一种圆形靶材孔位检具的制作方法

本技术涉及检测，具体为一种圆形靶材孔位检具。

背景技术：

1、众所周知，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材生产完毕后，需要用圆形靶材孔位检具对其上的通孔进行检测。

2、申请号为cn202221556266.0的专利公开了一种圆形靶材孔位检具，包括分别独立设置的检具主体以及固定件；所述检具主体包括主环，所述主环包括主环刚性部，还包括沿轴向设置于所述主环刚性部的一侧或双侧的主环缓冲部；所述主环的环面上设置有与待测圆形靶材的安装孔对应的贯通孔；所述固定件的数量大于等于所述贯通孔的数量。

3、该装置虽然起到了避免靶材在检测中的损伤的效果，但是该装置和圆形靶材上都存在大小不同位置不等的通孔，该装置没有安装定位安装装置，因此在安装圆形靶材时，不能精准且快速的使圆形靶材和该装置的通孔重合在一起，需要多次调整才能精准的安装完毕，因此放置效率不是很高，其次圆形靶材检测完毕后在取出时，需要工作人员通过两侧的开口将圆形靶材抓取出来，而圆形靶材的光滑度较高，在取出时容易出现打滑的情况，因此取出的效率不是很好。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种圆形靶材孔位检具，其具有提高放置效率和取出效率的特点。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括固定装置，所述固定装置的内部设置有数个第一保护垫和第二保护垫，所述固定装置的上部和下部分别安装有圆形靶材，所述固定装置和圆形靶材分别设置有数个通孔，并且分别重合在一起，所述固定装置两侧的两个圆孔内分别设置有数个凹槽，并且均通过转轴转动连接有支撑杆，数个所述支撑杆的上部均设置有弹簧，并且均和凹槽的上部相连接，所述固定装置两侧的两个圆孔内均插接有限位杆，数个所述限位杆的中部均设置有卡槽，并且均和支撑杆的一端呈插接设置，数个所述限位杆的上部和下部均设置有伸缩管，所述固定装置的中部分别反向对称设置有数个电动伸缩杆，数个所述电动伸缩杆的头部均和圆形靶材的端面相贴合。

5、进一步的，数个所述伸缩管的外壁均和圆形靶材相对应的通孔的内壁相贴合，数个所述伸缩管均由光滑度高的不锈钢材料制作而成，数个所述伸缩管的外管远离限位杆的端面均和圆形靶材的端面相持平。

6、进一步的，数个所述电动伸缩杆均通过电线和外部的电源电连接。

7、优选的，所述固定装置的上下端面均高于圆形靶材的端面。

8、优选的，数个所述第一保护垫和第二保护垫均由防护性好的橡胶制作而成。

9、(三)有益效果

10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种圆形靶材孔位检具，具备以下

11、有益效果：

12、该圆形靶材孔位检具，通过限位杆和伸缩管对圆形靶材进行限位设置，可以使圆形靶材在安装时，直接使两侧的通孔套在伸缩管的外部，并向下压动圆形靶材，制作圆形靶材的上端面和伸缩管的上端面持平即安装完毕，从而提高了放置的效率，其次当圆形靶材检查完毕后，直接启动相应的电动伸缩杆，电动伸缩杆伸出，将上部的圆形靶材之接顶出固定装置，此时工作人员直接拿取上升后的圆形靶材即可，因此提高了取出的效率。

技术特征：

1.一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：包括固定装置(1)，所述固定装置(1)的内部设置有数个第一保护垫(2)和第二保护垫(3)，所述固定装置(1)的上部和下部分别安装有圆形靶材(4)，所述固定装置(1)和圆形靶材(4)分别设置有数个通孔(5)，并且分别重合在一起，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内分别设置有数个凹槽(6)，并且均通过转轴转动连接有支撑杆(7)，数个所述支撑杆(7)的上部均设置有弹簧，并且均和凹槽(6)的上部相连接，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内均插接有限位杆(8)，数个所述限位杆(8)的中部均设置有卡槽，并且均和支撑杆(7)的一端呈插接设置，数个所述限位杆(8)的上部和下部均设置有伸缩管(9)，所述固定装置(1)的中部分别反向对称设置有数个电动伸缩杆(10)，数个所述电动伸缩杆(10)的头部均和圆形靶材(4)的端面相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：数个所述伸缩管(9)的外壁均和圆形靶材(4)相对应的通孔(5)的内壁相贴合，数个所述伸缩管(9)均由光滑度高的不锈钢材料制作而成，数个所述伸缩管(9)的外管远离限位杆(8)的端面均和圆形靶材(4)的端面相持平。

3.根据权利要求1所述的一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：数个所述电动伸缩杆(10)均通过电线和外部的电源电连接。

4.根据权利要求1所述的一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：所述固定装置(1)的上下端面均高于圆形靶材(4)的端面。

5.根据权利要求1所述的一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：数个所述第一保护垫(2)和第二保护垫(3)均由防护性好的橡胶制作而成。

技术总结
本技术涉及检测技术领域，具体为一种圆形靶材孔位检具，其具有提高放置效率和取出效率的特点，包括固定装置，固定装置的内部设置有数个第一保护垫和第二保护垫，固定装置的上部和下部分别安装有圆形靶材，固定装置和圆形靶材分别设置有数个通孔，并且分别重合在一起，固定装置两侧的两个圆孔内分别设置有数个凹槽，并且均通过转轴转动连接有支撑杆，数个支撑杆的上部均设置有弹簧，固定装置两侧的两个圆孔内均插接有限位杆，数个限位杆的中部均设置有卡槽，并且均和支撑杆的一端呈插接设置，数个限位杆的上部和下部均设置有伸缩管，固定装置的中部分别反向对称设置有数个电动伸缩杆。

技术研发人员：白杨杨
受保护的技术使用者：北京贵金成科技有限公司
技术研发日：20230811
技术公布日：2024/2/19