一种平板式外延设备零点位置校验装置的制作方法

本技术涉及设备零点位置校验领域，具体涉及一种平板式外延设备零点位置校验装置。

背景技术：

1、平板式外延设备在装片、取片过程中均需要先使用零点系统找到基座的零点位置，再根据固定的位置步数，控制旋转轴转动至基座上对应坑的位置。平板式外延产品对厚度均匀性要求极高，很小的位置偏差都可能导致产品的厚度均匀性异常，这就要求零点位置具有很高的重复精度。

2、如何校验零点位置的重复可靠性，一直是实际生产中值得关注的问题，在以往的生产实践中，往往是凭借生产人员肉眼多次反复判定，这种校验方式往往费时费力且不够可靠。

3、因此，需要一种新的技术以解决上述问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中的不足，本实用新型提供了一种平板式外延设备零点位置校验装置，利用激光设备实现对基座零点位置的重复精确校验。

2、为达到上述目的，本实用新型所提供的方案是：一种平板式外延设备零点位置校验装置，包括基座、旋转轴、旋转平台、零点激光组件、激光器、位于旋转平台一侧且与旋转平台间隔一段距离的零点位置卡，

3、所述基座通过中心孔固接在所述旋转轴顶部，基座边缘有一零点位置孔，基座的上表面与旋转轴的轴线垂直，所述旋转平台固接在旋转轴上，位于基座下方，所述零点激光组件固定在基座上方，该零点激光组件发射的激光路径垂直于基座平面且可在基座旋转至固定位置时通过零点位置孔反射，所述激光器固定在旋转平台上，零点位置卡用以承接激光器发射的激光而在该零点位置卡上形成光点。

4、具体地，所述零点位置卡承接激光的侧面为平面，该侧面与激光器出射激光方向垂直。

5、具体地，所述零点激光组件与所述旋转轴电性连接。所述零点激光组件发射激光通过零点位置孔时，零点激光组件发送电信号使旋转轴停止转动，所述旋转轴停止转动后，回转固定步数使基座到达零点位置，此时在零点位置卡上记录下激光器光点位置。

6、具体地，所述激光器在工作中持续发射激光。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种零点位置校验装置，利用激光器替代传统的人眼校验，每次作业的零点位置均可精准记录在零点位置卡上，通过多次零点位置的比对，可检验零点重复定位精度，监控外延设备零点系统运行情况，大大提高了零点校验作业的效率和可靠性，显著提升了外延产品的合格率。

技术特征：

1.一种平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于，包括：基座(1)、旋转轴(2)、旋转平台(3)、零点激光组件(4)、激光器(5)、位于旋转平台(3)一侧且与旋转平台(3)间隔一段距离的零点位置卡(6)，

2.根据权利要求1所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述零点位置卡(6)承接激光的侧面为平面。

3.根据权利要求2所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述零点位置卡(6)承接激光的侧面与激光器(5)出射激光方向垂直。

4.根据权利要求1所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述零点激光组件(4)与所述旋转轴(2)电性连接。

5.根据权利要求4所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述零点激光组件(4)发射激光通过零点位置孔(12)时，零点激光组件(4)发送电信号使旋转轴(2)停止转动。

6.根据权利要求5所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述旋转轴(2)停止转动后，回转固定步数使基座(1)到达零点位置。

7.根据权利要求1所述的平板式外延设备零点位置校验装置，其特征在于：所述激光器(5)在工作中持续发射激光。

技术总结
本技术公开了一种平板式外延设备零点位置校验装置，属于设备零点校验领域。本技术平板式外延设备零点位置校验装置包括：基座、旋转轴、旋转平台、零点激光组件、激光器、零点位置卡，在工作中零点激光组件控制旋转轴转动至零点位置，激光器发射激光在零点位置卡上形成光点来精确记录零点位置。通过多次记录比对零点位置，可检验零点重复定位精度，监控外延设备零点系统运行情况，大大提高了零点校验作业的效率和可靠性，显著提升了外延产品的合格率。

技术研发人员：王伏意,陈浩
受保护的技术使用者：南京国盛电子有限公司
技术研发日：20230728
技术公布日：2024/1/25