设置有固定盘，所述固定盘内设置有固定槽；所述固定架与转动架中轴线相互重合。

7、优选的，所述固定盘设置为圆柱形结构，固定槽设置为倒圆台状凹槽；所述固定架上设置有限位槽，所述固定盘通过限位块卡在限位槽中；所述固定盘、固定架中轴线相互重合。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置夹盘来固定住单晶硅的一端，并通过固定架来抵住单晶硅硅棒的另一端；夹盘能够通过电机实现转动，同时移动座能够带动固定架前后移动，以适应不同长度的硅棒使用；针对不同直径的硅棒，夹具可以灵活调整以适应夹持。

技术特征：

1.一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：包括底座（1）、固定座（2）、移动座（3）、转动架（4）以及固定架（6），所述底座（1）整体设置为条形结构，所述固定座（2）、移动座（3）均设置在底座（1）上侧；所述固定座（2）在底座（1）的一端固定设置，在底座（1）上表面设置有滑槽（11），所述移动座（3）下部安装在滑槽（11）中，并沿着滑槽（11）长度方向移动；所述固定座（2）上部竖直设置有安装板（21），转动架（4）设置在安装板（21）朝向移动座（3）的一侧，所述转动架（4）上设置有夹盘（41），所述夹盘（41）上设置有夹块（42）；所述安装板（21）背向移动座（3）的一侧设置有驱动电机（5），所述驱动电机（5）的输出轴与转动架（4）相连；所述移动座（3）上部设置有固定板（32），所述固定架（6）设置在固定板（32）朝向固定座（2）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定座（2）侧面设置有螺杆（22），所述移动座（3）中对应设置有螺筒（31），所述螺杆（22）配合从螺筒（31）中穿过；所述螺杆（22）由固定座（2）内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆（22）设置在固定座（2）侧面的中间位置，所述滑槽（11）并排设置有两道；在移动座（3）下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽（11）中。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述转动架（4）、夹盘（41）均设置为圆盘状结构，在夹盘（41）上表面设置有若干道夹槽（43），所述夹块（42）对应安装在夹槽（43）中。

4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述夹槽（43）沿着夹盘（41）的径向方向均匀设置，所述夹槽（43）中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块（42）相连；所述夹块（42）截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘（41）的中轴线设置；所述夹块（42）的下底面设置有缓冲垫（44）。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定板（32）下部通过连接块（33）与移动座（3）固定连接，所述固定架（6）通过转轴与固定板（32）连接；所述固定架（6）设置为圆盘状结构，在固定架（6）上设置有固定盘（7），所述固定盘（7）内设置有固定槽（71）；所述固定架（6）与转动架（4）中轴线相互重合。

6.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定盘（7）设置为圆柱形结构，固定槽（71）设置为倒圆台状凹槽；所述固定架（6）上设置有限位槽（61），所述固定盘（7）通过限位块卡在限位槽（61）中；所述固定盘（7）、固定架（6）中轴线相互重合。

技术总结
本技术涉及单晶硅检测技术领域，具体公开了一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座、固定座、移动座、转动架以及固定架，所述底座整体设置为条形结构，所述固定座、移动座均设置在底座上侧；所述固定座在底座的一端固定设置，在底座上表面设置有滑槽，所述移动座下部安装在滑槽中，并沿着滑槽长度方向移动；所述固定座上部竖直设置有安装板，转动架设置在安装板朝向移动座的一侧，所述转动架上设置有夹盘，所述夹盘上设置有夹块；所述安装板背向移动座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转动架相连；所述移动座上部设置有固定板，所述固定架设置在固定板朝向固定座的一侧；针对硅棒夹具可以灵活调整以适应夹持。

技术研发人员：耿洪燕,包福军,郝继军,李永滔,郭华,张志强,赵光远,陈媛媛
受保护的技术使用者：包头市检验检测中心
技术研发日：20230605
技术公布日：2024/1/15