一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置的制作方法

本技术涉及光学精密测量，尤其涉及一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置。

背景技术：

1、根据jjf1064-2004《坐标测量机校准规范》附录b的要求，需要对大型三坐标的位置示值误差进行校准。现行业中用激光干涉仪校准三坐标时，需要安装反光镜，一般将反光镜固定在激光干涉仪的z轴测头安装座内，在此过程中需要拆卸测头；校准完成后，需将拆解后测头安装回测头安装座内，这种方式后期测头安装麻烦，而且安装后测头调试时间长，非专业人士调试精度无法保证，影响后期检测的精度。且在实际应用中，为了避免拆卸测量头导致三坐标示值误差偏大，校准过程中不拆卸测量头，而不拆卸测量头无法安装反射镜。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，结构简单，便于操作。

2、本实用新型的目的是这样实现的：

3、一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，它包括测量轴、固定板、移动板、弹簧伸缩杆、万向调节器和反射镜夹具，所述测量轴上设有导轨，所述导轨上设有滑块滑动连接移动板，所述测量轴相对移动板的另一端设有固定板，所述固定板和移动板上对应位置分别设有上下两个弹簧伸缩杆，上下两个弹簧伸缩杆上设置夹板；所述固定板相对移动板的另一侧面设有万向调节器，通过万向调节器连接反射镜夹具；所述反射镜夹具包括u型板，所述u型板包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧，所述套杆内插入推杆，两个推杆的端部设置推板连接，在推板和u型板的横板之间装夹反射镜。

4、进一步地，所述固定板和移动板上对应位置分别设有上下两个内孔，所述固定板和移动板的内孔开口方向相对设置，内孔内均插入弹簧伸缩杆。

5、进一步地，所述万向调节器包括外衬套、万向球头和锁紧装置，所述外衬套固定在固定板上，外衬套内设置万向球头，所述万向球头通过连接件连接反射镜夹具。

6、进一步地，所述外衬套上还设有锁紧装置，用于锁紧万向球头。

7、进一步地，所述滑块上设有锁止机构。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型的夹持装置由反射镜夹具、万向调节器、锁紧装置、弹簧伸缩杆和滑块组成，反射镜可以通过反射镜夹具内弹簧紧固在反射镜夹具上，万向球和锁紧装置可以调节反射镜角度，万向球和锁紧装置具有任意调节角度的功能；反射镜夹具具有直接紧固反射镜的功能，不需要使用圆柱棒；弹簧伸缩杆可以使整套夹具紧固在测量轴上，在移动过程中，不会使之滑落；滑块和锁紧装置具有应对不同型号尺寸的三坐标功能，根据不同型号的三坐标测量轴宽度，右侧锁紧装置和滑块可以调节夹紧块间距，利用弹簧伸缩杆和两块用于夹紧测量轴导轨的夹紧块紧固在测轴上。本实用新型能够有效保证光学组件的安装精度。

技术特征：

1.一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：它包括测量轴（1）、固定板（2）、移动板（3）、弹簧伸缩杆（4）、万向调节器（5）和反射镜夹具（6），所述测量轴（1）上设有导轨（11），所述导轨（11）上设有滑块（12）滑动连接移动板（3），所述测量轴（1）相对移动板（3）的另一端设有固定板（2），所述固定板（2）和移动板（3）上对应位置分别设有上下两个弹簧伸缩杆（4），上下两个弹簧伸缩杆（4）上设置夹板；所述固定板（2）相对移动板（3）的另一侧面设有万向调节器（5），通过万向调节器（5）连接反射镜夹具（6）；所述反射镜夹具（6）包括u型板（61），所述u型板（61）包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧（63），所述套杆内插入推杆（62），两个推杆（62）的端部设置推板（64）连接，在推板（64）和u型板（61）的横板之间装夹反射镜（7）。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：所述固定板（2）和移动板（3）上对应位置分别设有上下两个内孔，所述固定板（2）和移动板（3）的内孔开口方向相对设置，内孔内均插入弹簧伸缩杆（4）。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：所述万向调节器（5）包括外衬套（51）、万向球头（52）和锁紧装置（53），所述外衬套（51）固定在固定板（2）上，外衬套（51）内设置万向球头（52），所述万向球头（52）通过连接件连接反射镜夹具（6）。

4.根据权利要求3所述的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：所述外衬套（51）上还设有锁紧装置（53），用于锁紧万向球头（52）。

5.根据权利要求1所述的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：所述滑块（12）上设有锁止机构。

技术总结
本技术涉及的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，它包括测量轴、固定板、移动板、弹簧伸缩杆、万向调节器和反射镜夹具，所述测量轴上设有导轨，所述导轨上设有滑块滑动连接移动板；所述固定板相对移动板的另一侧面设有万向调节器，通过万向调节器连接反射镜夹具；所述反射镜夹具包括U型板，所述U型板包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧，所述套杆内插入推杆，两个推杆的端部设置推板连接，在推板和U型板的横板之间装夹反射镜。本技术有效保证光学组件的安装精度以及测量精度。

技术研发人员：董盈钧,张斌,殷新,沈非
受保护的技术使用者：江阴市计量测试检定所
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15