一种激光干涉仪测量设备的制作方法

本技术涉及半导体，尤其涉及一种激光干涉仪测量设备。

背景技术：

1、随着信息科学半导体技术的发展和需求，对半导体设备的要求越来越高，同时，对高精度测量的要求也越来越高，目前纳米级精度的检测通常用激光干涉仪来实现。激光干涉仪以光波长为测量尺度，具有超高分辨率的测量能力，是测量领域中最精密的测量仪器之一。国产激光干涉仪常应用在大气环境中对待测物体进行测量，但是，由于大气环境下，激光束容易受到空气波动和大气中气压变化的影响，对激光干涉仪的测量精度产生不良影响。

2、基于此，亟需一种激光干涉仪测量设备，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种激光干涉仪测量设备，真空腔可以保持一定真空度，为干涉仪模块提供良好的工作环境，提高干涉仪模块对待测量物体的检测精度。

2、为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种激光干涉仪测量设备，包括：

4、真空室，其设置有真空腔；

5、待测量组件，其设置于所述真空腔内，所述待测量组件包括反射镜和待测量物体，所述反射镜安装于待测量物体的侧壁；

6、干涉仪模块和激光器模块，所述激光器模块与所述干涉仪模块连接，所述激光器模块用于向所述干涉仪模块发射光束；所述干涉仪模块设置于所述真空腔内，所述干涉仪模块对应所述反射镜设置，所述干涉仪模块用于测量所述反射镜的位移。

7、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述干涉仪模块包括基座、干涉仪和准直器，所述干涉仪和所述准直器安装于所述基座上，所述基座连接于所述真空腔的侧壁。

8、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述基座的材质为陶瓷。

9、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述激光器模块设置于所述真空室的外侧；

10、所述激光干涉仪测量设备还包括光纤连接模块，其密封安装于所述真空腔的侧壁，所述激光器模块通过所述光纤连接模块连接于所述干涉仪模块。

11、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述激光器模块包括底板和安装于所述底板上的激光器、导光组件和耦合器，所述激光器、所述导光组件和所述耦合器依次设置，所述激光器用于发射所述光束，所述导光组件将所述光束导向至所述耦合器，所述耦合器用于将所述光束耦合至所述光纤连接模块。

12、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述激光器为双频激光器。

13、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述光纤连接模块包括第一光纤法兰和保偏光纤，所述第一光纤法兰密封连接于所述真空腔的侧壁，所述保偏光纤密封穿设于所述第一光纤法兰，且所述保偏光纤一端连接于所述耦合器，另一端连接于所述干涉仪模块。

14、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述光纤连接模块包括第二光纤法兰和多模光纤，所述第二光纤法兰密封连接于所述真空腔的侧壁，所述多模光纤密封穿设于所述第二光纤法兰，且所述多模光纤一端连接于轴卡，另一端连接于所述干涉仪模块。

15、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述保偏光纤的长度小于1米。

16、作为一种激光干涉仪测量设备的优选技术方案，所述反射镜为多个，多个反射镜安装于所述待测量物体的不同侧壁上，所述干涉仪模块为多个，多个所述干涉仪模块与多个所述反射镜一一对应。

17、本实用新型的有益效果为：

18、本实用新型提供一种激光干涉仪测量设备，其中，干涉仪模块和待测量组件均位于真空室内，激光器模块向干涉仪模块发射光束，干涉仪模块用于测量反射镜的位移，进而实现对待测量物体进行测量。本实用新型中，由于干涉仪模块和待测量物体均位于真空环境下，真空腔可以保持一定真空度，为干涉仪模块提供良好的工作环境，可以大大优化环境颗粒、气流抖动和空气折射率变化等因素对高精密测量的影响，真空腔内无气流波动，且气压保持恒定，因此提高了干涉仪模块对待测量物体的检测精度。

技术特征：

1.一种激光干涉仪测量设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述干涉仪模块(3)包括基座(31)、干涉仪(32)和准直器(33)，所述干涉仪(32)和所述准直器(33)安装于所述基座(31)上，所述基座(31)连接于所述真空腔(11)的侧壁。

3.根据权利要求2所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述基座(31)的材质为陶瓷。

4.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述激光器模块(4)设置于所述真空室(1)的外侧；

5.根据权利要求4所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述激光器模块(4)包括底板(41)和安装于所述底板(41)上的激光器(42)、导光组件(43)和耦合器(44)，所述激光器(42)、所述导光组件(43)和所述耦合器(44)依次设置，所述激光器(42)用于发射所述光束，所述导光组件(43)将所述光束导向至所述耦合器(44)，所述耦合器(44)用于将所述光束耦合至所述光纤连接模块(5)。

6.根据权利要求5所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述激光器(42)为双频激光器。

7.根据权利要求5所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述光纤连接模块(5)包括第一光纤法兰(51)和保偏光纤，所述第一光纤法兰(51)密封连接于所述真空腔(11)的侧壁，所述保偏光纤密封穿设于所述第一光纤法兰(51)，且所述保偏光纤一端连接于所述耦合器(44)，另一端连接于所述干涉仪模块(3)。

8.根据权利要求4所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述光纤连接模块(5)包括第二光纤法兰(52)和多模光纤，所述第二光纤法兰(52)密封连接于所述真空腔(11)的侧壁，所述多模光纤密封穿设于所述第二光纤法兰(52)，且所述多模光纤一端连接于轴卡(6)，另一端连接于所述干涉仪模块(3)。

9.根据权利要求7所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述保偏光纤的长度小于1米。

10.根据权利要求1所述的激光干涉仪测量设备，其特征在于，所述反射镜(21)为多个，多个反射镜(21)安装于所述待测量物体(22)的不同侧壁上，所述干涉仪模块(3)为多个，多个所述干涉仪模块(3)与多个所述反射镜(21)一一对应。

技术总结
本技术涉及半导体技术领域，公开一种激光干涉仪测量设备。其中激光干涉仪测量设备包括真空室、待测量组件、干涉仪模块和激光器模块。真空室设置有真空腔；待测量组件设置于真空腔内，待测量组件包括反射镜和待测量物体，反射镜安装于待测量物体的侧壁；激光器模块与干涉仪模块连接，激光器模块用于向干涉仪模块发射光束；干涉仪模块设置于真空腔内，干涉仪模块对应反射镜设置，干涉仪模块用于测量反射镜的位移。本技术中，真空腔可以保持一定真空度，为干涉仪模块提供良好的工作环境，可以大大优化环境颗粒、气流抖动和空气折射率变化等因素对高精密测量的影响，因此提高了干涉仪模块对待测量物体的检测精度。

技术研发人员：张晨
受保护的技术使用者：上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/1/15