基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置的制作方法

本技术涉及光学元件加工检测，具体涉及一种基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置。

背景技术：

1、光学元件表面的疵病会影响成像质量，使光学元件造成不必要的散射与衍射，进而造成能量损失，尤其对于大口径光学元件，例如大口径望远镜、国家点火装置、光刻物镜等，会造成很大的能量损失。传统的大口径光学元件表面形貌的检测方法主要是目视法，但目视法个人主观因素影响多，长时间目视会造成人眼疲劳，同时无法给出疵病的定量描述。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，极大提高检测效率及检测精度。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采取如下技术方案：一种基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，包括光学元件输送组件、入射光组件、成像系统和驱动架；所述的入射光组件和所述的成像系统安装于所述的驱动架上；入射光与水平面的夹角为30°，位于待测元件正上方；所述的光学元件输送组件位于驱动架下方；

3、所述的驱动架为龙门架，横跨在输送组件上；所述的龙门架顶板上设置有活动板；活动板由驱动组件驱动其往复移动；

4、所述的光学元件输送组件包括环形输送带和设置于环形输送带上的若干料架；所述的料架上设置有元件放置台，放置台上设置多个定位槽。

5、进一步地，所述的入射光组件包括led 光源和准直透镜。

6、进一步地，所述的成像系统包括成像透镜和探测器。

7、进一步地，驱动架上设置有横移模组，活动架与驱动架滑动连接，且与横移模组的活动座固定连接；所述活动架的中部安装成像系统，端部安装入射光组件。

8、进一步地，还包括矫正组件，所述的矫正组件包括矫正支柱；所述矫正支柱的顶部转动设置滚轮；所述的矫正支柱为四个，矫正支柱为伸缩柱。

9、进一步地，所述的元件放置台与料架通过伸缩弹簧连接。

10、本实用新型的有益效果为：

11、本实用新型通过入射光组件和成像系统检测光学元件疵病，极大提高检测效率及检测精度；

12、本实用新型通过设置输送组件，对光学元件进行在线监测，进一步提高检测效率。

13、本实用新型的矫正组件，保证光学元件处于水平状态，提高检测准确度。

技术特征：

1.基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：包括光学元件输送组件、入射光组件、成像系统和驱动架；所述的入射光组件和所述的成像系统安装于所述的驱动架上；入射光与水平面的夹角为30°，位于待测元件正上方；所述的光学元件输送组件位于驱动架下方；

2.根据权利要求1所述的基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：所述的入射光组件包括led 光源和准直透镜。

3.根据权利要求1所述的基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：所述的成像系统包括成像透镜和探测器。

4.根据权利要求1所述的基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：驱动架上设置有横移模组，活动架与驱动架滑动连接，且与横移模组的活动座固定连接；所述活动架的中部安装成像系统，端部安装入射光组件。

5.根据权利要求1所述的基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：还包括矫正组件，所述的矫正组件包括矫正支柱；所述矫正支柱的顶部转动设置滚轮；所述的矫正支柱为四个，矫正支柱为伸缩柱。

6.根据权利要求1所述的基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：所述的元件放置台与料架通过伸缩弹簧连接。

技术总结
本技术公开了一种基于区域散射的光学元件表面疵病检测装置，包括光学元件输送组件、入射光组件、成像系统和驱动架；所述的入射光组件和所述的成像系统安装于所述的驱动架上；入射光与水平面的夹角为30°，位于待测元件正上方；光学元件输送组件位于驱动架下方；所述的驱动架为龙门架，横跨在输送组件上；龙门架顶板上设置有活动板；活动板由驱动组件驱动其往复移动；输送组件包括环形输送带和设置于环形输送带上的若干料架；料架上设置有元件放置台，放置台上设置多个定位槽。本技术极大提高检测效率及检测精度。

技术研发人员：步雪斌,马登超
受保护的技术使用者：南通瑞景光电科技有限公司
技术研发日：20230731
技术公布日：2024/2/25