一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统

本技术涉及高灵敏度测量系统，尤其是涉及一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统。

背景技术：

1、柔性薄膜压电传感器是一种基于压电效应的传感器，逐渐被广泛应用于生物医学、智能机器人、健康监测等领域的新型传感器。它具有重量轻、体积小、灵敏度高、可靠性强、易制备等优点，在很多场合都可以取代传统的硬性传感器，其灵敏度与压力大小成正比。所以在实际应用中，需要对柔性薄膜压电传感器进行灵敏度测试，以保证其质量和可靠性。

2、在很多工业和科学研究领域，采用压电传感器进行物理量测量已经成为标配。例如，在机械工程、航空航天和医疗等领域，压电传感器的灵敏度对整个器件的性能具有非常重要的影响。压电传感器常被用于测量机械、气体或液体的压力、流量以及重力等物理量，感受微弱信号就需要传感器要由较高的灵敏度；在健康检测领域可以感应到人体产生的微弱机械信号，并利用压电效应将其转化成电压信号，所以对传感器的灵敏度要求极高。

3、压电传感器灵敏度的高低直接影响到测量结果的准确度。压电传感器灵敏度越高，意味着可以检测到更小的压力变化，并给出更准确的测量结果。如果灵敏度较低，则可能会导致测量结果的误差增加，从而降低整个器件的性能和可靠性。另一方面，由于压电传感器在实现微小压力测量时具有优势，灵敏度的提高可使得器件能够实现更高的灵敏度和分辨率，进而扩大其应用范围。

4、目前常用的柔性薄膜压电传感器灵敏度测试方法主要是采用机械式压力计或者石英晶体谐振器等设备对其进行测试。但这些测试方法存在着一定的缺陷，如精度不高、操作复杂等问题。因此，需要提供一种新型的柔性薄膜压电传感器灵敏度测量系统，以解决现有测试方法的缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，具有十分优良的测试性能，可以高效、高精度、稳定的测量出薄膜型传感器的灵敏度及分辨率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，包括气流源、质量流量控制器、高灵敏度测试平台、pzt压电薄膜传感器、气流导向管、x轴微调旋钮、y轴微调旋钮、z轴微调旋钮、引线、信号采集器和信号显示终端；所述气流源和质量流量控制器通过所述引线进行连接，所述质量流量控制器与气流导向管通过所述引线进行连接，所述pzt压电薄膜传感器固定在所述高灵敏度测试平台顶部的中心位置处；所述x轴微调旋钮、y轴微调旋钮均分别固定在所述高灵敏度测试平台侧面的两个横向调节杆上，所述z轴微调旋钮固定在所述高灵敏度测试平台侧面的纵向调节杆上；所述气流导向管通过固定夹板安装在所述纵向调节杆上，且位于所述高灵敏度测试平台的上方；所述高灵敏度测试平台通过所述引线与所述信号采集器进行连接，所述信号采集器通过所述引线与所述信号显示终端进行连接。

3、优选的，所述pzt压电薄膜传感器的长和宽均为8mm，厚度为80um。

4、优选的，所述x轴微调旋钮和y轴微调旋钮所在的所述横向调节杆均水平固定在所述高灵敏度测试平台的侧面，所述z轴微调旋钮所在的所述纵向调节杆竖直固定在所述高灵敏度测试平台的侧面。

5、优选的，所述固定夹板通过高精度滑块连接在所述纵向调节杆上，所述z轴微调旋钮安装在所述高精度滑块的两侧，所述固定夹板的侧面安装有锁紧旋钮。

6、因此，本实用新型采用上述一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，通过改变气流源对pzt压电薄膜传感器施加的气流大小来测试其灵敏度，可以改变pzt压电薄膜传感器与气流的接触面积，可以降低常用固定方式对传感器灵敏度测试带来的不稳定影响，从而满足各种情况的测量需求。

7、下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

技术特征：

1.一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，其特征在于：包括气流源、质量流量控制器、高灵敏度测试平台、pzt压电薄膜传感器、气流导向管、x轴微调旋钮、y轴微调旋钮、z轴微调旋钮、引线、信号采集器和信号显示终端；所述气流源和质量流量控制器通过所述引线进行连接，所述质量流量控制器与气流导向管通过所述引线进行连接，所述pzt压电薄膜传感器固定在所述高灵敏度测试平台顶部的中心位置处；所述x轴微调旋钮、y轴微调旋钮均分别固定在所述高灵敏度测试平台侧面的两个横向调节杆上，所述z轴微调旋钮固定在所述高灵敏度测试平台侧面的纵向调节杆上；所述气流导向管通过固定夹板安装在所述纵向调节杆上，且位于所述高灵敏度测试平台的上方；所述高灵敏度测试平台通过所述引线与所述信号采集器进行连接，所述信号采集器通过所述引线与所述信号显示终端进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，其特征在于：所述pzt压电薄膜传感器的长和宽均为8mm，厚度为80um。

3.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，其特征在于：所述x轴微调旋钮和y轴微调旋钮所在的所述横向调节杆均水平固定在所述高灵敏度测试平台的侧面，所述z轴微调旋钮所在的所述纵向调节杆竖直固定在所述高灵敏度测试平台的侧面。

4.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，其特征在于：所述固定夹板通过高精度滑块连接在所述纵向调节杆上，所述z轴微调旋钮安装在所述高精度滑块的两侧，所述固定夹板的侧面安装有锁紧旋钮。

技术总结
本技术公开了一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，包括气流源，气流源、质量流量控制器和高灵敏度测试平台通过引线进行连接，pzt压电薄膜传感器固定在高灵敏度测试平台顶部的中心位置处；高灵敏度测试平台的侧面设置有三方向的调节旋钮；高灵敏度测试平台通过引线与信号采集器进行连接，信号采集器通过引线与信号显示终端进行连接。本技术采用上述的一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，通过改变气流源对pzt压电薄膜传感器施加的气流大小来测试其灵敏度，可以改变pzt压电薄膜传感器与气流的接触面积，可以降低常用固定方式对传感器灵敏度测试带来的不稳定影响，从而满足各种情况的测量需求。

技术研发人员：郑尚岗,陈海荣,任明将,马文慧,张一建,薛民新,付浩,李勇,黄瑞
受保护的技术使用者：宁波大学
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/1/15