晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构的制作方法

一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，特别是一种比常见晶圆混合液循环过滤结构，有更多管路途能过滤完后供应，减少过滤完后，需回成液混出槽再供应，会夹杂成液混出槽内部未过滤完颗粒，产生更大颗粒残留的风险，且改善取样管段避免回送污染的新颖管路结构技术。

背景技术：

1、倚靠二种或二种以上原料入液，混合搅拌反应出特殊溶液，一直到送出供应此溶液的整个生产线，例如供应晶圆研磨机的多项原液配比混合入成液混出槽，成液往晶圆研磨机供应的量产措施，皆仰赖高度自动化管路输送，然而成液混出槽混出成液搅拌混出完成时间、成液在途供应输送时间，跟晶圆研磨机入液研磨完成所费时间，这些前后制程原本应成有一贯稳常地定时承续性，但往往再怎样精准地按时计量安排，还是会有时间差。

2、例如成液混成槽已混合完成完下回成液量，但晶圆研磨机还在研磨上加工过程中打转，无法再接收下回成液马上再加工的情形，因此在原液送入晶圆研磨机的输送管路中，就必然要多设旁路、循环回路及加装暂蓄成液留待补用的成液供应筒，而成液混出槽混出的成液本就应过滤筛除过粗的液内颗粒，以保障成溶液内的粒子质量，况且徒流耗在管路中运转待送中的成液，也会因时间一久，再起结晶变化成更大更粗的水溶内颗粒，造成后续取用研磨质量明显降低的缺失，因此设有晶圆混合液循环过滤管路就极为必要。

3、如图1所示，常见晶圆混合液循环过滤管路，由数只气压单向阀10,11,12,13,14,15,16,17,18,19,20管接一成液混成槽30、一抽送泵40、一组过滤器1、数只成液供应筒60,61,62、一质量计70、一酸碱值测试计71，及一导电度计72而成，以质量计70可测密度、温度的特性，可得以侦测混合液相关数值，成液混出槽30出口连接抽送泵40后，接管分成三路，第一路串接气压单向阀11,15，经质量计70及酸碱值测试计71往气压单向阀17,19，再流进该组过滤器1后，通过气压单向阀18,20送回成液混出槽30，第二路如图2所示，于第一路经气压单向阀17,19送入该组过滤器前，叉分串接导电度计72，再由气压单向阀16送回成液混出槽30，第三路如图3所示，于成液混出槽30出口连接抽送泵40后，不流穿第一路首只的气压单向阀11，直接旁叉流经一气压单向阀10进入一成液供应槽60，复于第一路手只气压单向阀11旁，再旁叉分出各别串经气压单向阀12,13的第一备用及第二备用的成液供应筒61,62，而该组过滤器1为至少两筒过滤单元50,51接管并联的组合体。

4、此结构有以下缺失︰

5、1.第一路及第二路当成液混成槽30在过滤时，会经过酸碱值测试计71，再回成液混成槽30，有极大可能污染成液混成槽30刚混好的药液。

6、2.过滤完后无法直接供应，需回到成液混成槽30后才能供应，有可能会夹杂该些筒60,61,62内未过滤完的颗粒供应。

7、总之，常见晶圆混合液循环过滤管路有过滤流路不足的问题，及生产输送当中，进行品管的酸碱值测试计71的取样液会还回到供应管路中，造成污染，使其虽具过滤性能，但难再提升过滤成效。

8、有鉴于上述种种缺失，本申请积极构思解决。

技术实现思路

0、
技术实现要素：

1、因此，本申请即旨在提供一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，由数只气压单向阀及数只气压三向阀管接一成液混成槽、一抽送泵、一组过滤器、数只成液供应筒、一质量计、一酸碱值测试计、一导电度计，及一收集槽而成，成液混出槽出口连接抽送泵后，接管分成四路，第一路串接首只气压单向阀、前只气压三向阀、中只气压三向阀、气压单向阀，经该组过滤器后，再经过气压单向阀送回成液混出槽，第二路于第一路经气压单向阀送回成液混出槽前，叉分接末只气压三向阀及前旁只气压三向阀改送至一只成液供应筒，第三路于第一路未至该组过滤器的首只气压单向阀的前，经旁叉气压单向阀流过质量计，再分接一中旁只三向气动阀，分出一出向经导电度计、气压单向阀流回成液混成槽，且另叉接中只气压三向阀管接前只气压三向阀的另向管端，以及分出另一出向经酸碱值测试计到收集槽，而第四路由前只气压三向阀未分向该组过滤器的另向，再串接前旁只气压三向阀至成液供应筒，复于第三路经过旁叉气压单向阀旁，再旁叉分出各别串经气压单向阀的第一备用及第二备用的成液供应筒，由此比常见管路使成液混出槽出液过滤时，能借由第一路品管控制第一备用成液供应筒及第二备用成液供应筒内储备成液。或以第二路直接供应，不会有未经过滤颗粒污染送回成液混出槽，达到增添过滤流路提升过滤性能成效，且更能以第三路旁分开通酸碱值测试计以抽检酸碱值，并将酸碱值测试计抽检酸碱值值的检液，直接排弃到收集槽，避免送回污染，此即为本申请的主要目的。

2、至于本申请的详细构造﹑应用原理﹑作用与功效，则参照下列依附图所作的说明即可得到完全的了解。

技术特征：

1.一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，与由气压单向阀进行管路连接不同，其特征在于︰

2.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中该组过滤器为至少两筒过滤单元接管并联的组合体。

3.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中第三路于第一路未至该组过滤器的首只气压单向阀之前，经旁叉气压单向阀流过质量计，于经旁叉气压单向阀流入质量计之前，形成三叉口，此三叉口通往旁叉气压单向阀的另两口端，一口端串接一常开的气压单向阀至质量计，另一口端串接一常闭的气压单向阀并送入至成液供应筒，使此常开的气压单向阀与常闭的气压单向阀相连锁作互斥动作，而使平常由常开的气压单向阀通往质量计的流向，也能改由常闭的气压单向阀切换流入成液供应筒。

技术总结
一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，由数只气压单向阀及数只气压三向阀管接一成液混成槽、一抽送泵、一组过滤器、数只成液供应筒、一质量计、一酸碱值测试计、一导电度计，及一收集槽而成，成液混出槽出口连接抽送泵后，接管分成四路，由此比常见管路增添过滤流路及改善取样管段，达到多方避免回送污染。

技术研发人员：吴濬宇,曾义能
受保护的技术使用者：宸沅国际股份有限公司
技术研发日：20230727
技术公布日：2024/1/25