一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置的制作方法

本技术属于存储晶舟盒的氮气柜领域，特别涉及一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置。

背景技术：

1、氮气柜主要是利用氮气来降低湿度从而防止氧化的，除湿效果非常稳定，柜体本身具有送氮和排气的通路，通过氮气的充入湿度随之降低。氮气是一种不易发生化学反应的惰性气体，具有防氧化作用，非常适合用作保护气体；半导体、微电子行业中经常会用到氮气柜存储零部件。

2、现有技术中，半导体工厂采用氮气柜存储晶圆，氮气柜的壳体上设置有氮气柜流量计，氮气柜流量计与柜体内部相连通，氮气柜流量计上设置有氮气进口，氮气柜流量计上可以显示进入柜体内的氮气的流量速度，还可以随时调整氮气的流量大小，其问题在于：氮气柜流量计的调节开关裸露在外，氮气柜流量计易被人误碰到或关闭，会导致氮气流量不在设定规范内，造成氮气柜的流量异常。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，能够将氮气柜流量计的旋钮式调节开关增装保护装置，防止开关旋钮裸露及被他人误碰到，从而确保了氮气柜流量稳定在设定范围内，提高了氮气柜内产品品质。

2、本实用新型的目的是这样实现的：一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，包括内部充入有氮气的矩形柜体，所述柜体的右侧设置有至少一个可显示氮气流量的氮气流量计，氮气流量计上分别设置有进口和出口，所述柜体上对应氮气流量计设置有若干填充入口，填充入口与柜体内部相连通，每个填充入口还经一联接管与对应氮气流量计的出口相连接，氮气流量计的进口与氮气源接入管相连接，所述柜体的右侧对应各氮气流量计设置有保护罩，保护罩与柜体右侧的支座相转动连接，所述保护罩包括竖直的前挡板，前挡板的上下两侧分别设有水平的上挡板和下挡板，前挡板的左右两侧分别设有竖直的左挡板和右挡板，保护罩遮挡住各氮气流量计，所述柜体的右侧设置有锁定凸起板，锁定凸起板上开设有锁定槽，保护罩下挡板上设置有向下延伸的定位板，定位板与锁定凸起板相垂直，定位板上开设有可容锁定凸起板穿过的定位槽，锁定槽上安装有固定锁。

3、本实用新型的氮气柜用于放置装有晶圆的晶舟盒，氮气源接入管向氮气流量计通入氮气，流量计检测氮气流速，氮气流速为14.8—15.2l/min，氮气流量计的出口经联接管向柜体内部充入氮气，保护罩关闭后，通过固定锁将保护罩锁住，上挡板、下挡板、左挡板和右挡板均与右侧板相垂直，固定锁选用密封锁，可以防止人员误碰或接触氮气柜流量计的旋钮式调节开关。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：原氮气流量计的旋钮裸露在外，每个人都可以调整氮气流量，导致氮气流量不在规范，晶圆产品品质存在风险；现氮气流量计加装透明亚克力材质的保护罩，并加装密码锁，方便管控也确保了氮气流通在设定规范内。

4、作为本实用新型的进一步改进，所述柜体包括水平的上侧板和下侧板，上侧板和下侧板之间分别设有竖直的左侧板和右侧板，上侧板顶部设置有顶座板，上侧板、下侧板、左侧板和右侧板的前部和后部分别设有柜门和后侧板，柜门右边缘与右侧板相铰接，定座板前侧与柜门前侧相平齐；氮气流量计和保护罩均安装在右侧板上。

5、为了便于控制氮气流速，所述氮气流量计并列设置有两个，填充入口设置有两个，联接管、氮气源接入管均设置有两根。柜体右侧板上对应联接管、氮气源接入管设有u形定位卡扣。

6、为了避免保护罩与联接管、氮气源接入管相干涉，所述右挡板与柜体右侧板接触的一侧对应各联接管、氮气源接入管设置有四个通过缺口。

7、作为本实用新型的进一步改进，所述柜体内部设置有水平的隔板一，隔板一上竖直设有隔板二，上腔经隔板二分为上腔和夹层区，隔板一下方形成下腔，隔板一上开设有联通槽，夹层区经联通槽与下腔联通，两个填充入口分别经管一、管二与上腔、夹层区相连通，柜门的四边与上侧板、下侧板、左侧板、右侧板之间均设有密封条，密封条的截面为w形。为了保持柜体内部气压平衡，柜体上设有气体排出口；气体也可以通过密封条与柜体的间隙排出。

技术特征：

1.一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，包括内部充入有氮气的矩形柜体，所述柜体的右侧设置有至少一个可显示氮气流量的氮气流量计，氮气流量计上分别设置有进口和出口，所述柜体上对应氮气流量计设置有若干填充入口，填充入口与柜体内部相连通，每个填充入口还经一联接管与对应氮气流量计的出口相连接，氮气流量计的进口与氮气源接入管相连接，其特征在于，所述柜体的右侧对应各氮气流量计设置有保护罩，保护罩与柜体右侧的支座相转动连接，所述保护罩包括竖直的前挡板，前挡板的上下两侧分别设有水平的上挡板和下挡板，前挡板的左右两侧分别设有竖直的左挡板和右挡板，保护罩遮挡住各氮气流量计，所述柜体的右侧设置有锁定凸起板，锁定凸起板上开设有锁定槽，保护罩下挡板上设置有向下延伸的定位板，定位板与锁定凸起板相垂直，定位板上开设有可容锁定凸起板穿过的定位槽，锁定槽上安装有固定锁。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，其特征在于，所述柜体包括水平的上侧板和下侧板，上侧板和下侧板之间分别设有竖直的左侧板和右侧板，上侧板顶部设置有顶座板，上侧板、下侧板、左侧板和右侧板的前部和后部分别设有柜门和后侧板，柜门右边缘与右侧板相铰接，定座板前侧与柜门前侧相平齐；氮气流量计和保护罩均安装在右侧板上。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，其特征在于，所述氮气流量计并列设置有两个，填充入口设置有两个，联接管、氮气源接入管均设置有两根。

4.根据权利要求3所述的一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，其特征在于，所述右挡板与柜体右侧板接触的一侧对应各联接管、氮气源接入管设置有四个通过缺口。

5.根据权利要求3所述的一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，其特征在于，所述柜体内部设置有水平的隔板一，隔板一上竖直设有隔板二，上腔经隔板二分为上腔和夹层区，隔板一下方形成下腔，隔板一上开设有联通槽，夹层区经联通槽与下腔联通，两个填充入口分别经管一、管二与上腔、夹层区相连通，柜门的四边与上侧板、下侧板、左侧板、右侧板之间均设有密封条，密封条的截面为w形。

技术总结
本技术公开了氮气柜领域内的一种晶舟盒氮气柜流量计保护装置，包括内部充入有氮气的矩形柜体，所述柜体的右侧设置有至少一个可显示氮气流量的氮气流量计，填充入口与柜体内部相连通，柜体的右侧对应各氮气流量计设置有保护罩，保护罩与柜体右侧的支座相转动连接，保护罩遮挡住各氮气流量计，所述柜体的右侧设置有锁定凸起板，锁定凸起板上开设有锁定槽，保护罩下挡板上设置有向下延伸的定位板，定位板与锁定凸起板相垂直，定位板上开设有可容锁定凸起板穿过的定位槽，锁定槽上安装有固定锁。本技术能够确保了氮气柜流量稳定在设定范围内，提高了氮气柜内产品品质。

技术研发人员：杨从菲,张雨晴,张鹏
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：20230906
技术公布日：2024/3/27