分选机及其测压装置的制作方法

本技术属于芯片分选，特别涉及一种分选机及其测压装置。

背景技术：

1、芯片在出厂之前，需要对其性能进行测试，其中在压力测试时，测压装置的伺服电机驱动测压装置的压头结构朝向芯片运动，压头结构下压芯片，此时，可以通过读取伺服电机扭矩值来确定输出力(测试压力)。当下压力大于芯片可承受最大下压力时，为防止芯片过压，会采用硬停(hardstop)的方式进行硬限位，但此时，通过读取扭矩值确定的输出力包括了hardstop产生的分力，无法确定芯片所受实际下压力。例如，当最大下压力为100牛，而实际下压力为110牛时，采用硬停(hardstop)的方式进行硬限位，并产生-20牛的分力，此时，通过读取扭矩值确定的输出力为110牛，无法确定芯片所实际下压力90牛。而且由于电机输出力时会有一定的震动，通过读取电机扭矩监控压力不准确，尤其是压力较小时。此外，当测压装置包括多个压头结构时，无法监控到单个芯片实际所受力。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种测压装置，旨在准确监控待测压物的压力。

2、一种测压装置，用于待测压物，包括：

3、压头结构；以及

4、下压结构，与所述压头结构连接，用于驱动所述压头结构朝向或远离待测压物运动；

5、其中，所述压头结构包括压头座、压头、施压结构和检测结构；

6、所述压头座具有限位侧；

7、所述压头活动设于所述压头座上，所述压头具有位于所述压头座内部的配合部，所述压头座内部具有位于所述压头的运动方向上的限位部，且所述限位部相对于所述配合部更靠近所述限位侧，在所述压头相对于所述压头座朝向或远离待测压物运动的过程中，所述配合部与所述限位部能抵接或分离；

8、所述施压结构位于所述压头座远离所述限位侧的一侧，并与所述压头连接，所述施压结构能控制所述配合部与所述限位部抵接；

9、所述检测结构位于所述压头座远离所述限位侧的一侧，并设于所述压头的运动方向上，所述检测结构能通过获取所述压头施加于待测压物上的压力的反作用力获取所述压头施加于待测压物上的压力。

10、在一个实施例中，所述压头包括能与抽真空装置连通的吸嘴。

11、在一个实施例中，所述测压装置还包括与所述下压结构连接的基板，所述压头结构安装于所述基板上，所述基板、所述检测结构、所述施压结构和所述压头座依次排布。

12、在一个实施例中，所述测压装置还包括与所述下压结构连接的基板，所述施压结构安装于所述基板上，所述施压结构包括致动件、导向件和传动件，所述致动件安装于所述基板上；所述导向件安装于所述基板上，并位于所述致动件的外侧；所述传动件活动套设所述导向件上，并与所述压头连接；所述致动件能控制所述传动件在所述导向件上滑动，以通过所述传动件控制所述配合部与所述限位部抵接。

13、在一个实施例中，所述致动件包括膜片气缸和由膜片气缸驱动的活塞，所述活塞与所述传动件连接；或者

14、所述致动件包括弹簧，所述弹簧的两端分别与所述传动件和所述检测结构抵接，并使得所述配合部与所述限位部抵接。

15、在一个实施例中，所述压头结构还包括浮动结构，所述压头座远离所述限位侧的一侧安装于所述浮动结构上，所述浮动结构安装于所述基板上。

16、在一个实施例中，所述压头结构还包括加热结构和隔热结构，所述浮动结构、所述隔热结构、所述加热结构和所述压头座依次连接。

17、在一个实施例中，所述检测结构位于所述基板和所述致动件之间；

18、所述压头结构还包括环状安装座，所述环状安装座安装于所述基板上，并环绕所述检测结构；

19、所述导向件为若干，若干所述导向件间隔安装于所述环状安装座远离所述基板的一侧；

20、所述压头结构还包括若干安装件，所述压头座通过若干所述安装件安装于所述环状安装座上。

21、在一个实施例中，所述传动件包括运动板，所述运动板活动套设于所述导向件上，所述运动板远离所述基板的一侧具有凸块，所述凸块与所述压头连接，所述致动件能依次通过所述运动板和所述凸块控制所述配合部与所述限位部抵接。

22、本实用新型还提供一种分选机，包括：

23、上述的测压装置，所述压头结构至少为一个；以及

24、测压工位，包括用于承载待测压物的测压台以及凸出至所述测压台外的限位台，其中，当所述下压结构驱动所述压头结构朝向待测压物运动，并使得所述限位侧与所述限位台抵接时，所述压头将待测压物压于所述测压台，所述配合部与所述限位部由抵接状态切换为分离状态，以使得所述施压结构能通过所述压头向待测压物施加压力。

25、在上述测压装置工作时，首先，施压结构向压头施加压力，使得配合部与限位部抵接，从而使得施压结构实现蓄力(此时，压头未压于待测压物上)，然后，下压结构驱动压头结构朝向待测压物运动，使得压头压于待测压物上，在待测压物对压头的反作用力下，配合部与限位部会由抵接状态切换为分离状态，从而施压结构的蓄力可以通过压头施加于待测压物上。根据力的作用具有相互性的原理，通过压头施加于待测压物上的压力(下压力)的反作用力可以作用于位于压头的运动方向上的检测结构上，进而可以通过检测结构获得压头施加于待测压物上的压力(下压力)。需要说明的是，下压力的大小与蓄力的大小大致相同，不完全相同是因为还存在压头自身重力等其他干扰力。

26、在相关技术中，当下压力大于待测压物可承受最大下压力时，为防止待测压物过压，会采用硬停(hardstop)的方式进行硬限位，此时，相关技术中的外置的限位装置会对限位侧施加一个与下压力方向相反的限位力(分力，该分力难以测量)。例如，当最大下压力为100牛，而相关技术中的下压结构实际施加的下压力为110牛时，会采用硬停(hardstop)的方式进行硬限位，对限位侧施加一个-20牛的限位力(分力)，待测压物的实际下压力90牛。此时，采用相关技术中的方法(通过读取下压结构的扭矩值确定输出力的方法)获得的下压力为110牛，无法确定待测压物的实际下压力90牛。而采用上述测压装置进行测压时，在采用硬停(hardstop)的方式进行硬限位时，作用于压头座上的限位力(分力)也不会作用于待测压物上，从而上述测压装置获取压力不会受硬停(hardstop)的影响。而且上述测压装置获取压力不易受电机的震动影响，还可以解决由于电机输出力时会有一定的震动，通过读取电机扭矩监控压力不准确，尤其是压力较小时的问题。因此上述测压装置能准确监控待测压物的压力。此外，当上述测压装置包括多个压头结构时，上述测压装置还可以准确监控到单个待测压物实际所受压力。

技术特征：

1.一种测压装置，用于待测压物，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的测压装置，其特征在于，所述压头包括能与抽真空装置连通的吸嘴。

3.如权利要求1所述的测压装置，其特征在于，所述测压装置还包括与所述下压结构连接的基板，所述压头结构安装于所述基板上，所述基板、所述检测结构、所述施压结构和所述压头座依次排布。

4.如权利要求1所述的测压装置，其特征在于，所述测压装置还包括与所述下压结构连接的基板，所述施压结构安装于所述基板上，所述施压结构包括致动件、导向件和传动件，所述致动件安装于所述基板上；所述导向件安装于所述基板上，并位于所述致动件的外侧；所述传动件活动套设所述导向件上，并与所述压头连接；所述致动件能控制所述传动件在所述导向件上滑动，以通过所述传动件控制所述配合部与所述限位部抵接。

5.如权利要求4所述的测压装置，其特征在于，所述致动件包括膜片气缸和由膜片气缸驱动的活塞，所述活塞与所述传动件连接；或者

6.如权利要求4所述的测压装置，其特征在于，所述压头结构还包括浮动结构，所述压头座远离所述限位侧的一侧安装于所述浮动结构上，所述浮动结构安装于所述基板上。

7.如权利要求6所述的测压装置，其特征在于，所述压头结构还包括加热结构和隔热结构，所述浮动结构、所述隔热结构、所述加热结构和所述压头座依次连接。

8.如权利要求4所述的测压装置，其特征在于，所述检测结构位于所述基板和所述致动件之间；

9.如权利要求4所述的测压装置，其特征在于，所述传动件包括运动板，所述运动板活动套设于所述导向件上，所述运动板远离所述基板的一侧具有凸块，所述凸块与所述压头连接，所述致动件能依次通过所述运动板和所述凸块控制所述配合部与所述限位部抵接。

10.一种分选机，其特征在于，包括：

技术总结
本技术提供一种分选机及其测压装置，测压装置包括相连的压头结构和下压结构，压头结构包括具有限位侧的压头座、活动设于压头座上的压头、施压结构和检测结构；压头活动设于压头座上；压头具有位于压头座内部的配合部，压头座内部具有限位部，且限位部相对于配合部更靠近限位侧，在压头相对于压头座朝向或远离待测压物运动的过程中，配合部与限位部能抵接或分离；施压结构位于压头座远离限位侧的一侧，并与压头连接，施压结构能控制配合部与限位部抵接；检测结构位于压头座远离限位侧的一侧，并设于压头的运动方向上，检测结构通过获取压头施加于待测压物上的压力的反作用力。该测压装置能准确监控待测压物的压力。

技术研发人员：陈正大,徐小霓
受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司
技术研发日：20230724
技术公布日：2024/1/15