一种用于探针卡的卡盘调节机构的制作方法

本技术涉及探针卡加工，特别涉及一种用于探针卡的卡盘调节机构。

背景技术：

1、探针卡主要由pcb、探针、ring构成，是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。

2、目前探针卡在进行加工时需要用到卡盘对探针卡进行夹持固定，而现有的卡盘结构固定，无法调节，导致只能夹持同种尺寸的探针卡而适用不了不同尺寸的探针卡，因此亟需设计一种用于探针卡的卡盘调节机构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于探针卡的卡盘调节机构，以解决现有的卡盘结构固定无法调节导致只能夹持同种尺寸的探针卡而适用不了不同尺寸探针卡的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于探针卡的卡盘调节机构，包括圆卡盘，所述圆卡盘顶端圆心开有圆槽口与若干个直槽口并设有若干个夹板，底端设有圆盘，所述夹板上开有通孔并与所述直槽口数量相同且一一对应设置在其顶端，所述直槽口中滑动连接有滑块，所述滑块顶端设有固定件，底端固定有第一转轴，所述第一转轴上活动连接有第一圆管；

3、所述圆盘顶端边缘固定有若干个第二转轴，底端设有承载板，所述第二转轴上活动连接有第二圆管并与所述第一转轴数量相同，所述第二圆管与所述第一圆管通过驱动杆连接；所述承载板上安装有驱动电机且其侧面还固定有两个直杆，所述驱动电机输出端与所述圆盘底端圆心连接，两个所述直杆与所述圆卡盘均通过连接杆连接。

4、可选的，所述固定件包括螺管，所述螺管固定于所述滑块顶端并位于所述通孔中且其顶端螺纹连接有螺丝。

5、可选的，所述直槽口中固定有滑杆，所述滑杆与所述滑块滑动连接。

6、在本实用新型提供的一种用于探针卡的卡盘调节机构中，包括圆卡盘，所述圆卡盘顶端圆心开有圆槽口与若干个直槽口并设有若干个夹板，底端设有圆盘，所述夹板上开有通孔，所述直槽口中连接有滑块，所述滑块顶端设有固定件，底端通过第一转轴连接有第一圆管；所述圆盘顶端边缘通过若干个第二转轴连接有若干个第二圆管，底端设有承载板，所述第二圆管与所述第一圆管通过驱动杆连接，所述承载板上安装有驱动电机且其侧面还固定有两个直杆，所述驱动电机输出端与所述圆盘底端圆心连接，两个所述直杆与所述圆卡盘均通过连接杆连接；使用该机构，能够调节若干个所述夹板位置以实现不同尺寸探针卡的夹持需求，设计合理，便于推广。

技术特征：

1.一种用于探针卡的卡盘调节机构，包括圆卡盘(1)，其特征在于，所述圆卡盘(1)顶端圆心开有圆槽口(2)与若干个直槽口(3)并设有若干个夹板(4)，底端设有圆盘(5)，所述夹板(4)上开有通孔(17)并与所述直槽口(3)数量相同且一一对应设置在其顶端，所述直槽口(3)中滑动连接有滑块(6)，所述滑块(6)顶端设有固定件，底端固定有第一转轴(7)，所述第一转轴(7)上活动连接有第一圆管(8)；

2.如权利要求1所述的用于探针卡的卡盘调节机构，其特征在于，所述固定件包括螺管(18)，所述螺管(18)固定于所述滑块(6)顶端并位于所述通孔(17)中且其顶端螺纹连接有螺丝(16)。

3.如权利要求1所述的用于探针卡的卡盘调节机构，其特征在于，所述直槽口(3)中固定有滑杆(19)，所述滑杆(19)与所述滑块(6)滑动连接。

技术总结
本技术公开一种用于探针卡的卡盘调节机构，属于探针卡加工技术领域，包括圆卡盘，所述圆卡盘顶端圆心开有圆槽口与若干个直槽口并设有若干个夹板，底端设有圆盘，所述夹板上开有通孔，所述直槽口中连接有滑块，所述滑块顶端设有固定件，底端通过第一转轴连接有第一圆管；所述圆盘顶端边缘通过若干个第二转轴连接有若干个第二圆管，底端设有承载板，所述第二圆管与所述第一圆管通过驱动杆连接，所述承载板上安装有驱动电机且其侧面还固定有两个直杆，所述驱动电机输出端与所述圆盘底端圆心连接，两个所述直杆与所述圆卡盘均通过连接杆连接；使用该机构，能够调节若干个所述夹板位置以实现不同尺寸探针卡的夹持需求，设计合理，便于推广。

技术研发人员：殷伟
受保护的技术使用者：无锡矽圆科技有限公司
技术研发日：20230803
技术公布日：2024/2/21