一种均热板氦检工装的制作方法

本技术涉及氦检工装，更具体地说，涉及一种均热板氦检工装。

背景技术：

1、均热板是一个内壁具有微细结构的真空腔体，通常由铜制成。当热由热源传导至蒸发区时，腔体里的冷却液在低真空度的环境中受热后开始产生冷却液的气化现象，此时吸收热能并且体积迅速膨胀，气相的冷却介质迅速充满整个腔体，当气相工质接触到一个比较冷的区域时便会产生凝结的现象。借由凝结的现象释放出在蒸发时累积的热，凝结后的冷却液会借由微结构的毛细管道再回到蒸发热源处，此运作将在腔体内周而复始进行。

2、匀热板腔体的气密性是匀热板的关键检测指标之一，在出场前都需进行气密性就，现有的检测方式主要是水检，通过外部是否有气泡来判断其气密性，但是此种检测方式后续需要进行烘干处理，检测步骤较为繁琐，效率低下。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种均热板氦检工装，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

2、本实用新型技术方案一种均热板氦检工装，包括氦质谱检漏仪、与所述氦质谱检漏仪管道连通的承载座、设置在所述承载座一侧的充气密封组件，以及与所述承载座相对设置的升降密封组件；

3、所述承载座上设置有工件放置槽，所述工件放置槽底部设置有与所述氦质谱检漏仪连通的管道，所述工件放置槽一侧设置有与所述工件放置槽连通的通道，工件上的管体穿过所述通道插入所述充气密封组件中，所述充气密封组件与所述通道连通设置，所述充气密封组件上设置有氦气充气接头。

4、在一个优选地实施例中，所述工件放置槽的槽底设置为倾斜向下的斜面，所述通道倾斜设置，且中轴向与所述工件放置槽的槽底面平行。

5、在一个优选地实施例中，所述充气密封组件包括第一气缸、设置在所述第一气缸的气缸推杆上的导气管和设置在管体端部的密封件，工件上的管体伸入所述导气管中，所述氦气充气接头设置在所述导气管，且与所述导气管连通。

6、在一个优选地实施例中，所述密封件包括密封塞和位于所述密封塞两侧的两个o型密封圈，所述密封塞两侧设置有卡槽，所述o型密封圈卡在所述卡槽处且凸出所述卡槽设置。

7、在一个优选地实施例中，所述升降密封组件包括安装座、设置在所述安装座上的第二气缸和设置所述第二气缸上的密封罩。

8、在一个优选地实施例中，所述密封罩的罩口处周向设置有密封条。

9、本实用新型技术方案的有益效果是：

10、1.本方案采用氦检工装对均热板进行气密性检测，通过升降密封组件对工件进行密封，通过充气密封组件充入氦气，通过氦质谱检漏仪进行检测，检测结果准确，检测效率高。同时本装置结构紧凑，占用空间小，配合行走轮结构，移动灵活。

11、2.通过第一气缸对o型密封圈进行挤压实现密封，密封效果好，通过导气管一方面具有推动o型圈的作用，另一方面具有导气的作用，结构涉及巧妙。

技术特征：

1.一种均热板氦检工装，其特征在于：包括氦质谱检漏仪、与所述氦质谱检漏仪管道连通的承载座、设置在所述承载座一侧的充气密封组件，以及与所述承载座相对设置的升降密封组件；

2.根据权利要求1所述的一种均热板氦检工装，其特征在于：所述工件放置槽的槽底设置为倾斜向下的斜面，所述通道倾斜设置，且中轴向与所述工件放置槽的槽底面平行。

3.根据权利要求1所述的一种均热板氦检工装，其特征在于：所述充气密封组件包括第一气缸、设置在所述第一气缸的气缸推杆上的导气管和设置在管体端部的密封件，工件上的管体伸入所述导气管中，所述氦气充气接头设置在所述导气管，且与所述导气管连通。

4.根据权利要求3所述的一种均热板氦检工装，其特征在于：所述密封件包括密封塞和位于所述密封塞两侧的两个o型密封圈，所述密封塞两侧设置有卡槽，所述o型密封圈卡在所述卡槽处且凸出所述卡槽设置。

5.根据权利要求1所述的一种均热板氦检工装，其特征在于：所述升降密封组件包括安装座、设置在所述安装座上的第二气缸和设置所述第二气缸上的密封罩。

6.根据权利要求5所述的一种均热板氦检工装，其特征在于：所述密封罩的罩口处周向设置有密封条。

技术总结
本技术公开了一种均热板氦检工装，包括氦质谱检漏仪、与氦质谱检漏仪管道连通的承载座、设置在承载座一侧的充气密封组件，以及与承载座相对设置的升降密封组件；承载座上设置有工件放置槽，工件放置槽底部设置有与氦质谱检漏仪连通的管道，工件放置槽一侧设置有与工件放置槽连通的通道，工件上的管体穿过通道插入所述充气密封组件中，充气密封组件与通道连通设置，充气密封组件上设置有氦气充气接头。本方案采用氦检工装对均热板进行气密性检测，通过升降密封组件对工件进行密封，通过充气密封组件充入氦气，通过氦质谱检漏仪进行检测，检测结果准确，检测效率高。同时本装置结构紧凑，占用空间小，配合行走轮结构，移动灵活。

技术研发人员：万圣明,朱迎青,马艳兵,郭晓明
受保护的技术使用者：安徽歌博科技有限公司
技术研发日：20230906
技术公布日：2024/4/22